சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோகக் கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.

எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.

VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். இது கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிப்பதற்கும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்துவதற்கும் உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.

எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys போன்றவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது. TSI மற்றும் பல.

நாம் செய்யக்கூடிய அணு உலை பாகங்கள்:

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகள்:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
SiC பூச்சு அடர்த்தி	3.21 g/cm³
SiC பூச்சு கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட எபி சசெப்டர் SiC பூச்சு வேஃபர் கேரியர் MOCVDக்கான SiC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் கவர் CVD SiC பூச்சு வேஃபர் எபி சஸ்செப்டர் CVD SiC பூச்சு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு Aixtron செயற்கைக்கோள் செதில் கேரியர் SiC பூச்சு எபி ரிசீவர் SiC பூச்சு அரை நிலவு கிராஃபைட் பாகங்கள்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் RTP RTA கேரியர்

VETEK CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கோடட் கிராஃபைட் RTP RTA கேரியர், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (RTA) அமைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சுடன் கூடிய உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது, இது சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த வெப்பநிலை சீரான தன்மை, உயர்ந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் அதி-குறைந்த துகள் உருவாக்கம் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. தொடர்ச்சியான விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, கேரியர் நம்பகமான செதில் ஆதரவு மற்றும் சிலிக்கான் செதில் அனீலிங் மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான நிலையான செயல்முறை செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு(SiC) பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டரில் இருந்து CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர் விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி முழுவதும் பயன்படுத்தப்படும் விரைவான வெப்ப அனீலிங் (RTA) உபகரணங்களை வழங்குகிறது. அடி மூலக்கூறு உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, அதன் மேல் அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்கு டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. இந்த கட்டுமானமானது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், வலுவான இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் தொடர்ச்சியான உயர் வெப்பநிலை சுழற்சியின் கீழ் நிலையான பரிமாண நிலைத்தன்மையை அளிக்கிறது.

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு(SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் ஹெட்

If you’ve ever dealt with uneven gas flow or particle contamination in a deposition chamber, the VETEK CVD SiC Coated Graphite Shower Head is designed to solve that. It starts with high‑purity isostatic graphite for thermal stability and easy machining, then gets a dense CVD Silicon Carbide (SiC) coating that seals the surface, resists corrosive gases (like HCl or NF₃), and prevents outgassing. The result is a gas distribution plate that delivers uniform flow across the wafer, handles high‑temperature epitaxy, and lasts far longer than bare graphite or quartz – making it a trusted component for CVD, PECVD, MOCVD, silicon epitaxy, and SiC epitaxy processes. தனிப்பயன் துளை வடிவங்கள் மற்றும் அளவுகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், ஏனெனில் எந்த இரண்டு அணு உலைகளும் சரியாக இல்லை.

திட SiC ஃபோகஸ் வளையங்கள்

வேஃபர் டிராக்கிங் மண்டலத்தைச் சுற்றி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, சாலிட் SiC ஃபோகஸ் ரிங் நேரியல் பிளாஸ்மா விநியோகம் மற்றும் சரியான விளிம்பில் இருந்து மையத்தில் உள்ள எட்ச் சுயவிவரங்களை உறுதி செய்கிறது. இந்த பிரீமியம் β-SiC கூறுகள் Vetek செமிகண்டக்டரால் (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) உருவாக்கப்பட்டுள்ளது. மூலப்பொருட்களை ஒரு அடர்த்தியான, பைண்டர்லெஸ் மேட்ரிக்ஸில் ஆவியாக்குவதன் மூலம், பழைய பொருட்களில் உள்ள நுண்ணிய நுண் இடைவெளிகளை Vetek நீக்குகிறது. நிலையான குவார்ட்ஸ் அல்லது சிலிக்கான் கவசத்துடன் ஒப்பிடும்போது, எங்கள் CVD SiC கூறுகள் அரிக்கும் ஆலசன் வாயுக்களுக்கு மிகவும் சிறப்பாக நிற்கின்றன, ஆழமான சப்-7nm லாஜிக் மற்றும் அடர்த்தியான மெமரி சிப் உற்பத்தியில் செதில்களை பாதுகாக்கின்றன. உங்களின் மேலான விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.

AMAT 0200-03201 CVD SiC வேஃபர் லிஃப்ட் பின்

VeTek இலிருந்து இந்த AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin ஆனது உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டுடன் தொடங்குகிறது, பின்னர் நாம் அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சு ஒன்றை மேலே சேர்க்கிறோம். இது 300மிமீ எபிடாக்ஸி சிஸ்டம் மற்றும் அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ் இபிஐ ரியாக்டர்களுக்காக உருவாக்கப்பட்டது. ஏன் கிராஃபைட் மற்றும் SiC? கிராஃபைட் வெப்பத்தை நன்றாக கையாளுகிறது. SiC அடுக்கு அரிக்கும் வாயுக்களை எடுத்துக்கொள்கிறது மற்றும் வேகமாக தேய்ந்து போகாது. மெல்லிய சுவர் வடிவமைப்பு? இது சுத்தமான செதில் தூக்குதல் மற்றும் பொருத்துதல், குறைவான துகள்கள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் நீண்ட பகுதி ஆயுளுக்கானது. ASM, Aixtron மற்றும் LPE அமைப்புகளுக்கு ஒத்த SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களையும் நாங்கள் உருவாக்குகிறோம். உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறேன்.

VEECO MOCVD க்கான வேஃபர் கேரியர் (LED Epitaxy)

Vetek செமிகண்டக்டர் VEECO MOCVD அமைப்புகளுக்கான வேஃபர் கேரியர்களை உருவாக்குகிறது, குறிப்பாக GaN LEDகள், நீல-பச்சை LEDகள் மற்றும் ஆழமான UV LED வளர்ச்சி போன்ற LED எபிடாக்ஸி வேலைகளுக்காக உருவாக்கப்பட்டது. இந்த கேரியர்கள் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டுடன் தொடங்கி அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகளைப் பெறுகின்றன. MOCVD இல் நீங்கள் காணும் அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் அந்த கலவை நன்றாக உள்ளது - நல்ல வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் பூச்சு நீடிக்கும்.

க்யு ஆர் குறியீடு

எங்களைப் பற்றி

தயாரிப்புகள்

எங்களை தொடர்பு கொள்ள

தொலைபேசி
+86-18069220752
+86-15988690905
தொலைநகல்
+86-579-87223657
மின்னஞ்சல்
anny@veteksemi.com
முகவரி
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுயி கவுண்டி, ஜின்ஹுவா நகரம், ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

இணைய மெனு

தயாரிப்பு தேடல்

மொழி

வெளியேறு மெனு