தயாரிப்புகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோகக் கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.


எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.


VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். இது கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிப்பதற்கும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்துவதற்கும் உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.


எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys போன்றவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது. TSI மற்றும் பல.


நாம் செய்யக்கூடிய அணு உலை பாகங்கள்:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகள்:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
SiC பூச்சு அடர்த்தி 3.21 g/cm³
SiC பூச்சு கடினத்தன்மை 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு 2~10μm
இரசாயன தூய்மை 99.99995%
வெப்ப திறன் 640 ஜே·கிலோ-1·கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை 2700℃
நெகிழ்வு வலிமை 415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ் 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன் 300W·m-1·கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) 4.5×10-6K-1

CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



Silicon Carbide coated Epi susceptor சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட எபி சசெப்டர் SiC Coating Wafer Carrier SiC பூச்சு வேஃபர் கேரியர் SiC coated Satellite cover for MOCVD MOCVDக்கான SiC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் கவர் CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC பூச்சு வேஃபர் எபி சஸ்செப்டர் CVD SiC coating Heating Element CVD SiC பூச்சு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு Aixtron Satellite wafer carrier Aixtron செயற்கைக்கோள் செதில் கேரியர் SiC Coating Epi susceptor SiC பூச்சு எபி ரிசீவர் SiC coating halfmoon graphite parts SiC பூச்சு அரை நிலவு கிராஃபைட் பாகங்கள்


தயாரிப்புகள்
View as  
 
MOCVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்

MOCVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்

VETEK MOCVD SiC கோடட் சஸ்செப்டர் என்பது LED மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக குறிப்பாக உருவாக்கப்பட்ட ஒரு துல்லிய-பொறியியல் கேரியர் தீர்வு ஆகும். இது சிக்கலான MOCVD சூழல்களுக்குள் விதிவிலக்கான வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை நிரூபிக்கிறது. VETEK இன் கடுமையான CVD படிவு செயல்முறையை மேம்படுத்துவதன் மூலம், செதில் வளர்ச்சி நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கும், முக்கிய கூறுகளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிப்பதற்கும் நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம், உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒவ்வொரு தொகுதிக்கும் நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறன் உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.
திட சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங்

திட சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங்

Veteksemicon Solid Silicon Carbide (SiC) ஃபோகசிங் ரிங் என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான நுகர்வு கூறு ஆகும், இதில் பிளாஸ்மா விநியோகம், வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் செதில் விளிம்பு விளைவுகள் ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு அவசியம். உயர்-தூய்மை திட சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட, இந்த கவனம் செலுத்தும் வளையம் விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றை வெளிப்படுத்துகிறது, ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் நம்பகமான செயல்திறனை செயல்படுத்துகிறது. உங்கள் விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.
SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் அறை

SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் அறை

Veteksemicon SiC கோடட் எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பர் என்பது குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளை கோருவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) ஐப் பயன்படுத்தி, இந்த தயாரிப்பு அதிக வலிமை கொண்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் அடர்த்தியான, உயர்-தூய்மை SiC பூச்சுகளை உருவாக்குகிறது, இதன் விளைவாக உயர்ந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு உள்ளது. இது உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களில் எதிர்வினை வாயுக்களின் அரிக்கும் விளைவுகளை திறம்பட எதிர்க்கிறது, துகள் மாசுபாட்டை கணிசமாக அடக்குகிறது, நிலையான எபிடாக்சியல் பொருள் தரம் மற்றும் அதிக மகசூலை உறுதி செய்கிறது, மேலும் எதிர்வினை அறையின் பராமரிப்பு சுழற்சி மற்றும் ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது. SiC மற்றும் GaN போன்ற பரந்த-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த இது ஒரு முக்கிய தேர்வாகும்.
EPI ரிசீவர் பாகங்கள்

EPI ரிசீவர் பாகங்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் முக்கிய செயல்பாட்டில், எபிடாக்சியல் லேயரின் தரம் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை சஸ்பெப்டர் செயல்திறன் நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது என்பதை Veteksemicon புரிந்துகொள்கிறது. எங்கள் உயர்-தூய்மை EPI susceptors, குறிப்பாக SiC புலத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்டது, ஒரு சிறப்பு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சு ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்துகிறது. அவற்றின் உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் மிகக் குறைந்த துகள் உற்பத்தி விகிதம் ஆகியவற்றுடன், கடுமையான உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களிலும் வாடிக்கையாளர்களுக்கு இணையற்ற தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து சீரான தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. Veteksemicon ஐத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது உங்கள் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கான நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனின் மூலக்கல்லைத் தேர்ந்தெடுப்பதாகும்.
ASM க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்

ASM க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்

ASM க்கான Veteksemicon SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் ஒரு முக்கிய கேரியர் அங்கமாகும். இந்தத் தயாரிப்பு எங்களின் தனியுரிம பைரோலிடிக் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் துல்லியமான எந்திர செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தி, உயர்ந்த செயல்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை சூழல்களில் மிக நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது. அடி மூலக்கூறு தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றில் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் கடுமையான தேவைகளை நாங்கள் ஆழமாகப் புரிந்துகொள்கிறோம், மேலும் ஒட்டுமொத்த சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்தும் நிலையான, நம்பகமான தீர்வுகளை வாடிக்கையாளர்களுக்கு வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளோம்.
சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையம்

சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையம்

Veteksemicon ஃபோகஸ் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் பொறித்தல் கருவிகளுக்காக குறிப்பாக SiC பொறித்தல் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மின்னியல் சக் (ESC) சுற்றி பொருத்தப்பட்டிருக்கும், செதில்க்கு அருகாமையில், அதன் முதன்மை செயல்பாடு எதிர்வினை அறைக்குள் மின்காந்த புல விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதாகும், இது முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் ஒரே மாதிரியான மற்றும் கவனம் செலுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. உயர்-செயல்திறன் கொண்ட ஃபோகஸ் ரிங், எட்ச் ரேட் சீரான தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது மற்றும் விளிம்பு விளைவுகளை குறைக்கிறது, நேரடியாக தயாரிப்பு மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.
சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த {77 bep வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும் ஏற்றுக்கொள்