செய்தி

உயர்-தூய்மை கிராஃபைட், CVD SiC/TaC பூசப்பட்ட கூறுகள், திடமான SiC பாகங்கள் மற்றும் தனிப்பயன் குறைக்கடத்தி தீர்வுகளுக்கான VeTek செமிகண்டக்டரின் CNC துல்லிய இயந்திர திறன்களைக் கண்டறியவும்.

Vetek செமிகண்டக்டர் அதன் மேம்பட்ட CVD SiC மற்றும் TaC பூச்சுகள், கிராஃபைட் பாகங்கள், SiC மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி மையப் பொருட்களைக் காட்சிப்படுத்திய CSEAC 2026 இல் சீனாவில் Wuxi இல் பங்கேற்றது. வாடிக்கையாளர் கூட்டாண்மைகளை வலுப்படுத்தவும், புதிய தொழில்நுட்பங்களைப் பற்றி விவாதிக்கவும், ஒத்துழைப்புத் திட்டங்களை முன்னெடுத்துச் செல்லவும் மற்றும் உலகளாவிய குறைக்கடத்தித் துறையில் எதிர்கால வாய்ப்புகளை ஆராயவும் இந்த நிகழ்வு மதிப்புமிக்க வாய்ப்புகளை வழங்கியது.

VETEK செமிகண்டக்டர் ஆனது CVD SiC பூச்சுகள், CVD TaC பூச்சுகள், சாலிட் SiC, உயர் தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் கார்பன் ஃபைபர், குவார்ட்ஸ் மற்றும் மேம்பட்ட மட்பாண்டங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செராமிக்ஸ் உட்பட ஆறு முக்கிய தயாரிப்பு வகைகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. எபிடாக்ஸி, எச்சிங் மற்றும் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி போன்ற முக்கியமான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு எங்கள் தயாரிப்புகள் சேவை செய்கின்றன. இரட்டை R&D இயங்குதளங்கள், முழுமையாக ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட உற்பத்தி அமைப்பு மற்றும் உலகளாவிய விநியோகத் திறன்களுடன், நாங்கள் ஒரு தேசிய சிறப்பு மற்றும் அதிநவீன "லிட்டில் ஜெயண்ட்" நிறுவனமாக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளோம்.

VETEK இன் புதிய குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நிலையம் குறைக்கடத்தி தர க்ளீன்ரூம் கட்டுமான கட்டத்தில் நுழைந்துள்ளது. புதிய தளம் CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள், TaC பூச்சுகள், PyC பூச்சுகள், சாலிட் SiC பாகங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் பொருட்களின் உற்பத்தியை ஆதரிக்கும்.

VeTek செமிகண்டக்டர் SNEC 2026 ஷாங்காயில் இருந்து முக்கிய நுண்ணறிவுகளைப் பகிர்ந்து கொள்கிறது, உயர்-தூய்மை கிராஃபைட், CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள், கார்பன் கலவைகள் மற்றும் அடுத்த தலைமுறை சூரிய உற்பத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தியை ஆதரிக்கும் மேம்பட்ட வெப்ப புலப் பொருட்கள் ஆகியவற்றை முன்னிலைப்படுத்துகிறது.

மேம்பட்ட SiC, TaC மற்றும் PyC பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள், திட SiC கூறுகள், உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் பாகங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி வெப்ப புலப் பொருட்களுக்கான உற்பத்தி திறனை விரிவுபடுத்தும், அதன் புதிய குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தளத்தின் முதலிடத்தை VETEK கொண்டாடுகிறது.

செப்டம்பர் 5 ஆம் தேதி, வெடெக் செமிகண்டக்டரின் வாடிக்கையாளர்கள் எஸ்.ஐ.சி பூச்சு மற்றும் டிஏசி பூச்சு தொழிற்சாலைகளை பார்வையிட்டனர் மற்றும் சமீபத்திய எபிடாக்சியல் செயல்முறை தீர்வுகள் குறித்து மேலும் ஒப்பந்தங்களை எட்டினர்.

செப்டம்பர் 5, 2025 அன்று, போலந்து நாட்டைச் சேர்ந்த வாடிக்கையாளர் ஒருவர் VETEK இன் கீழ் உள்ள ஒரு தொழிற்சாலைக்குச் சென்று, கார்பன் ஃபைபர் தயாரிப்புகளின் உற்பத்தியில் எங்களின் மேம்பட்ட தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் புதுமையான செயல்முறைகளைப் பற்றி அறிந்து கொண்டார்.

SiC-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர்கள், GaN மற்றும் LED எபிடாக்ஸிக்கான MOCVD அமைப்புகளில் முக்கியமான வெப்ப மற்றும் இயந்திர கூறுகளாகும். கேரியர் வடிவியல், பாக்கெட் ஆழம், தட்டையான தன்மை, கிராஃபைட் பண்புகள் மற்றும் CVD SiC பூச்சு நிலை ஆகியவை செதில் வெப்பநிலை விநியோகம், எபிடாக்சியல் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் எவ்வாறு பாதிக்கப்படுகின்றன என்பதை இந்த தொழில்நுட்ப கட்டுரை விளக்குகிறது. இது வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் சாதன விளைச்சல், பொதுவான பூச்சு சிதைவு வழிமுறைகள், சேவை-வாழ்க்கை பரிசீலனைகள் மற்றும் தனிப்பயன் அல்லது மாற்று MOCVD செதில் கேரியரைக் குறிப்பிடும்போது தேவைப்படும் பொறியியல் தரவு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான உறவையும் ஆராய்கிறது.

SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டின் இயந்திரத்திறன் மற்றும் வெப்ப நடத்தையை வேதியியல் ரீதியாக நிலையான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு செயல்முறை மேற்பரப்புடன் ஒருங்கிணைக்கிறது. வெற்று கிராஃபைட் இரசாயன தொடர்பு, அசுத்தங்கள் மற்றும் எபிடாக்ஸி உலைகளில் உள்ள துகள்கள், CVD SiC எவ்வாறு மிகவும் நிலையான செயல்முறை எல்லையை உருவாக்குகிறது மற்றும் ஏன் பூச்சு ஒருமைப்பாடு, அடி மூலக்கூறு இணக்கத்தன்மை, வடிவியல் மற்றும் வெப்ப நடத்தை ஆகியவை ஒன்றாக வடிவமைக்கப்பட வேண்டும் என்பதை இந்த தொழில்நுட்ப வெள்ளை அறிக்கை விளக்குகிறது. இது சிலிக்கான் மற்றும் SiC எபிடாக்சியின் பல்வேறு கோரிக்கைகளை ஆராய்கிறது மற்றும் செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளுக்கு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள் எவ்வாறு குறிப்பிடப்பட வேண்டும் என்பதைக் கோடிட்டுக் காட்டுகிறது.

ஒரு SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியில் ஒரு முக்கியமான வெப்ப-புல கூறு ஆகும், மாறாக ஒரு செதில் வைத்திருப்பவர். இந்த தொழில்நுட்பக் கட்டுரையானது, சஸ்பெப்டர் வடிவியல், தட்டையான தன்மை, பாக்கெட் வடிவமைப்பு, கிராஃபைட் பண்புகள் மற்றும் CVD SiC பூச்சுத் தரம் ஆகியவை எவ்வாறு செதில் வெப்ப எல்லைகள், வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் எபிடாக்சியல் சீரான தன்மை ஆகியவற்றில் செல்வாக்கு செலுத்த ஒன்றாகச் செயல்படுகின்றன என்பதை விளக்குகிறது. இது பொதுவான சஸ்செப்டர் தோல்வி முறைகள், பூச்சு சிதைவு, துகள் அபாயங்கள் மற்றும் தனிப்பயன் அல்லது மாற்று எபிடாக்ஸி சஸ்பெக்டரைக் குறிப்பிடும்போது தேவைப்படும் முக்கிய பொறியியல் அளவுருக்கள் ஆகியவற்றையும் ஆராய்கிறது.

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வாயு-கட்டம் மற்றும் மேற்பரப்பு எதிர்வினைகள் மூலம் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டில் அடர்த்தியான SiC அடுக்கை வைப்பதன் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது. இந்த கட்டுரை அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பு, MTS அடிப்படையிலான CVD வளர்ச்சி, அணுக்கரு மற்றும் வெகுஜன பரிமாற்றம், பூச்சு தடிமன் மற்றும் சீரான தன்மை, SiC/கிராஃபைட் இடைமுக அழுத்தம், பொதுவான குறைபாடுகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி தர ஆய்வு ஆகியவற்றை விளக்குகிறது. எபிடாக்ஸி மற்றும் எம்ஓசிவிடியில் பயன்படுத்தப்படும் சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வேஃபர் கேரியர்களுக்கு செயல்முறை அளவுருக்கள் மற்றும் கூறு வடிவியல் ஏன் ஒன்றாக வடிவமைக்கப்பட வேண்டும் என்பதையும் இது காட்டுகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு என்பது செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் கூறுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படும் அடர்த்தியான CVD SiC அடுக்கு ஆகும். கிராஃபைட் ஏன் SiC உடன் பூசப்பட்டது, CVD SiC எவ்வாறு உருவாகிறது, எந்த பூச்சு பண்புகள் மற்றும் இடைமுகக் காரணிகள் செயல்திறனைக் கட்டுப்படுத்துகின்றன மற்றும் SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி, SiC எபிடாக்ஸி மற்றும் MOCVD ஆகியவற்றை எவ்வாறு ஆதரிக்கிறது என்பதை இந்தக் கட்டுரை விளக்குகிறது. இது பூச்சு தடிமன், CTE பொருத்தமின்மை, டிலாமினேஷன் அபாயம் மற்றும் சஸ்செப்டர்கள், வேஃபர் கேரியர்கள் மற்றும் பிற பூசப்பட்ட கூறுகளைக் குறிப்பிடும் போது தேவைப்படும் பொறியியல் தகவல்களையும் ஆராய்கிறது.

CVD SiC மற்றும் TaC பூச்சுகள் வெப்ப நிலைத்தன்மை, மாசுபடுதல், துகள்கள் மற்றும் செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியில் மீண்டும் மீண்டும் செயல்படும் தன்மையை எவ்வாறு பாதிக்கின்றன, அளவுரு அட்டவணைகள், பூச்சு-தேர்வு முடிவு மரம், தோல்வி வழிமுறைகள் மற்றும் RFQ அளவுகோல்களுடன் தொழில்நுட்ப வெள்ளை அறிக்கை.

8-inch SiC இப்போது தொகுதி உற்பத்தியில் உள்ளது, ஆனால் செதில் விளைச்சல் - திறன் அல்ல - வெற்றியாளர்களைப் பிரிக்கிறது. கிராஃபைட் ஹாட்-ஜோன் பாகங்களில் TaC பூச்சு ஏன் விளைச்சலைத் தீர்மானிக்கிறது மற்றும் ஒரு சப்ளையரை எவ்வாறு தகுதி பெறுவது என்பதை இந்த வழிகாட்டி விளக்குகிறது.

நவீன சிப் தயாரிப்பில், அடி மூலக்கூறு உடல் ஆதரவு மற்றும் வெப்பச் சிதறல் பாதையை வழங்குகிறது, அதே நேரத்தில் எபிடாக்சியல் அடுக்கு சாதனத்தின் மின் செயல்திறன் வரம்புகளை தீர்மானிக்கிறது. இந்தக் கட்டுரை ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் CVD/MBE எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கு இடையே உள்ள அடிப்படை வேறுபாடுகளின் ஆழமான பகுப்பாய்வை வழங்குகிறது. நீங்கள் ஒரு செயல்முறைப் பொறியியலாளராக இருந்தாலும் அல்லது கொள்முதல் முடிவெடுப்பவராக இருந்தாலும், மிகவும் பொருத்தமான செதில் தேர்வு உத்தியை விரைவாகக் கண்டறிய இந்த வழிகாட்டி உங்களுக்கு உதவும்.