தொழில்நுட்பம் மற்றும் தீர்வுகள்

பூசப்பட்ட பாகங்கள் ஒவ்வொரு வாழ்நாள் முனையிலும் முழுமையாக அகற்றப்பட வேண்டியதில்லை. CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்கள் சுத்தம் செய்வதற்கும் மீளுருவாக்கம் செய்வதற்கும் எப்போது பொருத்தமானது, அவற்றை எவ்வாறு ஏற்றுக்கொள்வது மற்றும் முழு-வாழ்க்கைச் சுழற்சி மனப்போக்குடன் மாற்றுத் திறனை எவ்வாறு நிர்வகிப்பது - சமநிலை மகசூல் மற்றும் ஒரு ஓட்டத்திற்கான செலவு ஆகியவற்றை மிகவும் நம்பகத்தன்மையுடன் நிர்வகிப்பது எப்படி என்பதை இந்தக் கட்டுரை விளக்குகிறது.

பொருள் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பிறகு, தடிமன் சீரான தன்மை, துகள் நிலை மற்றும் தூய்மை போன்ற அளவிடக்கூடிய அளவீடுகள் கருவியின் செயல்திறனை பெரும்பாலும் தீர்மானிக்கிறது. இந்தக் கட்டுரை CVD SiC பூச்சுகளின் முக்கிய தர பரிமாணங்களை ஏற்றுக்கொள்ளுதல் மற்றும் பயன்படுத்துதல் ஆகியவற்றை ஒழுங்கமைக்கிறது, இது "குறிப்பிட்ட பொருத்தங்களில்" இருந்து "அறிக்கை சரிபார்க்கப்படலாம் மற்றும் ஆபத்தை எதிர்பார்க்கலாம்" என்பதற்கு உதவுகிறது.

இந்தக் கட்டுரையானது CVD SiC பூச்சு, TaC பூச்சு மற்றும் சாலிட் SiC ஆகியவற்றின் பயன்பாட்டு எல்லைகள் மற்றும் வெப்பநிலை, வளிமண்டலம் மற்றும் செயல்முறை வகை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் வழக்கமான காட்சிகளைக் கோடிட்டுக் காட்டுகிறது, எபிடாக்ஸி மற்றும் எச்சிங் பொறியாளர்கள் தேர்ந்தெடுக்கும் போது செயல்முறை சாளரங்களை விரைவாக சீரமைக்க உதவுகிறது மற்றும் பொருள்-நிலைமை பொருந்தாததால் ஏற்படும் துகள் மற்றும் வாழ்நாள் அபாயங்களைத் தவிர்க்கிறது.

Aixtron G10, Veeco, ASM susceptors மற்றும் preheat rings ஆகியவற்றிற்கான இணக்கத்தன்மை மற்றும் மாற்று தீர்வுகள். 1:1 வரைதல் அடிப்படையிலான தனிப்பயனாக்கம், நிலையான பகுதிகளுக்கு விரைவான ஷிப்பிங், தனிப்பயன் பாகங்களுக்கு 3-6 வாரங்கள், ஆய்வு அறிக்கைகள் மற்றும் மாதிரி மதிப்பீடு ஆகியவற்றை ஆதரிக்கிறது.