சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஈபிஐ சசெப்டர்

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சி என்பது வாயு கட்டம், திரவ நிலை அல்லது மூலக்கூறு கற்றை படிவு போன்ற முறைகள் மூலம் அடி மூலக்கூறு பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒரு குறிப்பிட்ட லேட்டிஸ் அமைப்புடன் கூடிய மெல்லிய படலத்தின் வளர்ச்சியைக் குறிக்கிறது, இதனால் புதிதாக வளர்ந்த மெல்லிய பட அடுக்கு (எபிடாக்சியல் அடுக்கு) அடி மூலக்கூறு போன்ற அதே அல்லது ஒத்த லட்டு அமைப்பு மற்றும் நோக்குநிலை. 

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில், குறிப்பாக ஒற்றை படிக அடுக்குகள், ஹீட்டோரோஸ்ட்ரக்சர்கள் மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட சாதனங்களைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் குவாண்டம் கட்டமைப்புகள் போன்ற உயர்தர மெல்லிய படங்களின் தயாரிப்பில் எபிடாக்ஸி தொழில்நுட்பம் முக்கியமானது.

சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஈபிஐ சசெப்டர் என்பது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி கருவிகளில் அடி மூலக்கூறுக்கு ஆதரவளிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், மேலும் இது சிலிக்கான் எபிடாக்ஸியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எபிடாக்சியல் பீடத்தின் தரம் மற்றும் செயல்திறன் எபிடாக்சியல் லேயரின் வளர்ச்சித் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் இறுதி செயல்திறனில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் SGL கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் CVD முறையின் மூலம் SIC பூச்சு அடுக்கை பூசியது, மேலும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை போன்ற பண்புகளுடன் SiC பூசப்பட்ட epi susceptor ஐப் பெற்றது.

ஒரு பொதுவான பீப்பாய் உலையில், சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஈபிஐ சுசெப்டர் ஒரு பீப்பாய் கட்டமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. SIC பூசப்பட்ட EPI SUSSCECTOR இன் அடிப்பகுதி சுழலும் தண்டு உடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது, ​​இது கடிகார திசையில் மற்றும் எதிரெதிர் திசையில் மாற்றுவதை பராமரிக்கிறது. எதிர்வினை வாயு முனை வழியாக எதிர்வினை அறைக்குள் நுழைகிறது, இதனால் வாயு ஓட்டம் எதிர்வினை அறையில் மிகவும் சீரான விநியோகத்தை உருவாக்குகிறது, இறுதியாக ஒரு சீரான எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியை உருவாக்குகிறது.

SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டின் வெகுஜன மாற்றத்திற்கும் ஆக்சிஜனேற்ற நேரத்திற்கும் இடையிலான உறவு

வெளியிடப்பட்ட ஆய்வுகளின் முடிவுகள் 1400℃ மற்றும் 1600℃ இல், SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டின் நிறை மிகக் குறைவாகவே அதிகரிக்கிறது என்பதைக் காட்டுகிறது. அதாவது, SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஒரு வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்ற திறனைக் கொண்டுள்ளது. எனவே, பெரும்பாலான எபிடாக்சியல் உலைகளில் SiC பூசப்பட்ட எபி சசெப்டர் நீண்ட நேரம் வேலை செய்யும். உங்களிடம் கூடுதல் தேவைகள் அல்லது தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகள் இருந்தால், தயவுசெய்து எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும். சிறந்த தரமான SIC பூசப்பட்ட EPI Suscector தீர்வுகளை வழங்க நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம்.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

VeTek செமிகண்டக்டர்சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட எபி சஸ்செப்டர் கடைகள்