தயாரிப்புகள்

திட சிலிக்கான் கார்பைடு

வெடெக் செமிகண்டக்டர் திட சிலிக்கான் கார்பைடு பிளாஸ்மா பொறித்தல் உபகரணங்கள், திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு (சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு) பொறித்தல் உபகரணங்களில் உள்ள பகுதிகள் அடங்கும்கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள்.


எடுத்துக்காட்டாக, ஃபோகஸ் மோதிரம் என்பது செதிலுக்கு வெளியே வைக்கப்பட்டு, செதிலுடன் நேரடி தொடர்பில் வைக்கப்பட்டுள்ளது, மோதிரத்திற்கு ஒரு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் மோதிரத்தின் வழியாக செல்லும் பிளாஸ்மாவை மையமாகக் கொண்டு, இதன் மூலம் செயலாக்கத்தின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த பிளாஸ்மாவை செதில் கவனம் செலுத்துகிறது. பாரம்பரிய கவனம் வளையம் சிலிக்கான் அல்லதுகுவார்ட்ஸ்.


Sஓலிட் சிக் ஃபோகஸ் மோதிரம்வேலை செய்யும் கொள்கை

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


எஸ்ஐ அடிப்படையிலான கவனம் மோதிரம் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் வளையத்தின் ஒப்பீடு

எஸ்ஐ அடிப்படையிலான கவனம் மோதிரம் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் வளையத்தின் ஒப்பீடு
உருப்படி மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி.
அடர்த்தி (கிராம்/செ.மீ.3) 2.33 3.21
இசைக்குழு இடைவெளி (ஈ.வி) 1.12 2.3
வெப்ப கடத்துத்திறன் (w/cm ℃) 1.5 5
சி.டி.இ (எக்ஸ் 10-6/℃) 2.6 4
மீள் மாடுலஸ் (ஜி.பி.ஏ) 150 440
கடினத்தன்மை (ஜி.பி.ஏ) 11.4 24.5
அணிய மற்றும் அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு ஏழை சிறந்த


வெடெக் செமிகண்டக்டர் குறைக்கடத்தி கருவிகளுக்கான எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் போன்ற மேம்பட்ட திட சிலிக்கான் கார்பைடு (சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு) பகுதிகளை வழங்குகிறது. எங்கள் திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் இயந்திர வலிமை, வேதியியல் எதிர்ப்பு, வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை ஆயுள் மற்றும் அயன் பொறித்தல் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் பாரம்பரிய சிலிக்கானை விஞ்சுகின்றன.


எங்கள் SIC கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்களின் முக்கிய அம்சங்கள் அடங்கும்:

குறைக்கப்பட்ட பொறிப்பு விகிதங்களுக்கு அதிக அடர்த்தி.

உயர் பேண்ட்கேப்புடன் சிறந்த காப்பு.

அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்.

சிறந்த இயந்திர தாக்க எதிர்ப்பு மற்றும் நெகிழ்ச்சி.

அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு.

பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகிறதுபிளாஸ்மா-மேம்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு (பி.இ.சி.வி.டி)நுட்பங்கள், எங்கள் SIC கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் அதிகரித்துவரும் கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்கின்றன. அவை அதிக பிளாஸ்மா சக்தி மற்றும் ஆற்றலைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, குறிப்பாககொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா (சி.சி.பி)அமைப்புகள்.

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகின்றன. சிறந்த தரம் மற்றும் செயல்திறனுக்காக எங்கள் SIC கூறுகளைத் தேர்வுசெய்க.


தயாரிப்புகள்
View as  
 
திட சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங்

திட சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங்

Veteksemicon Solid Silicon Carbide (SiC) ஃபோகசிங் ரிங் என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான நுகர்வு கூறு ஆகும், இதில் பிளாஸ்மா விநியோகம், வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் செதில் விளிம்பு விளைவுகள் ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு அவசியம். உயர்-தூய்மை திட சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட, இந்த கவனம் செலுத்தும் வளையம் விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றை வெளிப்படுத்துகிறது, ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் நம்பகமான செயல்திறனை செயல்படுத்துகிறது. உங்கள் விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.
சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையம்

சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையம்

Veteksemicon ஃபோகஸ் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் பொறித்தல் கருவிகளுக்காக குறிப்பாக SiC பொறித்தல் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மின்னியல் சக் (ESC) சுற்றி பொருத்தப்பட்டிருக்கும், செதில்க்கு அருகாமையில், அதன் முதன்மை செயல்பாடு எதிர்வினை அறைக்குள் மின்காந்த புல விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதாகும், இது முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் ஒரே மாதிரியான மற்றும் கவனம் செலுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. உயர்-செயல்திறன் கொண்ட ஃபோகஸ் ரிங், எட்ச் ரேட் சீரான தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது மற்றும் விளிம்பு விளைவுகளை குறைக்கிறது, நேரடியாக தயாரிப்பு மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.
திட SiC ஃபோகஸ் ரிங்

திட SiC ஃபோகஸ் ரிங்

Veteksemi திடமான SiC ஃபோகஸ் வளையமானது செதில் விளிம்பில் உள்ள மின்சார புலம் மற்றும் காற்றோட்டத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் பொறித்தல் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. சிலிக்கான், மின்கடத்தா மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கான துல்லிய பொறித்தல் செயல்முறைகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் வெகுஜன உற்பத்தி மகசூல் மற்றும் நீண்ட கால நம்பகமான உபகரண செயல்பாட்டை உறுதி செய்வதற்கான முக்கிய அங்கமாகும்.
சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் தலை

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் தலை

வெட்கெமிகானிலிருந்து சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் தலை என்பது குறைக்கடத்தி வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட ஒரு கூறு ஆகும். உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) பூச்சு மூலம் பாதுகாக்கப்படுகிறது, இந்த மழை தலை நிலுவையில் உள்ள ஆயுள், வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களுக்கு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. உங்கள் மேலதிக ஆலோசனையை எதிர்பார்க்கிறேன்.
SIC விளிம்பு வளையம்

SIC விளிம்பு வளையம்

வெட்க்செமிகான் உயர்-தூய்மை SIC எட்ஜ் மோதிரங்கள், குறைக்கடத்தி பொறித்தல் கருவிகளுக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, நிலுவையில் உள்ள அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது செதில்களை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது
உயர் தூய்மை சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி மூல பொருள்

உயர் தூய்மை சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி மூல பொருள்

சி.வி.டி தயாரித்த உயர் தூய்மை சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி மூலப்பொருள் உடல் நீராவி போக்குவரத்தால் சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சிக்கான சிறந்த மூலப்பொருளாகும். வெடெக் குறைக்கடத்தியால் வழங்கப்பட்ட உயர் தூய்மை சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி மூலப்பொருளின் அடர்த்தி எஸ்.ஐ மற்றும் சி-கொண்ட வாயுக்களின் தன்னிச்சையான எரிப்பு மூலம் உருவாகும் சிறிய துகள்களை விட அதிகமாக உள்ளது, மேலும் இதற்கு ஒரு பிரத்யேக சின்தேரிங் உலை தேவையில்லை மற்றும் கிட்டத்தட்ட நிலையான ஆவியாதல் விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளது. இது மிக உயர்ந்த தரமான SIC ஒற்றை படிகங்களை வளர்க்கும். உங்கள் விசாரணையை எதிர்பார்க்கிறேன்.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை திட சிலிக்கான் கார்பைடு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த {77 bep வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.
செய்தி பரிந்துரைகள்
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும் ஏற்றுக்கொள்