சேவைகள் & வளங்கள்

உகப்பாக்கம் & வெகுஜன உற்பத்தி

புதிய தயாரிப்பு அறிமுகத்திலிருந்து (NPI) உயர்-தொகுதி உற்பத்திக்கு (HVM) சீராக மாறுவதில் மிகப்பெரிய சவால் நிலைத்தன்மை. செயல்முறை பூட்டுதல், SPC புள்ளிவிவர செயல்முறை கட்டுப்பாடு மற்றும் புலம் திரும்பிய பகுதிகளின் ஆழமான கண்டறிதல் ஆகியவற்றின் மூலம், 1,000வது தயாரிப்பு முதல் மாதிரியிலிருந்து தரத்தில் பிரித்தறிய முடியாததாக இருப்பதை உறுதிசெய்கிறோம்.

வெகுஜன உற்பத்தி உத்தரவாத அமைப்பு:

  • பெரிய கொள்ளளவு CVD உற்பத்தி திறன் & சீரான வெப்பப் புலம்:பல பெரிய அளவிலான, பல மண்டல உயர் தூய்மை CVD உலைகள் பெரிய கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளில் திறமையான படிவுகளை செயல்படுத்துகின்றன, இது தொகுதி உற்பத்தியின் போது வெப்ப மற்றும் ஓட்டப் புலங்களின் மிக உயர்ந்த நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
  • கடுமையான "நகல்-சரியான" கட்டுப்பாடு:வெகுஜன உற்பத்தி சரிபார்ப்புக்குப் பிறகு, கிராஃபைட் மூலப்பொருள் தொகுதிகள், சிஎன்சி எந்திர வழிகள், சிவிடி எதிர்வினை-எரிவாயு தூய்மை, உலை வெப்பநிலை சரிவு வளைவுகள் மற்றும் அறை அழுத்தம் ஆகியவை பூட்டப்பட்டு, தொகுதி-க்கு-தொகுதி மாறுபாட்டைக் குறைக்கின்றன.
  • SPC புள்ளியியல் செயல்முறை கட்டுப்பாடு:ஃபிலிம்-தடிமன் விநியோகம், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மற்றும் வால்யூம் தயாரிப்பின் போது எதிர்ப்பாற்றல் போன்ற முக்கியமான அளவீடுகளின் முழு-செயல்முறை கண்காணிப்பு, முழு தரவுத் தடமறிதலுடன் நிலையான ஒருங்கிணைப்புக்கு மைய அளவுருக்களை இயக்குகிறது.
  • புலம் திரும்பிய பகுதிகளின் ஆழமான கண்டறிதல்:தீவிர இயக்க நிலைகளில் இருந்து திரும்பிய பகுதிகளின் நுண்ணிய நோயறிதல் (SEM + குறுக்கு வெட்டு பகுப்பாய்வு) செய்ய வாடிக்கையாளர்களுடன் ஒத்துழைக்கவும், உள்ளூர் உடைகள் மற்றும் மன அழுத்தம்-செறிவு புள்ளிகளை துல்லியமாக கண்டறியவும்.
  • டைனமிக் ஃபைன் டியூனிங் ஆஃப் ஸ்ட்ரக்சர் & செயல்முறை ரெசிபிகள்:உண்மையான சேம்பர் உடைகள் தரவின் அடிப்படையில், மூலத்தில் இருந்து அடுத்தடுத்த தொகுதிகளின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்க, ஒரு நல்ல சுழற்சியை உருவாக்குவதற்கு, கூறு வடிவியல் மற்றும் படிவு செயல்முறை அளவுருக்களை தலைகீழாக மேம்படுத்துதல்.

உண்மையான வழக்கு & வாடிக்கையாளர் நன்மைகள் (அனுபவம்):

முன்னணி TOPCon ஒளிமின்னழுத்த செல் உற்பத்தியாளர்:ஆரம்ப அறிமுகத்தின் போது, ​​கிராஃபைட் படகு பாகங்கள் தொகுதிகளுக்கு இடையே பட-தடிமன் மாறுபாட்டை (±15%) வெளிப்படுத்தியது, இது பூச்சு சீரான தன்மையை பாதிக்கிறது. நாங்கள் முழு-செயல்முறை SPC கண்காணிப்பைத் தொடங்கினோம் மற்றும் மூன்று முக்கியமான செயல்முறை அளவுருக்களைப் பூட்டினோம் (டெபாசிஷன் வெப்பநிலை, வாயு ஓட்ட விகிதம், அறை அழுத்தம்).3 வாரங்களுக்குள், திரைப்பட தடிமன் சீரான மாறுபாடு ± 15% இலிருந்து ± 3% க்குள் குறைக்கப்பட்டது.இந்த லைன் இப்போது 200 க்கும் மேற்பட்ட பேட்ச்களுக்கு நிலையான முறையில் வழங்கப்பட்டுள்ளது, பேட்ச் தேர்ச்சி விகிதம் தொடர்ந்து 99.2% க்கு மேல் உள்ளது, இது வாடிக்கையாளர் செதில் உடைப்பு விகிதத்தை 1.5% குறைக்க உதவுகிறது.

SPC process control chart

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. கே: CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TaC பூச்சுக்கு இடையே நான் எப்படி தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

▼

A:உங்கள் செயல்முறை வெப்பநிலை மற்றும் வாயு-கட்ட அரிப்பு தீவிரத்தை பாருங்கள். செயல்முறை வெப்பநிலை 1000 °C க்கும் குறைவாக இருந்தால் மற்றும் முக்கியமாக Cl₂/F₂-அடிப்படையிலான செதுக்கல் அல்லது வழக்கமான எபிடாக்ஸியை உள்ளடக்கியிருந்தால், தேர்வு செய்யவும்CVD SiCசிறந்த செலவு-செயல்திறனுக்காக; செயல்முறை வெப்பநிலை 1200 °C ஐ விட அதிகமாக இருந்தால் மற்றும் வலுவான அரிக்கும் வளிமண்டலங்களை உள்ளடக்கியிருந்தால் (எ.கா., SiC PVT ஒற்றை-படிக வளர்ச்சி), நாங்கள் பரிந்துரைக்கிறோம்CVD TaC, இது உயர்ந்த வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. உங்கள் குறிப்பிட்ட செயல்முறை அளவுருக்களின் அடிப்படையில் இலவச தேர்வு பரிந்துரை அறிக்கையை நாங்கள் வழங்க முடியும்.

2. கே: நீங்கள் ஒற்றை-துண்டு / சிறிய-தொகுதி முன்மாதிரியை ஆதரிக்கிறீர்களா? முன்னணி நேரம் என்ன?

▼

A:ஆம்! தலைகீழ்-பொறியியல் முன்மாதிரிகளுக்கு,MOQ என்பது 1 துண்டு. வழக்கமான எளிய பாகங்களுக்கு, மாதிரி பெறுவது முதல் வரைபடப் பகுதியின் விநியோகம் வரை, வேகமான லீட் நேரம் தோராயமாக இருக்கும்10-15 வேலை நாட்கள்; சிக்கலான பூச்சு செயல்முறைகளை உள்ளடக்கிய பாகங்களுக்கு இது தோராயமாக இருக்கும்20-25 வேலை நாட்கள். விரைவான மதிப்பீட்டிற்கு எங்கள் பொறியாளர்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.

3. கே: பயன்பாட்டின் போது கிராஃபைட் பாகங்களில் CVD பூச்சு நீக்கப்படுவதற்கு என்ன காரணம்? தீர்க்க முடியுமா?

▼

A:கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் பூச்சு ஆகியவற்றின் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் (CTE) ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான பொருத்தமின்மையால் 90% delamination வழக்குகள் ஏற்படுகின்றன, இது விரைவான வெப்பம்/குளிர்ச்சியின் கீழ் சோர்வு உரிக்கப்படுவதற்கு வழிவகுக்கிறது. எங்கள் தீர்வு: முதலில் உங்கள் அசல் பகுதியின் CTE வளைவைத் துல்லியமாக அளவிடவும், பின்னர் அடி மூலக்கூறு அடர்த்தி மற்றும் படிவு வெப்பநிலை சாய்வை சிறப்பாகச் சரிசெய்யவும், இதனால் இரண்டு CTE களும் மிகவும் பொருந்துகின்றன. பிணைப்பு வலிமையை விட அதிகமாக மேம்படுத்தலாம்1.5 மடங்குதொழில்துறையின் வழக்கமான நிலை.

4. கே: நீங்கள் தயாரிப்புகளுக்கு CoA (பகுப்பாய்வு சான்றிதழ்) வழங்க முடியுமா? இதில் என்ன தரவு உள்ளது?

▼

A:அனுப்பப்பட்ட ஒவ்வொரு தயாரிப்பும் ஒரு தரத்துடன் வருகிறதுதனித்துவமான வரிசை எண் + முழு CoA அறிக்கை. அறிக்கையில் பின்வருவன அடங்கும்: முக்கியமான பரிமாண CMM ஆய்வுத் தரவு, பல-புள்ளி பூச்சு தடிமன் விநியோக வரைபடம், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை (Ra) மதிப்புகள் மற்றும் பொருள் தூய்மை (GDMS) பகுப்பாய்வு முடிவுகள்.

உங்கள் பிரத்தியேக சேவையை இப்போதே தொடங்குங்கள்

தொலைபேசி: +86-18069220752(டினா);+86-15988690905(சேரா)

மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com

செய்தி பரிந்துரைகள்
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும்ஏற்றுக்கொள்