VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோகக் கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். இது கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிப்பதற்கும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்துவதற்கும் உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys போன்றவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது. TSI மற்றும் பல.
நாம் செய்யக்கூடிய அணு உலை பாகங்கள்:
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகள்:
VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு
|
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
|
|
சொத்து
|
வழக்கமான மதிப்பு
|
|
படிக அமைப்பு
|
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
|
|
SiC பூச்சு அடர்த்தி
|
3.21 g/cm³
|
|
SiC பூச்சு கடினத்தன்மை
|
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
|
|
தானிய அளவு
|
2~10μm
|
|
இரசாயன தூய்மை
|
99.99995%
|
|
வெப்ப திறன்
|
640 ஜே·கிலோ-1·கே-1
|
|
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை
|
2700℃
|
|
நெகிழ்வு வலிமை
|
415 MPa RT 4-புள்ளி
|
|
யங்ஸ் மாடுலஸ்
|
430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
|
|
வெப்ப கடத்துத்திறன்
|
300W·m-1·கே-1
|
|
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)
|
4.5×10-6K-1
|
CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு
