VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோக கூறுகளுக்கு பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கு ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் மாதிரி வெப்பமாக்கல்களில் பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானவை, அங்கு அதிக வெற்றிடம்,
எதிர்வினை, மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்கள் எதிர்கொள்ளப்படுகின்றன.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் ஒரு விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். இது கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிப்பதற்கும் SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்துவதற்கும் உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான-UV LED போன்ற பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. TSI மற்றும் பல.
நாம் செய்யக்கூடிய அணுஉலை பாகங்கள்:
முக்கிய அம்சங்கள்
● அதி-உயர் தூய்மை (99.99995%) குறைந்த துகள் உருவாக்கத்திற்கான அடர்த்தியான β-கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின் அமைப்பு.
● HCl, NH₃, H₂, SiH₄ மற்றும் பிற அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களுக்கு சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு.
● உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் (~300 W·m⁻¹·K⁻¹) மற்றும் 2700°C பதங்கமாதல் வெப்பநிலை வரை வெப்ப நிலைத்தன்மை.
● உயர்ந்த கடினத்தன்மை (2500 விக்கர்ஸ்) மற்றும் கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோகங்களுடன் வலுவான ஒட்டுதல்.
● சப்செப்டர்கள், கேரியர்கள், ஷவர் ஹெட்ஸ் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகள் உள்ளிட்ட சிக்கலான வடிவவியலுக்கு ஏற்ற முறையான பூச்சு கவரேஜ்.
● முக்கிய உபகரண தளங்களுடன் இணக்கமானது: LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI மற்றும் பல.
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகள்
தயாரிப்பு விவரக்குறிப்புகள்
VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு
| CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் |
| சொத்து |
வழக்கமான மதிப்பு |
| படிக அமைப்பு |
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
| SiC பூச்சு அடர்த்தி |
3.21 g/cm³ |
| SiC பூச்சு கடினத்தன்மை |
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
| தானிய அளவு |
2~10μm |
| இரசாயன தூய்மை |
99.99995% |
| வெப்ப திறன் |
640 J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
2700℃ |
| நெகிழ்வு வலிமை |
415 MPa RT 4-புள்ளி |
| யங்ஸ் மாடுலஸ் |
430 GPa 4pt வளைவு, 1300℃ |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் |
300 W·m⁻¹·K⁻¹ |
| வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) |
4.5×10⁻⁶ K⁻¹ |
CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு
விண்ணப்பங்கள்
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் பல்வேறு தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய, VeTek இலக்கு சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது. பின்வரும் அட்டவணை அவற்றை முக்கிய பயன்பாட்டு பகுதிகள் மூலம் வகைப்படுத்துகிறது, வழக்கமான கூறுகள் மற்றும் பொருந்தக்கூடிய செயல்முறைகளை பட்டியலிடுகிறது:
| விண்ணப்பப் புலம் |
வழக்கமான தயாரிப்புகள் |
விண்ணப்ப விளக்கம் |
| எஸ்ஐ எபிடாக்ஸி |
CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர், SiC பூச்சு வேஃபர் கேரியர், எபி சசெப்டர்
|
சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது, சீரான வெப்பநிலை விநியோகம், இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் உயர்தர எபி அடுக்குகளுக்கு குறைந்த துகள் உருவாக்கம் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. |
| SiC எபிடாக்ஸி |
CVD SiC பூசப்பட்ட கிரக சஸ்செப்டர், SiC பூசப்பட்ட செதில் சஸ்பெப்டர், வழிகாட்டி வளையம் |
உயர்-வெப்பநிலை SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு (LPE போன்றவை), வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சுத்தமான இடைமுகத்தை வழங்குவதன் மூலம் திரைப்பட சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை விளைச்சலை உறுதி செய்கிறது. |
| GaN / LED Epitaxy (MOCVD) |
SiC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் கவர், ஷவர் ஹெட், செயற்கைக்கோள் வட்டு, முகமூடி வளையம் |
Aixtron, Veeco MOCVD அமைப்புகளுடன் இணக்கமானது; எச் |
| RTP / RTA செயல்முறை |
CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர், RTP RTA கேரியர், வெப்பமூட்டும் கூறுகள்
|
விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் மற்றும் அனீலிங் செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது; சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையுடன் மீண்டும் மீண்டும் அதிக வெப்பநிலை சுழற்சியை தாங்கும். |
| பொறித்தல் / ICP / PSS |
திட SiC ஃபோகஸ் மோதிரங்கள், எட்ச் அறைகளுக்கான SiC பூசப்பட்ட கூறுகள்
|
அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் பிளாஸ்மா எதிர்ப்பானது அறை பாகங்களைப் பாதுகாக்கிறது, எட்ச் சுயவிவரத்தின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் ஆலசன் நிறைந்த சூழலில் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது. |
| உயர் வெப்பநிலை வெப்பமாக்கல் மற்றும் ஆதரவு |
CVD SiC பூச்சு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு, செதில் கேரியர்கள், susceptors
|
தூண்டல்/எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல் மற்றும் வெற்றிட உலை பயன்பாடுகளுக்கு; அதிக கடினத்தன்மை, வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட கூறு ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. |
மேலும் விரிவான செயல்முறைப் பொருத்த தீர்வுகளுக்கு, தயவுசெய்து பார்க்கவும்சிலிக்கான் எபிடாக்ஸிமற்றும்சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸிதொடர்புடைய பயன்பாட்டு பக்கங்கள்.
சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என, எங்களிடம் எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை வாங்க விரும்பினாலும், உங்களால் முடியும்எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை விடுங்கள்.
