VeTek செமிகண்டக்டர் MOCVD தொழில்நுட்ப உதிரி பாகங்களில் அனுகூலத்தையும் அனுபவத்தையும் கொண்டுள்ளது.
MOCVD, உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு) என்பதன் முழுப் பெயர், உலோக-கரிம நீராவி நிலை எபிடாக்ஸி என்றும் அழைக்கப்படலாம். ஆர்கனோமெட்டாலிக் கலவைகள் என்பது உலோக-கார்பன் பிணைப்புகளைக் கொண்ட ஒரு வகை சேர்மங்கள் ஆகும். இந்த கலவைகள் ஒரு உலோகத்திற்கும் கார்பன் அணுவிற்கும் இடையே குறைந்தது ஒரு இரசாயன பிணைப்பைக் கொண்டிருக்கின்றன. உலோக-கரிம சேர்மங்கள் பெரும்பாலும் முன்னோடிகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன மற்றும் பல்வேறு படிவு நுட்பங்கள் மூலம் அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய படலங்கள் அல்லது நானோ கட்டமைப்புகளை உருவாக்கலாம்.
உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD தொழில்நுட்பம்) என்பது ஒரு பொதுவான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பமாகும், MOCVD தொழில்நுட்பம் குறைக்கடத்தி லேசர்கள் மற்றும் லெட்ஸ் தயாரிப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. குறிப்பாக லெட்களை உற்பத்தி செய்யும் போது, காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் தொடர்புடைய பொருட்களின் உற்பத்திக்கு MOCVD ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும்.
எபிடாக்ஸியின் இரண்டு முக்கிய வடிவங்கள் உள்ளன: லிக்விட் பேஸ் எபிடாக்ஸி (எல்பிஇ) மற்றும் வேப்பர் ஃபேஸ் எபிடாக்ஸி (விபிஇ). வாயு கட்ட எபிடாக்ஸியை மேலும் உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) மற்றும் மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி (MBE) என பிரிக்கலாம்.
வெளிநாட்டு உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் முக்கியமாக Aixtron மற்றும் Veeco ஆல் பிரதிநிதித்துவப்படுத்தப்படுகிறார்கள். MOCVD அமைப்பு லேசர்கள், லெட்ஸ், ஒளிமின்னழுத்த கூறுகள், சக்தி, RF சாதனங்கள் மற்றும் சூரிய மின்கலங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான முக்கிய கருவிகளில் ஒன்றாகும்.
எங்கள் நிறுவனத்தால் தயாரிக்கப்பட்ட MOCVD தொழில்நுட்ப உதிரி பாகங்களின் முக்கிய அம்சங்கள்:
1) அதிக அடர்த்தி மற்றும் முழு அடைப்பு: ஒட்டுமொத்தமாக கிராஃபைட் அடித்தளம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழலில் உள்ளது, மேற்பரப்பு முழுமையாக மூடப்பட்டிருக்க வேண்டும், மேலும் பூச்சு ஒரு நல்ல பாதுகாப்பு பாத்திரத்தை வகிக்க நல்ல அடர்த்தியைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.
2) நல்ல மேற்பரப்பு தட்டையானது: ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் தளத்திற்கு மிக உயர்ந்த மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை தேவைப்படுவதால், பூச்சு தயாரிக்கப்பட்ட பிறகு அடித்தளத்தின் அசல் தட்டையான தன்மை பராமரிக்கப்பட வேண்டும், அதாவது, பூச்சு அடுக்கு ஒரே மாதிரியாக இருக்க வேண்டும்.
3) நல்ல பிணைப்பு வலிமை: கிராஃபைட் தளத்திற்கும் பூச்சுப் பொருளுக்கும் இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், இது இரண்டிற்கும் இடையேயான பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்த முடியும், மேலும் அதிக மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை வெப்பத்தை அனுபவித்த பிறகு பூச்சு எளிதில் வெடிக்க முடியாது. சுழற்சி.
4) உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்: உயர்தர சிப் வளர்ச்சிக்கு விரைவான மற்றும் சீரான வெப்பத்தை வழங்க கிராஃபைட் அடிப்படை தேவைப்படுகிறது, எனவே பூச்சு பொருள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.
5) அதிக உருகுநிலை, அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு: பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழலில் நிலையாக வேலை செய்ய முடியும்.
Vetek செமிகண்டக்டர் VEECO MOCVD அமைப்புகளுக்கான வேஃபர் கேரியர்களை உருவாக்குகிறது, குறிப்பாக GaN LEDகள், நீல-பச்சை LEDகள் மற்றும் ஆழமான UV LED வளர்ச்சி போன்ற LED எபிடாக்ஸி வேலைகளுக்காக உருவாக்கப்பட்டது. இந்த கேரியர்கள் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டுடன் தொடங்கி அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகளைப் பெறுகின்றன. MOCVD இல் நீங்கள் காணும் அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் அந்த கலவை நன்றாக உள்ளது - நல்ல வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் பூச்சு நீடிக்கும்.
VETEK MOCVD SiC கோடட் சஸ்செப்டர் என்பது LED மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக குறிப்பாக உருவாக்கப்பட்ட ஒரு துல்லிய-பொறியியல் கேரியர் தீர்வு ஆகும். இது சிக்கலான MOCVD சூழல்களுக்குள் விதிவிலக்கான வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை நிரூபிக்கிறது. VETEK இன் கடுமையான CVD படிவு செயல்முறையை மேம்படுத்துவதன் மூலம், செதில் வளர்ச்சி நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கும், முக்கிய கூறுகளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிப்பதற்கும் நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம், உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒவ்வொரு தொகுதிக்கும் நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறன் உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.
எங்கள் SIC பூசப்பட்ட கிரக சசெப்டர் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் உயர் வெப்பநிலை செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் வடிவமைப்பு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் ஒருங்கிணைத்து வெப்ப மேலாண்மை செயல்திறன், வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றின் விரிவான தேர்வுமுறையை அடையலாம்.
திறமையான மற்றும் நிலையான ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சியை ஆதரிப்பதற்காக MOCVD செயல்முறைக்காக SIC பூசப்பட்ட ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி SUSSCECTOR வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட ஆழமான யு.வி. எங்களுக்கு பணக்கார அனுபவம் உள்ளது மற்றும் பல எல்.ஈ.டி எபிடாக்சியல் உற்பத்தியாளர்களுடன் நீண்டகால ஒத்துழைப்பு உறவுகளை நிறுவியுள்ளோம். எல்.ஈ.டிகளுக்கான சசெப்டர் தயாரிப்புகளின் சிறந்த உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர் நாங்கள். பல வருட சரிபார்ப்புக்குப் பிறகு, எங்கள் தயாரிப்பு ஆயுட்காலம் சிறந்த சர்வதேச உற்பத்தியாளர்களுடன் இணையாக உள்ளது. உங்கள் விசாரணையை எதிர்பார்க்கிறேன்.
VeTek செமிகண்டக்டரின் LED Epitaxy சசெப்டர் நீலம் மற்றும் பச்சை LED எபிடாக்சியல் உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் SGL கிராஃபைட் ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைக்கிறது, மேலும் அதிக கடினத்தன்மை, குறைந்த கடினத்தன்மை, நல்ல வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. LED Epitaxy susceptor என்பது VeTek செமிகண்டக்டரின் மிகச் சிறந்த தயாரிப்புகளில் ஒன்றாகும். உங்கள் விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.
வெடெக் செமிகண்டக்டரின் வீகோ எல்இடி எபி சசெப்டர் சிவப்பு மற்றும் மஞ்சள் எல்.ஈ.டிகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மேம்பட்ட பொருட்கள் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தொழில்நுட்பம் சசெப்டரின் வெப்ப நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலை புலத்தை சீரானதாக ஆக்குகிறது, படிக குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது, மேலும் எபிடாக்சியல் செதில்களின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. இது வீகோவின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி கருவிகளுடன் இணக்கமானது மற்றும் உற்பத்தி வரிசையில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கப்படலாம். துல்லியமான வடிவமைப்பு மற்றும் நம்பகமான செயல்திறன் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் செலவுகளைக் குறைக்கவும் உதவுகிறது. உங்கள் விசாரணைகளை எதிர்பார்க்கிறேன்.
சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை MOCVD தொழில்நுட்பம் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என, எங்களிடம் எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த MOCVD தொழில்நுட்பம்ஐ வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள்.தனியுரிமைக் கொள்கை
