பிஇசிவிடிக்கான கிராஃபைட் படகு ஏன் திரைப்படத் தரம் மற்றும் தயாரிப்பு நிலைத்தன்மைக்கு மிகவும் முக்கியமானது?

PECVDக்கான கிராஃபைட் படகு உண்மையில் என்ன பங்கு வகிக்கிறது?

PECVDக்கான கிராஃபைட் படகு என்பது செதில்களுக்கான செயலற்ற ஹோல்டர் மட்டுமல்ல. இது முழு படிவு தாளத்தையும் பாதிக்கக்கூடிய அமைதியான கூறுகளில் ஒன்றாகும். ஒரு PECVD அறையில், படத்தின் தரமானது வெப்பநிலை விநியோகம், செதில் இடைவெளி, வாயு வெளிப்பாடு, பிளாஸ்மா தொடர்பு மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் உணர்திறன் சமநிலையைப் பொறுத்தது. கேரியர் அந்த சமநிலையை சீர்குலைத்தால், செயல்முறை இன்னும் இயங்கக்கூடும், ஆனால் வெளியீடு கணிக்கக்கூடியதாக இருப்பதை நிறுத்துகிறது.

வாங்குபவர்கள் சில நேரங்களில் அணு உலை உள்ளமைவு, எரிவாயு அமைப்பு வடிவமைப்பு அல்லது அறையை சுத்தம் செய்யும் சுழற்சிகளில் அதிக கவனம் செலுத்துகிறார்கள், அது அர்த்தமுள்ளதாக இருக்கும். அவை முக்கிய செலவு மையங்கள். ஆனால் செதில்களைச் சுமந்து செல்லும் படகு செயல்முறை சாளரத்தின் நடுவில் சரியாக அமர்ந்திருக்கிறது. அதன் வடிவியல் மாறினால், அதன் மேற்பரப்பு துகள்கள் உதிர்ந்தால், மீண்டும் மீண்டும் சூடுபடுத்துதல் மற்றும் குளிர்ச்சியடைவதற்கு அது மோசமாக வினைபுரிந்தால் அல்லது செதில்களை தொடர்ந்து நிலைநிறுத்தத் தவறினால், செயல்முறை விலையுயர்ந்த மற்றும் கண்டறிய கடினமாக இருக்கும் வழிகளில் நகர்கிறது.

உண்மையான உற்பத்தியில், நிலைத்தன்மையே எல்லாமே. PECVDக்கான வலுவான கிராஃபைட் படகு ஒரு தொகுதியிலிருந்து தொகுதிக்கு மீண்டும் மீண்டும் வருவதைப் பராமரிக்க உதவுகிறது. இது சீரான ஏற்றுதலை ஆதரிக்கிறது, தவிர்க்கக்கூடிய மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் நிலையான பட தடிமன் மற்றும் சீரான மின் செயல்திறனை வழங்குவதற்கான சிறந்த வாய்ப்பை வரிக்கு வழங்குகிறது.

வாங்குபவர்கள் ஏன் அடிக்கடி கேரியரை குறைத்து மதிப்பிடுகிறார்கள், பின்னர் அதற்கு பணம் செலுத்துகிறார்கள்?

பதில் எளிது: ஒரு கிராஃபைட் படகு பொதுவாக அதைச் சுற்றியுள்ள உபகரணங்களை விட குறைவான "தொழில்நுட்பமாக" தோன்றுகிறது. இது ஒரு மின்சாரம், ஒரு வெற்றிட அமைப்பு அல்லது ஒரு ஆட்டோமேஷன் தொகுதி ஆகியவற்றின் காட்சி தாக்கத்தை கொண்டிருக்கவில்லை. எனவே அதை ஒரு பண்டமாக கருதுவது எளிது. அங்கேதான் பிரச்சனை ஆரம்பமாகிறது.

தவறான படகைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கான செலவு மேற்கோளிலேயே அரிதாகவே தோன்றும். இது ஸ்கிராப், மறுவேலை, நிலையற்ற ரெசிபிகள், நீண்ட பராமரிப்பு ஜன்னல்கள் அல்லது அடிக்கடி மாற்று சுழற்சிகள் என பின்னர் காண்பிக்கப்படும். இது பொறியியல் குழுவின் நேரத்திலும் காட்டப்படலாம். கேரியர் சிதைவு அல்லது மேற்பரப்பு சிதைவு ஆகியவற்றுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ள சீரான சிக்கலைக் கண்டறிய ஒரு வரி நாட்கள் செலவழிக்கும் போது, ​​"மலிவான" கூறு மிக விரைவாக மலிவாக இருப்பதை நிறுத்துகிறது.

வாங்குபவர்கள் இந்த பகுதியை குறைத்து மதிப்பிடுவதற்கான மற்றொரு காரணம், ஒவ்வொரு சப்ளையரும் அதை சரியாக விளக்கவில்லை. சில பரிமாணங்களையும் மொத்த அடர்த்தியையும் மட்டுமே பட்டியலிடுகின்றன. அந்த தகவல் முக்கியமானது, ஆனால் செயல்முறை பொறியாளர்கள் உண்மையில் அக்கறை கொள்ளும் கேள்விகளுக்கு இது பதிலளிக்கவில்லை: மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலின் கீழ் கட்டமைப்பு எவ்வளவு நிலையானது? குறிப்பிட்ட வாயு சூழலில் இரசாயன தாக்குதலை பொருள் எவ்வளவு நன்றாக எதிர்க்கிறது? முக்கியமான சகிப்புத்தன்மை எவ்வளவு இறுக்கமாக கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது? அறை வடிவியல் அல்லது செதில் எண்ணிக்கை மாறினால், சப்ளையர் வடிவமைப்பை மாற்றியமைக்க முடியுமா?

ஒரு தீவிர கொள்முதல் முடிவு ஒரு எளிய பொருள் லேபிளுக்கு அப்பால் பார்க்க வேண்டும் மற்றும் உண்மையான அறையில் வாரங்கள் மற்றும் மாதங்களுக்குப் பிறகு கிராஃபைட் படகு எவ்வாறு செயல்படும் என்று கேட்க வேண்டும்.

தவறான கிராஃபைட் படகு என்ன செயல்முறை சிக்கல்களை உருவாக்க முடியும்?

PECVDக்கான தவறான கிராஃபைட் படகு முதல் பார்வையில் தொடர்பில்லாததாகத் தோன்றும் சிக்கல்களை உருவாக்கலாம். குழுக்கள் குறைந்த மகசூல், பட தடிமன் மாறுபாடு, விவரிக்கப்படாத மாசுபாடு அல்லது குறுகிய பராமரிப்பு இடைவெளிகளை உடனடியாக அந்த விளைவுகளை மீண்டும் கேரியருடன் இணைக்காமல் பார்க்கலாம்.

• சீரற்ற படம் படிவுஏனெனில் செதில் இடைவெளி அல்லது படகு வடிவவியல் இயக்க நிலைமைகளின் கீழ் போதுமான அளவு சீராக இல்லை
• துகள் உருவாக்கம்பலவீனமான பொருள் தரம், மோசமான எந்திரம் அல்லது காலப்போக்கில் மேற்பரப்பு முறிவு ஆகியவற்றால் ஏற்படுகிறது
• வெப்ப சமநிலையின்மைஇது படிவு விகிதத்தை பாதிக்கிறது மற்றும் செயல்முறை டியூனிங்கை மிகவும் கடினமாக்குகிறது
• குறுகிய சேவை வாழ்க்கைஅடிப்படை கிராஃபைட் அல்லது பூச்சு உண்மையான இரசாயன சூழலைக் கையாள முடியாது
• அடிக்கடி அறை தலையீடுமாசுபாடு அல்லது முன்கூட்டிய கூறு தேய்மானம் காரணமாக
• செய்முறை உறுதியற்ற தன்மைசெயல்முறை சரிசெய்தல் மூலம் வன்பொருள் பலவீனத்தை ஈடுசெய்ய பொறியியல் குழுக்களை கட்டாயப்படுத்துகிறது

இந்தப் பிரச்சனைகள் விரக்தியடையச் செய்வது என்னவென்றால், அவை பெரும்பாலும் படிப்படியாகத் தோன்றும். முதல் சில ரன்கள் ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடியதாகத் தோன்றலாம். பின்னர் வரி சறுக்கத் தொடங்குகிறது. ஒரு சில ஆபரேட்டர்கள் ஒரு போக்கைக் கவனிக்கிறார்கள். பொறியாளர்கள் ஆய்வுத் தரங்களை இறுக்கத் தொடங்குகின்றனர். காலப்போக்கில், செயல்முறை நிர்வகிக்க கடினமாகிறது. அதனால்தான் வாங்குபவர்கள் ஆரம்ப தோற்றம் அல்லது ஆய்வக அளவிலான எண்கள் மட்டுமல்லாமல், மீண்டும் மீண்டும் பயன்படுத்தும் போது நீடித்து நிலைத்தன்மையின் அடிப்படையில் சிந்திக்க வேண்டும்.

எந்த பொருள் மற்றும் பூச்சு தேர்வுகள் நெருக்கமான கவனத்திற்கு தகுதியானவை?

வாங்குபவர்கள் PECVD க்கு ஒரு கிராஃபைட் படகை ஒப்பிடும்போது, ​​மூன்று விஷயங்கள் அவர்கள் வழக்கமாகப் பெறுவதை விட அதிக கவனம் செலுத்த வேண்டும்: கிராஃபைட் தூய்மை, கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு பாதுகாப்பு உத்தி.

முதலில், தூய்மை.அதிக தூய்மையான கிராஃபைட் தேவையற்ற மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்க உதவுகிறது. இது முக்கியமானது, ஏனெனில் PECVD செயல்முறைகள் உணர்திறன் கொண்டவை, மேலும் சிறிய மாசுபாட்டின் மூலங்கள் கேரியரை விட மிகவும் விலையுயர்ந்த கீழ்நிலை தர சிக்கல்களை ஏற்படுத்தலாம்.

இரண்டாவதாக, கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மை.எந்திர கட்டுப்பாடு பலவீனமாக இருந்தால், ஒரு நல்ல கிராஃபைட் தரம் கூட மோசமாக செயல்படும். ஸ்லாட் ஸ்பேசிங், எட்ஜ் ஃபினிஷிங், பிளாட்னெஸ் மற்றும் ஒட்டுமொத்த பரிமாண ஒழுக்கம் அனைத்தும் செதில்கள் எவ்வாறு அமர்கின்றன மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுவதன் மூலம் படகு எவ்வளவு நிலையானதாக இருக்கும் என்பதைப் பாதிக்கிறது.

மூன்றாவது, பூச்சு தேர்வு.ஒவ்வொரு PECVD செயல்முறையும் படகு மேற்பரப்பில் ஒரே கோரிக்கைகளை வைப்பதில்லை. வாயு வேதியியல், சுத்தம் செய்யும் முறை, பிளாஸ்மா வெளிப்பாடு மற்றும் இலக்கு படம் அனைத்தும் முக்கியம். சில பயன்பாடுகள் பைரோலிடிக் கார்பனில் இருந்து பயனடைகின்றன, மற்றவை சிலிக்கான் கார்பைடு அடிப்படையிலான மேற்பரப்பு தீர்வுகளுடன் தொடர்புடைய கூடுதல் கடினத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு தேவைப்படுகிறது. சரியான தேர்வு என்பது ஒரு அளவு-அனைவருக்கும் பொருந்தக்கூடிய விருப்பத்தை விட பயனரின் செயல்முறை நிலைமைகளைப் பொறுத்தது.

இங்குதான் பயன்பாட்டு புரிதல் முக்கியமானதாகிறது. ஒரு நல்ல சப்ளையர் வெறுமனே ஒரு வரைபடத்தைக் கேட்டு ஒரு விலையைத் திருப்பித் தரக்கூடாது. சிறந்த உரையாடல் அறை சூழல், டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படம், சுத்தம் செய்யும் சுழற்சி, எதிர்பார்க்கப்படும் வாழ்நாள், செதில் அளவு மற்றும் வாடிக்கையாளர் ஏற்கனவே பார்த்த குறிப்பிட்ட தோல்வி முறைகள் ஆகியவற்றுடன் தொடங்குகிறது.

ஆர்டர் செய்வதற்கு முன் PECVDக்கான கிராஃபைட் படகை வாங்குபவர்கள் எப்படி மதிப்பிட வேண்டும்?

புத்திசாலியான வாங்குபவர்கள் இந்த தயாரிப்பை விலையால் மட்டும் மதிப்பிடுவதில்லை. ஆபத்தைக் குறைப்பதன் மூலம் அவர்கள் அதை மதிப்பிடுகிறார்கள். ஆர்டர் செய்வதற்கு முன், பரிமாணங்களை மட்டுமல்ல, இயக்க தர்க்கத்தையும் விவாதிக்க சப்ளையரிடம் கேளுங்கள்.

1. செயல்முறையுடன் தொடங்கவும்.படத்தின் வகை, அடி மூலக்கூறு வகை, அறை அமைப்பு, சுத்தம் செய்யும் வாயுக்கள் மற்றும் வெப்பநிலை சுயவிவரத்தை விளக்குங்கள்.
2. வலி புள்ளியை தெளிவுபடுத்துங்கள்.வாழ்நாளை மேம்படுத்த, மாசுபாட்டைக் குறைக்க, சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த அல்லது இறக்குமதி செய்யப்பட்ட பகுதியை மாற்ற முயற்சிக்கிறீர்களா?
3. பொருள் இணைத்தல் பற்றி கேளுங்கள்.அதே படகு வடிவமைப்பு கிராஃபைட் தரம் மற்றும் பூச்சு அணுகுமுறையைப் பொறுத்து வித்தியாசமாக நடந்து கொள்ளலாம்.
4. பயன்பாட்டில் முக்கியமான சகிப்புத்தன்மையை மதிப்பாய்வு செய்யவும்.ஒவ்வொரு பரிமாணமும் சமமாக முக்கியமில்லை. செதில் ஏற்றுதல் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதிக்கும் பரிமாணங்களில் கவனம் செலுத்துங்கள்.
5. எதிர்பார்க்கப்படும் உடைகள் வழிமுறைகளைப் பற்றி விவாதிக்கவும்.ஒரு பயனுள்ள சப்ளையர் ஆக்ஸிஜனேற்ற ஆபத்து, பிளாஸ்மா அரிப்பு, அரிப்பு பாதைகள் மற்றும் வெப்ப சோர்வு பற்றி பேச முடியும்.
6. நடைமுறை ஆதரவைக் கோருங்கள்.மாதிரி சரிபார்ப்பு, வடிவமைப்பு சுத்திகரிப்பு மற்றும் பயன்பாட்டு விவாதம் ஆகியவை குறைந்த தொடக்க மேற்கோளை விட மதிப்புமிக்கவை.

WuYi TianYao அட்வான்ஸ்டு மெட்டீரியல் டெக்.கோ., லிமிடெட்.தீவிரமான தொழில்துறை வாங்குபவர்கள் ஒரு பொதுவான பதிலை அரிதாகவே விரும்புவதால், இந்த வகையான உரையாடலுக்கு ஏற்ற நிலை உள்ளது. அறை மற்றும் செயல்முறை யதார்த்தத்துடன் பொருந்தக்கூடிய ஒரு கூறுகளை அவர்கள் விரும்புகிறார்கள். குறைக்கடத்தி மற்றும் மேம்பட்ட பூச்சு பயன்பாடுகளில், அந்த நடைமுறைப் பொருத்தம்தான் தாங்கக்கூடிய பகுதியை நம்பகமான ஒன்றிலிருந்து பிரிக்கிறது.

ஒரு சப்ளையர் பொதுவான பலத்தை மட்டுமே சந்தைப்படுத்துகிறார், ஆனால் சேவை வாழ்க்கை, மாசு கட்டுப்பாடு மற்றும் பூச்சு இணக்கத்தன்மை பற்றி உறுதியாகப் பேச முடியாவிட்டால், அது பொதுவாக ஒரு எச்சரிக்கை அறிகுறியாகும். மெருகூட்டப்பட்ட வார்த்தைகளை விட வாங்குபவர்கள் தகுதியானவர்கள். அவர்களுக்கு செயல்முறை புரிதலுக்கான சான்றுகள் தேவை.

ஒரு சப்ளையர் மற்றொருவருடன் பணிபுரிவதை எளிதாக்குவது எது?

சப்ளையர் தொழில்நுட்ப தகவல்தொடர்புகளை எவ்வாறு கையாளுகிறார் என்பதில் வேறுபாடு அடிக்கடி வருகிறது. சிறந்த சப்ளையர்கள் நிச்சயமற்ற தன்மையைக் குறைப்பதால் அவர்களுடன் வேலை செய்வது எளிது. அவர்கள் சரியான கேள்விகளை முன்கூட்டியே கேட்கிறார்கள், யதார்த்தமான விருப்பங்களைப் பரிந்துரைக்கிறார்கள், மேலும் விலையுயர்ந்த பொருந்தாதவற்றைத் தவிர்க்க வாடிக்கையாளர்களுக்கு உதவுகிறார்கள்.

PECVD தயாரிப்புகளுக்கான கிராஃபைட் படகின் நம்பகமான சப்ளையர் பின்வருவனவற்றைச் செய்ய முடியும்:

• கேரியர் வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்முறை வெளியீடு இடையே உள்ள தொடர்பைப் புரிந்து கொள்ளுங்கள்
• உண்மையான இயக்க நிலைமைகளின் அடிப்படையில் பொருள் மற்றும் பூச்சு விருப்பங்களை பரிந்துரைக்கவும்
• பரந்த பெயரளவு பரிமாணங்களை நம்பாமல் எந்திரத்தின் தரத்தை கட்டுப்படுத்தவும்
• ஒரு தொகுதி பகுதியிலிருந்து அடுத்த பகுதிக்கு நிலைத்தன்மையை வழங்கவும்
• வாடிக்கையாளருக்கு தனிப்பயனாக்கம் தேவைப்படும்போது தயாரிப்பு சுத்திகரிப்புக்கு ஆதரவு
• வாங்குதல் மற்றும் பொறியியல் குழுக்கள் சீரமைக்க உதவும் வகையில் தொடர்புகொள்ளவும்

இந்தத் துறையில் பெரும்பாலான வாங்குதல் முடிவுகள் தொழில்நுட்ப மற்றும் வணிக அழுத்தத்தை உள்ளடக்கியிருப்பதால் இது முக்கியமானது. பொறியியல் நம்பகத்தன்மையை விரும்புகிறது. கொள்முதல் ஒரு நியாயமான செலவு கட்டமைப்பை விரும்புகிறது. நிர்வாகம் குறைவான குறுக்கீடுகளை விரும்புகிறது. சரியான சப்ளையர் மூன்று குழுக்களும் ஒரே திசையில் செல்ல உதவுகிறார்.

ஒரு சிறந்த கிராஃபைட் படகு எவ்வாறு மொத்த இயக்கச் செலவைக் குறைக்கும்?

PECVDக்கான உயர்தர கிராஃபைட் படகு எப்போதுமே முதல் நாளில் மிகக் குறைந்த விலை விருப்பமாக இருக்காது, ஆனால் முழு இயக்கச் சுழற்சியில் இது பெரும்பாலும் சிறந்த மதிப்பாக மாறும். ஏனெனில் மொத்தச் செலவில் கொள்முதலை விட அதிகமாக உள்ளது.

சிறந்த கேரியர்கள் மறைக்கப்பட்ட செலவுகளை பல வழிகளில் குறைக்கலாம்:

• மாசு அல்லது உறுதியற்ற தன்மையுடன் தொடர்புடைய குறைவான குறைபாடுகள்
• மாற்றீடு அவசியமாகும் முன் நீண்ட சேவை இடைவெளிகள்
• டிரிஃப்டிங் ஹார்டுவேருக்கு ஈடுசெய்ய குறைந்த பொறியியல் நேரம் செலவிடப்படுகிறது
• சுத்தம் அல்லது சரிசெய்தல் தொடர்பான குறைந்த வேலையில்லா நேரம்
• உற்பத்தித் திட்டமிடலைப் பாதுகாக்கும் சிறந்த மறுநிகழ்வு

பல தொழிற்சாலைகளில், உண்மையான சேமிப்பு செயல்முறை அமைதியிலிருந்து வருகிறது. ஆபரேட்டர்கள் கேரியரை நம்பும் போது, ​​பொறியாளர்கள் விவரிக்கப்படாத மாறுபாட்டைத் துரத்த வேண்டிய அவசியமில்லை, மற்றும் வாங்குதல் அடிக்கடி மாற்றும் சுழற்சிகளில் கட்டாயப்படுத்தப்படாவிட்டால், முழு வரியையும் நிர்வகிப்பது எளிதாகிறது. அந்த இயக்க அமைதி மதிப்புமிக்கது. இது உற்பத்தி, தொழிலாளர் திறன் மற்றும் வாடிக்கையாளர் நம்பிக்கையை ஒரே நேரத்தில் பாதுகாக்கிறது.

எனவே சிறந்த கேள்வி "எந்த கிராஃபைட் படகு மலிவானது?" என்பது அல்ல. அது "எது கிராஃபைட் படகு குறைவான தவிர்க்கக்கூடிய ஆச்சரியங்களுடன் நீண்ட நேரம் சீராக இயங்க உதவுகிறது?" அனுபவம் வாய்ந்த வாங்குபவர்கள் மீண்டும் மீண்டும் கேட்கும் கேள்வி இதுதான்.

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்