சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் தலை

வெட்கெமெமிகான் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் ஹெட், அதன் துல்லியமான-வடிவமைக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு சீரான வாயு விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது செதில்கள் முழுவதும் நிலையான திரைப்பட படிவுகளை அடைவதற்கு முக்கியமானது. திSic பூச்சுஉடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், கடுமையான செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் சேவை வாழ்க்கையையும் விரிவுபடுத்துகிறது.

குறைக்கடத்தி செதில் புனையல், எபிடாக்ஸி மற்றும் மெல்லிய-பட டெபாசிட் ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும், சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் ஹெட் என்பது நம்பகமான, உயர் தூய்மை மற்றும் நீண்டகால செயல்முறை கூறுகளைத் தேடும் உற்பத்தியாளர்களுக்கு அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்யும் சிறந்த தேர்வாகும்.

வெக்செமி சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர்ஹெட் உயர் தூய்மை வேதியியல் நீராவியில் இருந்து சிலிக்கான் கார்பைட்டில் இருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி, எல்.ஈ.டி மற்றும் மேம்பட்ட மின்னணு தொழில்களில் சி.வி.டி மற்றும் எம்.ஓ.சி.வி.டி செயல்முறைகளுக்கு உகந்ததாக உள்ளது. அதன் மிகச்சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் சீரான வாயு விநியோகம் ஆகியவை அதிக வெப்பநிலை, அதிக அரிக்கும் சூழல்களில் நீண்டகால நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன, செயல்முறை மீண்டும் நிகழ்தகவு மற்றும் விளைச்சலை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன.

வெட்கெமிகான் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் ஹெட் கோர் நன்மைகள்

● அதி-உயர் தூய்மை மற்றும் அடர்த்தி

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் தலை அதிக தூய்மை சி.வி.டி செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகிறது, இது ≥99.9995%பொருள் தூய்மையை உறுதிசெய்கிறது, இது எந்த உலோக அசுத்தங்களையும் நீக்குகிறது. அதன் நுண்ணிய அல்லாத அமைப்பு வாயு ஊடுருவல் மற்றும் துகள் உதிர்தலை திறம்பட தடுக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளுக்கு மிக அதிக தூய்மை தேவைப்படுகிறது. பாரம்பரிய சினேட்டர்டு எஸ்.ஐ.சி அல்லது கிராஃபைட் கூறுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​எங்கள் தயாரிப்பு நீடித்த உயர் வெப்பநிலை செயல்பாட்டிற்குப் பிறகும் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது, பராமரிப்பு அதிர்வெண் மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

● சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

உயர் வெப்பநிலை சி.வி.டி மற்றும் எம்.ஓ.சி.வி.டி செயல்முறைகளில், வழக்கமான பொருட்கள் வெப்ப அழுத்தத்தால் சிதைவு அல்லது விரிசலுக்கு ஆளாகின்றன. சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி ஷவர்ஹெட் 1600 ° C வரை வெப்பநிலையைத் தாங்குகிறது மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது விரைவான வெப்பநிலை அதிகரிப்பு மற்றும் குறைவின் போது கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. அதன் சீரான வெப்ப கடத்துத்திறன் எதிர்வினை அறைக்குள் வெப்பநிலை விநியோகத்தை மேலும் மேம்படுத்துகிறது, செதில் விளிம்பு மற்றும் மையத்திற்கு இடையிலான படிவு வீத வேறுபாடுகளைக் குறைக்கிறது மற்றும் திரைப்பட சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

● பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு அரிப்பு

பொறித்தல் அல்லது படிவு செயல்முறைகளின் போது, ​​அதிக அரிக்கும் வாயுக்கள் (சி.எஃப் போன்றவை₄, Cl₂, மற்றும் HBR) வழக்கமான குவார்ட்ஸ் அல்லது கிராஃபைட் கூறுகளை விரைவாக அரிக்கும். சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பொருள் பிளாஸ்மா சூழல்களில் விதிவிலக்கான அரிப்பு எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, வழக்கமான பொருட்களை விட 3-5 மடங்கு ஆயுட்காலம். உண்மையான வாடிக்கையாளர் சோதனை 2000 மணிநேர தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டிற்குப் பிறகும், துளை அளவு மாறுபாடு ± 1%க்குள் உள்ளது, இது நீண்ட கால நிலையான வாயு ஓட்ட விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது.

● நீண்ட ஆயுள் மற்றும் குறைந்த பராமரிப்பு செலவு

பாரம்பரிய கிராஃபைட் கூறுகளுக்கு அடிக்கடி மாற்றீடு தேவைப்படும்போது, ​​எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட சி.வி.டி ஷவர் தலை கடுமையான சூழல்களில் கூட நிலையான செயல்திறனை பராமரிக்கிறது. இது ஒட்டுமொத்த செலவுகளை 40%க்கும் குறைக்கிறது. மேலும், பொருளின் உயர் இயந்திர வலிமை கையாளுதல் அல்லது நிறுவலின் போது தற்செயலான சேதத்தைத் தடுக்கிறது.

● சுற்றுச்சூழல் சங்கிலி சரிபார்ப்பு ஒப்புதல்

வெட்செமிகான் சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர்ஹெட் 'சுற்றுச்சூழல் சங்கிலி சரிபார்ப்பு மூலப்பொருட்களை உற்பத்திக்கு உள்ளடக்கியது, சர்வதேச தர சான்றிதழைக் கடந்து சென்று, குறைக்கடத்தி மற்றும் புதிய எரிசக்தி துறைகளில் அதன் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த பல காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பங்களைக் கொண்டுள்ளது.

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

திட்டம்	அளவுரு
பொருள்	சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி (பூச்சு விருப்பங்கள் கிடைக்கின்றன)
விட்டம் வரம்பு	100 மிமீ -450 மிமீ (தனிப்பயனாக்கக்கூடியது)
தடிமன் சகிப்புத்தன்மை	.0 0.05 மிமீ
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	≤0.2μm
பொருந்தக்கூடிய செயல்முறை	Cvd/mocvd/pecvd/etching/epitaxy

முக்கிய பயன்பாட்டு புலங்கள்

பயன்பாட்டு திசை	வழக்கமான காட்சி
குறைக்கடத்தி உற்பத்தி	சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி, GAN/GAAS சாதனங்கள்
சக்தி மின்னணுவியல்	Sic epitaxial wafer உற்பத்தி
எல்.ஈ.டி	MOCVD சப்பயர் அடி மூலக்கூறு படிவு
அறிவியல் ஆராய்ச்சி உபகரணங்கள்	உயர் துல்லியமான மெல்லிய திரைப்பட படிவு அமைப்பு

சுற்றுச்சூழல் சங்கிலி சரிபார்ப்பு ஒப்புதல்

வெட்செமிகான் சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர்ஹெட் 'சுற்றுச்சூழல் சங்கிலி சரிபார்ப்பு மூலப்பொருட்களை உற்பத்திக்கு உள்ளடக்கியது, சர்வதேச தர சான்றிதழைக் கடந்து சென்று, குறைக்கடத்தி மற்றும் புதிய எரிசக்தி துறைகளில் அதன் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த பல காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பங்களைக் கொண்டுள்ளது.

விரிவான தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள், வெள்ளை ஆவணங்கள் அல்லது மாதிரி சோதனை ஏற்பாடுகளுக்கு தயவுசெய்துஎங்கள் தொழில்நுட்ப ஆதரவு குழுவைத் தொடர்பு கொள்ளுங்கள்உங்கள் செயல்முறை செயல்திறனை வெட்ஸெமிகான் எவ்வாறு மேம்படுத்த முடியும் என்பதை ஆராய.