போரஸ் sic
தயாரிப்புகள்

போரஸ் sic


வெடெக் செமிகண்டக்டர் குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்களின் முன்னணி உற்பத்தியாளர். ISO9001 ஐ கடந்து, வெடெக் குறைக்கடத்தி தரத்தில் நல்ல கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. நுண்ணிய SIC பீங்கான் துறையில் ஒரு புதுமைப்பித்தராகவும் தலைவராகவும் வெடெக் குறைக்கடத்தி எப்போதும் உறுதிபூண்டுள்ளது.


Porous SiC Ceramic Disc

போரஸ் எஸ்.ஐ.சி பீங்கான் வட்டு


நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்கள் பீங்கான் பொருள், அவை அதிக வெப்பநிலையில் சுடப்படுகின்றன மற்றும் உள்ளே ஏராளமான ஒன்றோடொன்று அல்லது மூடிய துளைகளைக் கொண்டுள்ளன. இது மைக்ரோபோரஸ் வெற்றிட உறிஞ்சும் கோப்பை என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, துளை அளவுகள் 2 முதல் 100um வரை இருக்கும்.


நுண்ணூக்கி, வேதியியல் தொழில், சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு, உயிரியல், குறைக்கடத்தி மற்றும் பிற துறைகளில் போரஸ் எஸ்ஐசி மட்பாண்டங்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்கள் நுரைக்கும் முறை, சோல் ஜெல் முறை, டேப் வார்ப்பு முறை, திட சின்தேரிங் முறை மற்றும் செறிவூட்டல் பைரோலிசிஸ் முறை ஆகியவற்றால் தயாரிக்கப்படலாம்.


Preparation of porous SiC ceramics by sintering method

சின்தேரிங் முறை மூலம் நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்களைத் தயாரித்தல்

Compressive strength of Porous SiC ceramicsFlexural strength of Porous SiC ceramicsFracture toughness of Porous SiC ceramicsthermal conductivity ofPorous SiC ceramics

போரோசிட்டியின் செயல்பாடாக வெவ்வேறு முறைகளால் தயாரிக்கப்பட்ட நுண்ணிய சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பண்புகள்



porous SiC ceramics Suction Cups in Semiconductor Wafer Fabrication

குறைக்கடத்தி செதில் புனையலில் போரஸ் எஸ்ஐசி மட்பாண்ட உறிஞ்சும் கோப்பைகள்


வெடெக் செமிகண்டக்டரின் நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் செதில்களைக் கட்டுப்படுத்தி சுமந்து செல்லும் பாத்திரத்தை வகிக்கின்றன. அவை அடர்த்தியான மற்றும் சீரானவை, அதிக வலிமை, காற்று ஊடுருவலில் நல்லது, மற்றும் உறிஞ்சுதலில் சீரானவை.


அவை செதில் உள்தள்ளல் மற்றும் சிப் மின்னியல் முறிவு போன்ற பல கடினமான சிக்கல்களை திறம்பட நிவர்த்தி செய்கின்றன, மேலும் மிக உயர்தர செதில்களின் செயலாக்கத்தை அடைய உதவுகின்றன.

நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்களின் வேலை வரைபடம்:

Working diagram of porous SiC ceramics


நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்களின் செயல்பாட்டு கொள்கை: சிலிக்கான் செதில் வெற்றிட உறிஞ்சுதல் கொள்கையால் சரி செய்யப்படுகிறது. செயலாக்கத்தின் போது, ​​சிலிக்கான் செதில் மற்றும் பீங்கான் மேற்பரப்புக்கு இடையில் காற்றைப் பிரித்தெடுக்க நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்களில் உள்ள சிறிய துளைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இதனால் சிலிக்கான் செதில் மற்றும் பீங்கான் மேற்பரப்பு குறைந்த அழுத்தத்தில் இருக்கும், இதனால் சிலிக்கான் செதுவை சரிசெய்கின்றன.


செயலாக்கத்திற்குப் பிறகு, சிலிக்கான் செதில் பீங்கான் மேற்பரப்பில் ஒட்டாமல் தடுக்க பிளாஸ்மா நீர் துளைகளுக்கு வெளியே பாய்கிறது, அதே நேரத்தில், சிலிக்கான் செதில் மற்றும் பீங்கான் மேற்பரப்பு சுத்தம் செய்யப்படுகின்றன.


Microstructure of the porous SiC ceramics

நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்களின் நுண் கட்டமைப்பு


நன்மைகள் மற்றும் அம்சங்களை முன்னிலைப்படுத்தவும்:


வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

அணிய எதிர்ப்பு

● வேதியியல் எதிர்ப்பு

Mochical உயர் இயந்திர வலிமை

Rege மீளுருவாக்கம் செய்ய எளிதானது

Hal சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு


உருப்படி
அலகு
போரஸ் எஸ்.ஐ.சி மட்பாண்டங்கள்
துளை விட்டம்
ஒன்று
10 ~ 30
அடர்த்தி
g / cm3
1.2 ~ 1.3
மேற்பரப்பு ரக்எச்
ஒன்று
2.5 ~ 3
காற்று உறிஞ்சுதல் மதிப்பு
கே.பி.ஏ.
-45
நெகிழ்வு வலிமை
Mpa
30
மின்கடத்தா மாறிலி
1 மெகா ஹெர்ட்ஸ்
33
வெப்ப கடத்துத்திறன்
W/(m · k)
60 ~ 70

நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்களுக்கு பல உயர் தேவைகள் உள்ளன:


1. வலுவான வெற்றிட உறிஞ்சுதல்

2. தட்டையானது மிகவும் முக்கியமானது, இல்லையெனில் செயல்பாட்டின் போது சிக்கல்கள் இருக்கும்

3. சிதைவு இல்லை மற்றும் உலோக அசுத்தங்கள் இல்லை


ஆகையால், வெடெக் குறைக்கடத்தியின் நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்களின் காற்று உறிஞ்சுதல் மதிப்பு -45KPA ஐ அடைகிறது. அதே நேரத்தில், அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்காக தொழிற்சாலையை விட்டு வெளியேறுவதற்கு முன்பு அவர்கள் 1200 at க்கு 1.5 மணி நேரம் மென்மையாக்கப்படுகிறார்கள், மேலும் அவை வெற்றிடப் பைகளில் தொகுக்கப்படுகின்றன.


நுண்ணிய SIC மட்பாண்டங்கள் செதில் செயலாக்க தொழில்நுட்பம், பரிமாற்றம் மற்றும் பிற இணைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவர்கள் பிணைப்பு, டைசிங், பெருகிவரும், மெருகூட்டல் மற்றும் பிற இணைப்புகளில் பெரும் சாதனைகளைச் செய்துள்ளனர்.


View as  
 
போரஸ் எஸ்.ஐ.சி வெற்றிட சக்

போரஸ் எஸ்.ஐ.சி வெற்றிட சக்

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் நுண்ணிய எஸ்.ஐ.சி வெற்றிட சக் பொதுவாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி கருவிகளின் முக்கிய கூறுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக சி.வி.டி மற்றும் பி.இ.சி.வி.டி செயல்முறைகளுக்கு வரும்போது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் உயர் செயல்திறன் கொண்ட நுண்ணிய SIC வெற்றிட சக் உற்பத்தி செய்வதிலும் வழங்குவதிலும் நிபுணத்துவம் பெற்றது. உங்கள் மேலதிக விசாரணைகளுக்கு வரவேற்கிறோம்.
நுண்துளை செராமிக் வெற்றிட சக்

நுண்துளை செராமிக் வெற்றிட சக்

Vetek செமிகண்டக்டரின் போரஸ் செராமிக் வெற்றிட சக் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் (SiC) பொருளால் ஆனது, இது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் இது ஒரு தவிர்க்க முடியாத முக்கிய அங்கமாகும். உங்கள் மேலதிக விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.
நுண்ணிய SIC பீங்கான் சக்

நுண்ணிய SIC பீங்கான் சக்

வெடெக் செமிகண்டக்டர் நுண்ணிய SIC பீங்கான் சக் செதில் செயலாக்க தொழில்நுட்பம், பரிமாற்றம் மற்றும் பிற இணைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது பிணைப்பு, எழுதுதல், இணைப்பு, மெருகூட்டல் மற்றும் பிற இணைப்புகள், லேசர் செயலாக்கம் ஆகியவற்றுக்கு ஏற்றது. எங்கள் நுண்ணிய SIC பீங்கான் சக் அல்ட்ரா-ஸ்ட்ராங் வெற்றிட உறிஞ்சுதல், அதிக தட்டையானது மற்றும் அதிக தூய்மை ஆகியவை பெரும்பாலான குறைக்கடத்தி தொழில்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன. விசாரணைக்கு வரப்போகிறது.

Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.


Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.


Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.


Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.


சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை போரஸ் sic உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த {77 bep வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept