VeTek குறைக்கடத்தி என்பது செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுப் பொருட்களின் முன்னணி உற்பத்தியாளர். எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு வழங்கல்களில் CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பாகங்கள், SiC படிக வளர்ச்சிக்கான சின்டெர்டு TaC பூச்சு பாகங்கள் அல்லது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஆகியவை அடங்கும். ஐஎஸ்ஓ 9001 ஐ கடந்து, VeTek செமிகண்டக்டர் தரத்தில் நல்ல கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுத் தொழிலில் புதுமைப்பித்தனாக ஆவதற்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது, தொடர்ந்து ஆராய்ச்சி மற்றும் மறுசெயல் தொழில்நுட்பங்களை மேம்படுத்துகிறது.
முக்கிய தயாரிப்புகள் TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம், CVD TaC பூசப்பட்ட மூன்று இதழ்கள் கொண்ட வழிகாட்டி வளையம், டான்டலம் கார்பைடு TaC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன், CVD TaC பூச்சு கிரக SiC எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட போரஸ் கிராஃபைட், டான்டலம் கார்பைட் கோட் கிராஃபைட், டாகாஸ் கார்பைட் சுழற்றுதல், ஆர். TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு, TaC பூசப்பட்ட வேஃபர் சஸ்செப்டர், TaC பூசப்பட்ட டிஃப்ளெக்டர் ரிங், CVD TaC கோட்டிங் கவர், TaC பூசப்பட்ட சக் போன்றவை, தூய்மையானது 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.
TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது. இதன் நன்மை கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு அதன் உயர் உருகுநிலை 3880 டிகிரி செல்சியஸ், சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது. வளர்ச்சி செயல்முறை.
முக்கிய அம்சங்கள்
● வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு சிறந்த எதிர்ப்புடன் 2500°C வரை வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை.
● அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை (<5ppm) மற்றும் குறைந்தபட்ச துகள் உருவாக்கத்திற்கு கிராஃபைட்டுடன் வலுவான ஒட்டுதல்.
● கடுமையான செயல்முறை சூழல்களில் H₂, NH₃, SiH₄ மற்றும் Si நீராவிகளுக்கு உயர்ந்த எதிர்ப்பு.
● 750மிமீ விட்டம் வரையிலான அளவு திறன் கொண்ட கன்ஃபார்மல் பூச்சு கவரேஜ், சீனாவில் பிரத்யேகமாக கிடைக்கிறது.
தயாரிப்பு விவரக்குறிப்பு
VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு:
| TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் |
| அடர்த்தி |
14.3 g/cm³ |
| கடினத்தன்மை |
2000 எச்.கே |
| வெப்ப விரிவாக்கம் |
6.3×10⁻⁶/கே |
| எதிர்ப்பு |
1×10⁻⁵ ஓம்·செ.மீ |
| வெப்ப நிலைத்தன்மை |
<2500°C |
| பூச்சு தடிமன் |
≥20μm (வழக்கமான 35±10μm) |
நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் கார்பைடு (TaC) பூச்சு:
TaC பூச்சு EDX தரவு:
TaC பூச்சு படிக அமைப்பு தரவு:
| உறுப்பு |
அணு சதவீதம் |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
சராசரி |
| சி கே |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| டா எம் |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
விண்ணப்பங்கள்
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் பல்வேறு தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய, VeTek இலக்கு டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது. பின்வரும் அட்டவணை அவற்றை முக்கிய பயன்பாட்டு பகுதிகள் மூலம் வகைப்படுத்துகிறது, வழக்கமான கூறுகள் மற்றும் பொருந்தக்கூடிய செயல்முறைகளை பட்டியலிடுகிறது:
| விண்ணப்பப் புலம் |
வழக்கமான தயாரிப்புகள் |
விண்ணப்ப விளக்கம் |
| SiC எபிடாக்ஸி |
CVD TaC பூசப்பட்ட கிரக சஸ்பெப்டர்,TaC பூசப்பட்ட செதில் சஸ்பெப்டர்,TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம்
|
உயர் வெப்பநிலை SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது (எ.கா., LPE முறை), அதிக வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் திரைப்பட சீரான தன்மையை உறுதி செய்ய குறைந்த மாசுபாடு இடைமுகத்தை வழங்குகிறது. |
| GaN / LED Epitaxy (MOCVD) |
ஷவர் ஹெட், சாட்டிலைட் டிஸ்க், முகமூடி வளையம், வெப்ப கவசம், ஊசி முனை |
Aixtron MOCVD அமைப்புகளுக்கு ஏற்றது, H₂/NH₃ அரிப்பை எதிர்க்கிறது, துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது மற்றும் LED எபிடாக்சியல் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது. |
| SiC படிக வளர்ச்சி (PVT முறை) |
TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்,TaC பூசப்பட்ட அரை நிலவு,வழிகாட்டி வளையம்,கவர்,சக்
|
PVT SiC இங்காட் வளர்ச்சியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, 2500 ° C வரை தாங்கும், கிராஃபைட் எதிர்வினைகளைத் தடுக்கிறது மற்றும் படிக தூய்மையை உறுதி செய்கிறது. |
| உயர் வெப்பநிலை வெப்பமூட்டும் மற்றும் துணை கூறுகள் |
தூண்டல் வெப்பமூட்டும் உறிஞ்சி,எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு, செதில் கேரியர்
|
தூண்டல் அல்லது எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல் அமைப்புகளுக்கு ஏற்றது, அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, கூறுகளின் ஆயுட்காலம் 3-5 மடங்கு அதிகரிக்கிறது. |
மேலும் விரிவான செயல்முறைப் பொருத்த தீர்வுகளுக்கு, தயவுசெய்து பார்க்கவும்சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸிதொடர்புடைய விண்ணப்பப் பக்கம்.
வாடிக்கையாளர் தேவைகளின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளை நாங்கள் ஆதரிக்கிறோம். ISO9001 ஐ நல்ல தரக் கட்டுப்பாட்டுடன் நிறைவேற்றியது.
மேலும் ஆலோசனைக்கு எங்களை தொடர்பு கொள்ள வரவேற்கிறோம் அல்லது செய்தி அனுப்பவும்
