தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர்
  • CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர்CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர்

CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டரில் இருந்து CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர் விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி முழுவதும் பயன்படுத்தப்படும் விரைவான வெப்ப அனீலிங் (RTA) உபகரணங்களை வழங்குகிறது. அடி மூலக்கூறு உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, அதன் மேல் அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்கு டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. இந்த கட்டுமானமானது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், வலுவான இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் தொடர்ச்சியான உயர் வெப்பநிலை சுழற்சியின் கீழ் நிலையான பரிமாண நிலைத்தன்மையை அளிக்கிறது.

அம்சங்கள்

  • வெப்ப சீரான தன்மை - பொருளின் உயர் வெப்ப பரவல் விரைவான, இடஞ்சார்ந்த சீரான வெப்ப பரிமாற்றத்தை செயல்படுத்துகிறது, மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செதில் வெப்பநிலை சுயவிவரங்களை ஆதரிக்கிறது.
  • உயர் தூய்மை நிலை - CVD SiC பூச்சு 99.99995% தூய்மையை அடைகிறது, முக்கியமான செயல்முறை படிகளில் மொபைல் அயனி மற்றும் உலோக மாசுபாடு அபாயங்களை திறம்பட குறைக்கிறது.
  • வேதியியல் நீடித்து நிலை - உயர்ந்த வெப்பநிலையின் கீழ், ஆலசன் அடிப்படையிலான வாயுக்கள் உட்பட அரிக்கும் இனங்களுக்கு பூச்சு வலுவான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை இடைவெளிகள் - மேம்படுத்தப்பட்ட ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை குறைவான மாற்றீடுகள் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட கருவி வேலையில்லா நேரத்தை மாற்றும்.
  • வடிவமைப்பு நெகிழ்வுத்தன்மை - பரிமாணங்கள் மற்றும் உள்ளமைவுகள் குறிப்பிட்ட RTP அறை வடிவவியல் மற்றும் செதில் அளவுகளுடன் பொருந்தும்படி மாற்றியமைக்கப்படலாம்.


விண்ணப்பங்கள்

  • விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP)
  • ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (ஆர்டிஏ)
  • டோபண்ட் ஆக்டிவேஷன் ஆக்சிடேஷன் மற்றும் அனீலிங் படிகள்
  • ஒருங்கிணைந்த சுற்று (IC) உற்பத்தி
  • பவர் சாதனத் தயாரிப்பு தொழில்நுட்பம்


விவரக்குறிப்புகள்

சொத்து
வழக்கமான மதிப்பு
பூச்சு பொருள்
CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (β-SiC)
தூய்மை
99.99995%
அடர்த்தி
3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை
2500 எச்.வி
வெப்ப கடத்துத்திறன்
300 W/m·K
வெப்ப விரிவாக்கம்
4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹
நெகிழ்வு வலிமை
415 MPa


VeTek செமிகண்டக்டரை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

செமிகண்டக்டர் தரத் தேவைகளுக்காக குறிப்பாக உருவாக்கப்பட்டது.

கிராஃபைட் சுத்திகரிப்பு, துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் பூச்சு தடிமன் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றிற்கான ஒருங்கிணைந்த திறன்கள்.

· நிரூபிக்கப்பட்ட பூச்சு ஒட்டுதல் மற்றும் தொகுதி உற்பத்தி முழுவதும் அடுக்கு சீரான தன்மை.

· முக்கிய RTP கருவி தளங்களுடன் இணக்கமான தனிப்பயன் சஸ்செப்டர் வடிவமைப்புகளுக்கான பொறியியல் ஆதரவு.

· கடுமையான உள்வரும் பொருள் ஆய்வு, செயல்முறை கண்காணிப்பு மற்றும் இறுதி தகுதிச் சோதனை ஆகியவை தொகுதி-க்கு-தொகுதி நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.


சூடான குறிச்சொற்கள்: CVD SiC பூசப்பட்ட RTP சஸ்செப்டர் ஆர்டிபி சஸ்பெப்டர் ஆர்டிஏ சஸ்செப்டர் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் விரைவான வெப்பச் செயலாக்க சஸ்செப்டர் விரைவான வெப்ப அனீலிங் கேரியர் செமிகண்டக்டர் RTP கேரியர் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அதிக தூய்மை கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் கேரியர்
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுயி கவுண்டி, ஜின்ஹுவா நகரம், ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
செய்தி பரிந்துரைகள்
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும்ஏற்றுக்கொள்