தயாரிப்புகள்

திட சிலிக்கான் கார்பைடு

வெடெக் செமிகண்டக்டர் திட சிலிக்கான் கார்பைடு பிளாஸ்மா பொறித்தல் உபகரணங்கள், திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு (சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு) பொறித்தல் உபகரணங்களில் உள்ள பகுதிகள் அடங்கும்கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள்.


எடுத்துக்காட்டாக, ஃபோகஸ் மோதிரம் என்பது செதிலுக்கு வெளியே வைக்கப்பட்டு, செதிலுடன் நேரடி தொடர்பில் வைக்கப்பட்டுள்ளது, மோதிரத்திற்கு ஒரு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் மோதிரத்தின் வழியாக செல்லும் பிளாஸ்மாவை மையமாகக் கொண்டு, இதன் மூலம் செயலாக்கத்தின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த பிளாஸ்மாவை செதில் கவனம் செலுத்துகிறது. பாரம்பரிய கவனம் வளையம் சிலிக்கான் அல்லதுகுவார்ட்ஸ்.


Sஓலிட் சிக் ஃபோகஸ் மோதிரம்வேலை செய்யும் கொள்கை

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


எஸ்ஐ அடிப்படையிலான கவனம் மோதிரம் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் வளையத்தின் ஒப்பீடு

எஸ்ஐ அடிப்படையிலான கவனம் மோதிரம் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் வளையத்தின் ஒப்பீடு
உருப்படி மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி.
அடர்த்தி (கிராம்/செ.மீ.3) 2.33 3.21
இசைக்குழு இடைவெளி (ஈ.வி) 1.12 2.3
வெப்ப கடத்துத்திறன் (w/cm ℃) 1.5 5
சி.டி.இ (எக்ஸ் 10-6/℃) 2.6 4
மீள் மாடுலஸ் (ஜி.பி.ஏ) 150 440
கடினத்தன்மை (ஜி.பி.ஏ) 11.4 24.5
அணிய மற்றும் அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு ஏழை சிறந்த


வெடெக் செமிகண்டக்டர் குறைக்கடத்தி கருவிகளுக்கான எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் போன்ற மேம்பட்ட திட சிலிக்கான் கார்பைடு (சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு) பகுதிகளை வழங்குகிறது. எங்கள் திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் இயந்திர வலிமை, வேதியியல் எதிர்ப்பு, வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை ஆயுள் மற்றும் அயன் பொறித்தல் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் பாரம்பரிய சிலிக்கானை விஞ்சுகின்றன.


எங்கள் SIC கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்களின் முக்கிய அம்சங்கள் அடங்கும்:

குறைக்கப்பட்ட பொறிப்பு விகிதங்களுக்கு அதிக அடர்த்தி.

உயர் பேண்ட்கேப்புடன் சிறந்த காப்பு.

அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்.

சிறந்த இயந்திர தாக்க எதிர்ப்பு மற்றும் நெகிழ்ச்சி.

அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு.

பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகிறதுபிளாஸ்மா-மேம்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு (பி.இ.சி.வி.டி)நுட்பங்கள், எங்கள் SIC கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் அதிகரித்துவரும் கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்கின்றன. அவை அதிக பிளாஸ்மா சக்தி மற்றும் ஆற்றலைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, குறிப்பாககொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா (சி.சி.பி)அமைப்புகள்.

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகின்றன. சிறந்த தரம் மற்றும் செயல்திறனுக்காக எங்கள் SIC கூறுகளைத் தேர்வுசெய்க.


தயாரிப்புகள்
View as  
 
CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் RTP RTA கேரியர்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் RTP RTA கேரியர்

VETEK CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கோடட் கிராஃபைட் RTP RTA கேரியர், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (RTA) அமைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சுடன் கூடிய உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது, இது சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த வெப்பநிலை சீரான தன்மை, உயர்ந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் அதி-குறைந்த துகள் உருவாக்கம் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. தொடர்ச்சியான விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, கேரியர் நம்பகமான செதில் ஆதரவு மற்றும் சிலிக்கான் செதில் அனீலிங் மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான நிலையான செயல்முறை செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
CVD சிலிக்கான் கார்பைடு(SiC) பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு(SiC) பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டரில் இருந்து CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர் விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி முழுவதும் பயன்படுத்தப்படும் விரைவான வெப்ப அனீலிங் (RTA) உபகரணங்களை வழங்குகிறது. அடி மூலக்கூறு உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, அதன் மேல் அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்கு டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. இந்த கட்டுமானமானது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், வலுவான இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் தொடர்ச்சியான உயர் வெப்பநிலை சுழற்சியின் கீழ் நிலையான பரிமாண நிலைத்தன்மையை அளிக்கிறது.
திட SiC ஃபோகஸ் வளையங்கள்

திட SiC ஃபோகஸ் வளையங்கள்

வேஃபர் டிராக்கிங் மண்டலத்தைச் சுற்றி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, சாலிட் SiC ஃபோகஸ் ரிங் நேரியல் பிளாஸ்மா விநியோகம் மற்றும் சரியான விளிம்பில் இருந்து மையத்தில் உள்ள எட்ச் சுயவிவரங்களை உறுதி செய்கிறது. இந்த பிரீமியம் β-SiC கூறுகள் Vetek செமிகண்டக்டரால் (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) உருவாக்கப்பட்டுள்ளது. மூலப்பொருட்களை ஒரு அடர்த்தியான, பைண்டர்லெஸ் மேட்ரிக்ஸில் ஆவியாக்குவதன் மூலம், பழைய பொருட்களில் உள்ள நுண்ணிய நுண் இடைவெளிகளை Vetek நீக்குகிறது. நிலையான குவார்ட்ஸ் அல்லது சிலிக்கான் கவசத்துடன் ஒப்பிடும்போது, ​​எங்கள் CVD SiC கூறுகள் அரிக்கும் ஆலசன் வாயுக்களுக்கு மிகவும் சிறப்பாக நிற்கின்றன, ஆழமான சப்-7nm லாஜிக் மற்றும் அடர்த்தியான மெமரி சிப் உற்பத்தியில் செதில்களை பாதுகாக்கின்றன. உங்களின் மேலான விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.
திட சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங்

திட சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங்

Veteksemicon Solid Silicon Carbide (SiC) ஃபோகசிங் ரிங் என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான நுகர்வு கூறு ஆகும், இதில் பிளாஸ்மா விநியோகம், வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் செதில் விளிம்பு விளைவுகள் ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு அவசியம். உயர்-தூய்மை திட சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட, இந்த கவனம் செலுத்தும் வளையம் விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றை வெளிப்படுத்துகிறது, ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் நம்பகமான செயல்திறனை செயல்படுத்துகிறது. உங்கள் விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.
சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையம்

சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையம்

Veteksemicon ஃபோகஸ் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் பொறித்தல் கருவிகளுக்காக குறிப்பாக SiC பொறித்தல் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மின்னியல் சக் (ESC) சுற்றி பொருத்தப்பட்டிருக்கும், செதில்க்கு அருகாமையில், அதன் முதன்மை செயல்பாடு எதிர்வினை அறைக்குள் மின்காந்த புல விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதாகும், இது முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் ஒரே மாதிரியான மற்றும் கவனம் செலுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. உயர்-செயல்திறன் கொண்ட ஃபோகஸ் ரிங், எட்ச் ரேட் சீரான தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது மற்றும் விளிம்பு விளைவுகளை குறைக்கிறது, நேரடியாக தயாரிப்பு மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.
திட SiC ஃபோகஸ் ரிங்

திட SiC ஃபோகஸ் ரிங்

Veteksemi திடமான SiC ஃபோகஸ் வளையமானது செதில் விளிம்பில் உள்ள மின்சார புலம் மற்றும் காற்றோட்டத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் பொறித்தல் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. சிலிக்கான், மின்கடத்தா மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கான துல்லிய பொறித்தல் செயல்முறைகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் வெகுஜன உற்பத்தி மகசூல் மற்றும் நீண்ட கால நம்பகமான உபகரண செயல்பாட்டை உறுதி செய்வதற்கான முக்கிய அங்கமாகும்.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள்.தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும்ஏற்றுக்கொள்