பொறிப்பதற்கான SIC பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்

பொறித்தல் செயல்முறைக்கு SIC பூசப்பட்ட செதில் கேரியரின் முக்கிய பயன்பாடு

1. கன் திரைப்பட வளர்ச்சி மற்றும் எல்.ஈ.டி உற்பத்தியில் பொறித்தல்

எல்.ஈ.டி உற்பத்தியில் சபையர் அடி மூலக்கூறுகளை (வடிவமைக்கப்பட்ட சபையர் அடி மூலக்கூறு, பி.எஸ்.எஸ்) ஆதரிக்கவும், அதிக வெப்பநிலையில் காலியம் நைட்ரைடு (கான்) படங்களின் ரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) செய்யவும் SIC பூசப்பட்ட கேரியர்கள் (பிஎஸ்எஸ் பொறித்தல் கேரியர் போன்றவை) பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஒளி பிரித்தெடுத்தல் செயல்திறனை மேம்படுத்த ஒரு மேற்பரப்பு நுண் கட்டமைப்பை உருவாக்க ஈரமான பொறித்தல் செயல்முறையால் கேரியர் அகற்றப்படுகிறது.

முக்கிய பங்கு: செதில் கேரியர் 1600 ° C வரை வெப்பநிலையையும் பிளாஸ்மா பொறிக்கும் சூழலில் ரசாயன அரிப்பு ஆகியவற்றையும் தாங்க வேண்டும். உயர் தூய்மை (99.99995%) மற்றும் எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடர்த்தி உலோக மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் GAN படத்தின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

2. குறைக்கடத்தி பிளாஸ்மா/உலர் பொறித்தல் செயல்முறை

இல்ஐ.சி.பி (தூண்டக்கூடிய இணைந்த பிளாஸ்மா) பொறித்தல். எடுத்துக்காட்டாக, வெட்செமிகானின் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட ஐ.சி.பி பொறித்தல் கேரியர் 2700 ° C இன் பதங்கமாதல் வெப்பநிலையைத் தாங்கும் மற்றும் உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு ஏற்றது.

3. சூரிய மின்கல மற்றும் சக்தி சாதன உற்பத்தி

ஒளிமின்னழுத்த புலத்தில் சிலிக்கான் செதில்களின் உயர் வெப்பநிலை பரவல் மற்றும் பொறிப்பதில் SIC கேரியர்கள் சிறப்பாக செயல்படுகின்றன. அவற்றின் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (4.5 × 10⁻⁶/K) வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் சிதைவைக் குறைக்கிறது மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை விரிவுபடுத்துகிறது.

பொறிப்பதற்கான SIC பூசப்பட்ட செதில் கேரியரின் இயற்பியல் பண்புகள் மற்றும் நன்மைகள்

1. தீவிர சூழல்களுக்கு சகிப்புத்தன்மை:

அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை:சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு1600 ° C காற்று அல்லது 2200 ° C வெற்றிட சூழலில் நீண்ட காலமாக வேலை செய்யலாம், இது பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் அல்லது கிராஃபைட் கேரியர்களை விட மிக அதிகம்.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: எஸ்.ஐ.சி அமிலங்கள், காரங்கள், உப்புகள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அடிக்கடி ரசாயன சுத்தம் செய்யும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிகளுக்கு ஏற்றது.

2. வெப்ப மற்றும் இயந்திர பண்புகள்:

அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் (300 w/mk): விரைவான வெப்பச் சிதறல் வெப்ப சாய்வுகளைக் குறைக்கிறது, செதில் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது, மேலும் திரைப்பட தடிமன் விலகலைத் தவிர்க்கிறது.

அதிக இயந்திர வலிமை: நெகிழ்வு வலிமை 415 MPa (அறை வெப்பநிலை) ஐ அடைகிறது, மேலும் இது அதிக வெப்பநிலையில் 90% க்கும் அதிகமான வலிமையை பராமரிக்கிறது, கேரியர் விரிசல் அல்லது நீக்கம் தவிர.

மேற்பரப்பு பூச்சு: எஸ்.எஸ்.ஐ.சி (அழுத்தம் சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு) குறைந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது (<0.1μm), துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது மற்றும் செதில் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

3. பொருள் பொருந்தும் தேர்வுமுறை:

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் எஸ்.ஐ.சி பூச்சு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க வேறுபாடு: பூச்சு செயல்முறையை சரிசெய்வதன் மூலம் (சாய்வு படிவு போன்றவை), இடைமுக அழுத்தத்தைக் குறைத்து, பூச்சு உரிக்கப்படுவதைத் தடுக்கிறது.

அதிக தூய்மை மற்றும் குறைந்த குறைபாடுகள்: சி.வி.டி செயல்முறை பூச்சு தூய்மை> 99.9999%ஐ உறுதி செய்கிறது, இது உணர்திறன் செயல்முறைகளின் உலோக அயன் மாசுபடுவதைத் தவிர்க்கிறது (எஸ்.ஐ.சி சக்தி சாதன உற்பத்தி போன்றவை).

பின்னர்சி சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு திரைப்பட படிக அமைப்பு

VET செஸ்மிகன் கடைகள்