CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர்

அம்சங்கள்

• வெப்ப சீரான தன்மை - பொருளின் உயர் வெப்ப பரவல் விரைவான, இடஞ்சார்ந்த சீரான வெப்ப பரிமாற்றத்தை செயல்படுத்துகிறது, மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செதில் வெப்பநிலை சுயவிவரங்களை ஆதரிக்கிறது.
• உயர் தூய்மை நிலை - CVD SiC பூச்சு 99.99995% தூய்மையை அடைகிறது, முக்கியமான செயல்முறை படிகளில் மொபைல் அயனி மற்றும் உலோக மாசுபாடு அபாயங்களை திறம்பட குறைக்கிறது.
• வேதியியல் நீடித்து நிலை - உயர்ந்த வெப்பநிலையின் கீழ், ஆலசன் அடிப்படையிலான வாயுக்கள் உட்பட அரிக்கும் இனங்களுக்கு பூச்சு வலுவான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை இடைவெளிகள் - மேம்படுத்தப்பட்ட ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை குறைவான மாற்றீடுகள் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட கருவி வேலையில்லா நேரத்தை மாற்றும்.
• வடிவமைப்பு நெகிழ்வுத்தன்மை - பரிமாணங்கள் மற்றும் உள்ளமைவுகள் குறிப்பிட்ட RTP அறை வடிவவியல் மற்றும் செதில் அளவுகளுடன் பொருந்தும்படி மாற்றியமைக்கப்படலாம்.

விண்ணப்பங்கள்

• விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP)
• ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (ஆர்டிஏ)
• டோபண்ட் ஆக்டிவேஷன் ஆக்சிடேஷன் மற்றும் அனீலிங் படிகள்
• ஒருங்கிணைந்த சுற்று (IC) உற்பத்தி
• பவர் சாதனத் தயாரிப்பு தொழில்நுட்பம்

விவரக்குறிப்புகள்

VeTek செமிகண்டக்டரை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

செமிகண்டக்டர் தரத் தேவைகளுக்காக குறிப்பாக உருவாக்கப்பட்டது.

கிராஃபைட் சுத்திகரிப்பு, துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் பூச்சு தடிமன் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றிற்கான ஒருங்கிணைந்த திறன்கள்.

· நிரூபிக்கப்பட்ட பூச்சு ஒட்டுதல் மற்றும் தொகுதி உற்பத்தி முழுவதும் அடுக்கு சீரான தன்மை.

· முக்கிய RTP கருவி தளங்களுடன் இணக்கமான தனிப்பயன் சஸ்செப்டர் வடிவமைப்புகளுக்கான பொறியியல் ஆதரவு.

· கடுமையான உள்வரும் பொருள் ஆய்வு, செயல்முறை கண்காணிப்பு மற்றும் இறுதி தகுதிச் சோதனை ஆகியவை தொகுதி-க்கு-தொகுதி நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.