தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோகக் கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.


எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.


VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். இது கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிப்பதற்கும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்துவதற்கும் உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.


எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys போன்றவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது. TSI மற்றும் பல.


நாம் செய்யக்கூடிய அணு உலை பாகங்கள்:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகள்:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
SiC பூச்சு அடர்த்தி 3.21 g/cm³
SiC பூச்சு கடினத்தன்மை 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு 2~10μm
இரசாயன தூய்மை 99.99995%
வெப்ப திறன் 640 ஜே·கிலோ-1·கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை 2700℃
நெகிழ்வு வலிமை 415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ் 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன் 300W·m-1·கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) 4.5×10-6K-1

CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
பொறிப்பதற்கான SIC பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்

பொறிப்பதற்கான SIC பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்

ஒரு முன்னணி சீன உற்பத்தியாளராகவும், சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளின் சப்ளையராகவும், பொறிப்பதற்கான வெட்க்செமிகானின் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட செதில் கேரியர் அதன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டு பொறித்தல் செயல்பாட்டில் ஈடுசெய்ய முடியாத முக்கிய பாத்திரத்தை வகிக்கிறது.
சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட வேஃபர் சசெப்டர்

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட வேஃபர் சசெப்டர்

வெக்செமெமிகோனின் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட வேஃபர் சசெப்டர் என்பது குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கான ஒரு அதிநவீன தீர்வாகும், இது GAN, SIC, மற்றும் சிலிக்கான்-போய்கள்-போய்கள் ஆகியவற்றின் அசுத்தமான-உயர் தூய்மை மற்றும் விதிவிலக்கான வெப்ப/வேதியியல் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. துல்லியமான சி.வி.டி தொழில்நுட்பத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்ட இது 6 ”/8”/12 ”செதில்களை ஆதரிக்கிறது, குறைந்தபட்ச வெப்ப அழுத்தத்தை உறுதி செய்கிறது, மேலும் 1600. C வரை தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்குகிறது.
Sic பூசப்பட்ட கிரக சசெப்டர்

Sic பூசப்பட்ட கிரக சசெப்டர்

எங்கள் SIC பூசப்பட்ட கிரக சசெப்டர் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் உயர் வெப்பநிலை செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் வடிவமைப்பு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் ஒருங்கிணைத்து வெப்ப மேலாண்மை செயல்திறன், வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றின் விரிவான தேர்வுமுறையை அடையலாம்.
எபிடாக்ஸிக்கு SIC பூசப்பட்ட சீல் மோதிரம்

எபிடாக்ஸிக்கு SIC பூசப்பட்ட சீல் மோதிரம்

எபிடாக்ஸிக்கான எங்கள் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட சீல் வளையம் கிராஃபைட் அல்லது கார்பன்-கார்பன் கலவைகளை அடிப்படையாகக் கொண்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கொண்ட சீல் கூறு ஆகும், இது வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) மூலம் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) உடன் பூசப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கொண்ட சீல் கலவையாகும், இது கிராஃபைட்டின் வெப்ப நிலைத்தன்மையை சி.ஐ.சி.
ஒற்றை வேஃபர் எபி கிராஃபைட் அண்டர்டேக்கர்

ஒற்றை வேஃபர் எபி கிராஃபைட் அண்டர்டேக்கர்

வெட்க்செமிகான் ஒற்றை வேஃபர் எபி கிராஃபைட் சசெப்டர் உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி), காலியம் நைட்ரைடு (கான்) மற்றும் பிற மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் வெகுஜன உற்பத்தியில் உயர் துல்லியமான எபிடாக்சியல் தாளின் முக்கிய தாங்கி அங்கமாக உள்ளது. உங்கள் மேலதிக விசாரணையை விடுங்கள்.
பிளாஸ்மா பொறித்தல் கவனம் வளையம்

பிளாஸ்மா பொறித்தல் கவனம் வளையம்

செதில் புனையல் பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய கூறு பிளாஸ்மா பொறித்தல் கவனம் வளையம் ஆகும், இதன் செயல்பாடு பிளாஸ்மா அடர்த்தியை பராமரிப்பதற்கும், செதில் பக்கங்களின் மாசுபடுவதைத் தடுப்பதற்கும் செதில் வைத்திருப்பது.
சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த {77 bep வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept