VeTek குறைக்கடத்தி என்பது செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுப் பொருட்களின் முன்னணி உற்பத்தியாளர். எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு சலுகைகளில் CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பாகங்கள், SiC படிக வளர்ச்சிக்கான சின்டெர்டு TaC பூச்சு பாகங்கள் அல்லது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஆகியவை அடங்கும். ISO9001 ஐப் பெற்றால், VeTek செமிகண்டக்டர் தரத்தில் நல்ல கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டர், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுத் தொழிலில் புதுமைப்பித்தனாக ஆவதற்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது, தொடர்ந்து ஆராய்ச்சி மற்றும் மறுசெயல் தொழில்நுட்பங்களை மேம்படுத்துகிறது.
முக்கிய தயாரிப்புகள்TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம், CVD TaC பூசப்பட்ட மூன்று இதழ் வழிகாட்டி வளையம், டான்டலம் கார்பைடு TaC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன், CVD TaC பூச்சு கிரக SiC எபிடாக்சியல் சசெப்டர், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட், TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர், டான்டலம் கார்பைடு வளையம், TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு, TaC பூசப்பட்ட செதில் சஸ்பெப்டர், TaC பூசப்பட்ட டிஃப்ளெக்டர் ரிங், CVD TaC பூச்சு கவர், TaC பூசப்பட்ட சக்முதலியன, தூய்மை 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.
TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது. இதன் நன்மை கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு 3880 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக உருகுநிலை, சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை தேவைகளுடன் கூடிய செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது. Aixtron MOCVD அமைப்பு மற்றும் LPE SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை போன்றவை. இது PVT முறை SiC படிகத்திலும் பரந்த பயன்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. வளர்ச்சி செயல்முறை.
முக்கிய அம்சங்கள்:
●வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை
●அல்ட்ரா உயர் தூய்மை
●H2, NH3, SiH4,Siக்கு எதிர்ப்பு
●வெப்ப பங்குக்கு எதிர்ப்பு
●கிராஃபைட்டுடன் வலுவான ஒட்டுதல்
●முறையான பூச்சு கவரேஜ்
● 750 மிமீ விட்டம் வரை அளவு (சீனாவில் உள்ள ஒரே உற்பத்தியாளர் இந்த அளவை அடைகிறார்)
விண்ணப்பங்கள்:
●வேஃபர் கேரியர்
● இண்டக்டிவ் ஹீட்டிங் சசெப்டர்
● எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு
●செயற்கைக்கோள் வட்டு
●தலை மழை
●வழிகாட்டி வளையம்
●LED எபி ரிசீவர்
●ஊசி முனை
●முகமூடி வளையம்
● வெப்ப கவசம்
நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு:
VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு:
|
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்
|
|
அடர்த்தி
|
14.3 (g/cm³)
|
|
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு
|
0.3
|
|
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்
|
6.3 10-6/கே
|
|
கடினத்தன்மை (HK)
|
2000 எச்.கே
|
|
எதிர்ப்பு
|
1×10-5ஓம்* செ.மீ
|
|
வெப்ப நிலைத்தன்மை
|
<2500℃
|
|
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது
|
-10~-20um
|
|
பூச்சு தடிமன்
|
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)
|
TaC பூச்சு EDX தரவு：
TaC பூச்சு படிக அமைப்பு தரவு:
|
உறுப்பு
|
அணு சதவீதம்
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
சராசரி
|
|
சி கே
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
எம்
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
