சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட வேஃபர் சசெப்டர்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், எபிடாக்ஸி என்பது சிப் உற்பத்தியில் ஒரு முக்கியமான படியாகும், மேலும் எபிடாக்சியல் கருவிகளின் முக்கிய அங்கமாக செதில் சசெப்டர், சீரான தன்மை, குறைபாடு விகிதம் மற்றும் எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சியின் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. அதிக தூய்மை, உயர்-நிலைத்தன்மை பொருட்களுக்கான தொழில்துறையின் அதிகரித்துவரும் தேவையை நிவர்த்தி செய்வதற்காக, வெட்க்செமிகான் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி-பூசப்பட்ட வேஃபர் சசெப்டரை அறிமுகப்படுத்துகிறது, இதில் அதி-உயர் தூய்மை (≤100PPB, ICP-E10 சான்றளிக்கப்பட்ட) மற்றும் முழு அளவிலான பொருந்தக்கூடிய தன்மை (6 ", 8", 12 "), மேம்பட்ட எப்கிடாக்ஸில் ஒரு முக்கிய தீர்வாக நிலைநிறுத்துகிறது.

.. முக்கிய நன்மைகள்

1. தொழில்துறை முன்னணி தூய்மை

வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) வழியாக டெபாசிட் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) பூச்சு, ஐ.சி.பி-எம்.எஸ் (தூண்டக்கூடிய இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி) சரிபார்க்கப்பட்டபடி ≤100 பிபிபி (ஈ 10 தரநிலை) தூய்மையற்ற அளவை அடைகிறது. இந்த அதி-உயர் தூய்மை எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது மாசு அபாயங்களைக் குறைக்கிறது, இது காலியம் நைட்ரைடு (GAN) மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SIC) பரந்த-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி போன்ற முக்கியமான பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த படிக தரத்தை உறுதி செய்கிறது.

2. விதிவிலக்கான உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் ஆயுள்

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு நிலுவையில் உள்ள உடல் மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது:

உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை: நீர்த்துப்போகச் அல்லது சிதைவு இல்லாமல் 1600 ° C வரை நிலையான செயல்பாடு;

அரிப்பு எதிர்ப்பு: ஆக்கிரமிப்பு எபிடாக்சியல் செயல்முறை வாயுக்களை (எ.கா., எச்.சி.எல், எச்) தாங்குகிறது, சேவை வாழ்க்கையை விரிவுபடுத்துகிறது;

குறைந்த வெப்ப மன அழுத்தம்: எஸ்.ஐ.சி செதில்களின் வெப்ப விரிவாக்க குணகத்துடன் பொருந்துகிறது, போர்வீரர் அபாயங்களைக் குறைக்கிறது.

3. பிரதான உற்பத்தி வரிகளுக்கு முழு அளவிலான பொருந்தக்கூடிய தன்மை

6 அங்குல, 8 அங்குல மற்றும் 12 அங்குல உள்ளமைவுகளில் கிடைக்கிறது, மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகள், மின் சாதனங்கள் மற்றும் ஆர்.எஃப் சில்லுகள் உள்ளிட்ட பல்வேறு பயன்பாடுகளை சசெப்டர் ஆதரிக்கிறது. அதன் துல்லியமான-வடிவமைக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு AMTA மற்றும் பிற பிரதான எபிடாக்சியல் உலைகளுடன் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பை உறுதிசெய்கிறது, இது விரைவான உற்பத்தி வரி மேம்படுத்தல்களை செயல்படுத்துகிறது.

4. உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட உற்பத்தி முன்னேற்றம்

தனியுரிம சி.வி.டி மற்றும் பிந்தைய செயலாக்க தொழில்நுட்பங்களை மேம்படுத்துவதன் மூலம், அதிக தூய்மையான எஸ்.ஐ.சி-பூசப்பட்ட சுசெப்டர்கள் மீது வெளிநாட்டு ஏகபோகத்தை உடைத்துள்ளோம், உள்நாட்டு மற்றும் உலகளாவிய வாடிக்கையாளர்களுக்கு செலவு குறைந்த, விரைவான விநியோக மற்றும் உள்நாட்டில் ஆதரிக்கப்படும் மாற்றீட்டை வழங்குகிறோம்.

.. தொழில்நுட்ப சிறப்பானது

● துல்லியமான சி.வி.டி செயல்முறை.

● சுத்தமான அறை உற்பத்தி: முழு உற்பத்தி செயல்முறை, அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பு முதல் பூச்சு வரை, 100 ஆம் வகுப்பு சுத்தமான அறைகளில் நடத்தப்படுகிறது, குறைக்கடத்தி-தர தூய்மைத் தரங்களை பூர்த்தி செய்கிறது;

● தனிப்பயனாக்கம்.

.. பயன்பாடுகள் மற்றும் வாடிக்கையாளர் நன்மைகள்

● மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி: SIC மற்றும் GAN இன் MOCVD/MBE வளர்ச்சிக்கு ஏற்றது, சாதன முறிவு மின்னழுத்தத்தை மேம்படுத்துதல் மற்றும் மாறுதல் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்;

● சிலிக்கான் அடிப்படையிலான எபிடாக்ஸி: உயர் மின்னழுத்த IGBTS, சென்சார்கள் மற்றும் பிற சிலிக்கான் சாதனங்களுக்கான அடுக்கு சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது;

● வழங்கப்பட்ட மதிப்பு:

எபிடாக்சியல் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது, சிப் விளைச்சலை அதிகரிக்கும்;

பராமரிப்பு அதிர்வெண் மற்றும் உரிமையின் மொத்த செலவைக் குறைக்கிறது;

குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் மற்றும் பொருட்களுக்கான விநியோக சங்கிலி சுதந்திரத்தை துரிதப்படுத்துகிறது.

சீனாவில் அதிக தூய்மை கொண்ட சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி-பூசப்பட்ட செதில்களைச் சேர்ப்பவர்களில் ஒரு முன்னோடியாக, அதிநவீன தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை முன்னேற்றுவதில் நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம். எங்கள் தீர்வுகள் புதிய உற்பத்தி கோடுகள் மற்றும் மரபு உபகரணங்கள் ரெட்ரோஃபிட்கள் இரண்டிற்கும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கின்றன, ஒப்பிடமுடியாத தரம் மற்றும் செயல்திறனுடன் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளை மேம்படுத்துகின்றன.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்