தயாரிப்புகள்

VeTek செமிகண்டக்டர் உயர்தர அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) ஒற்றை-படிக செதில்கள் மற்றும் அடுத்த தலைமுறை அல்ட்ரா-வைட்-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு அடி மூலக்கூறுகளை வழங்குகிறது. தோராயமாக 6.2 eV இன் அல்ட்ரா-வைட் பேண்ட்கேப், சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், விதிவிலக்கான மின் காப்பு, மற்றும் GaN உடன் சிறந்த லேட்ஸ் மற்றும் வெப்ப-விரிவாக்க பொருத்தம், AlN செதில்கள் உயர்-சக்தி RF சாதனங்கள், உயர் மின்னழுத்த மின்னியல் மற்றும் ஆழமான-புற ஊதா (DronicVelects) ஆகியவற்றிற்கு ஏற்றதாக இருக்கும்.

VeTek செமிகண்டக்டரின் உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்கள் குறைக்கடத்தி வெப்ப செயலாக்க கருவிகளுக்கான முக்கிய செயல்முறை அறை கூறுகளாகும். செமிகண்டக்டர்-கிரேடு டீஹைட்ராக்சிலேட்டட் ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் இந்த குழாய்கள் ஆக்சிஜனேற்ற உலைகள், பரவல் உலைகள், அனீலிங் உலைகள் மற்றும் எல்பிசிவிடி அமைப்புகளில் சீல் செய்யப்பட்ட எதிர்வினை குழியாக செயல்படுகின்றன. அவை விதிவிலக்கான தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன, சீரான வெப்பநிலை புலங்கள், நிலையான வாயு ஓட்டம் மற்றும் 4/6/8/12-அங்குல செதில் செயலாக்கத்திற்கான மிகக் குறைந்த மாசுபாட்டை உறுதி செய்கின்றன.

Aixtron G10-SiC இயங்குதளத்திற்கான VeTek செமிகண்டக்டரின் சாலிட் SiC பாகங்கள், SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் கோரும் வெப்ப மற்றும் இரசாயன சூழலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை, முழு அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகளாகும். இந்த பாகங்கள் சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் அதி-குறைந்த துகள் உருவாக்கம் ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன, இது சக்தி சாதன உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் உயர்-செயல்திறன் 9×150 மிமீ / 6×200 மிமீ கிரக உலை உள்ளமைவை ஆதரிக்கிறது.

CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களுக்கான VETEK நிபுணத்துவ துப்புரவு சேவை என்பது Aixtron / Veeco MOCVD உபகரண சஸ்பெப்டர்கள் மற்றும் GaN / AlN / AlGaN எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் கூறுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு தொழில்நுட்ப சேவையாகும். எங்கள் தனியுரிம துப்புரவு செயல்முறை மேற்பரப்பு நினைவக விளைவை முற்றிலும் நீக்குகிறது, உலையில் நிலையான வாயு ஓட்டத்தை மீட்டெடுக்கிறது, மேலும் 100 µm CVD SiC பூச்சு முழுமையான பூஜ்ஜிய தடிமன் இழப்பு மற்றும் பூஜ்ஜிய உலோக எச்சத்துடன் கண்டிப்பாகப் பாதுகாக்கிறது.

வேஃபர் கேரியருக்கான VETEK CVD SiC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட செதில் ஆதரவு கூறு ஆகும். தயாரிப்பு உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டை அடி மூலக்கூறாகப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் சீரான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்குடன் பூசப்பட்டு, சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் துகள் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. ஒரு முக்கியமான கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் பாகமாக, இது எதிர்வினை அறைக்குள் செதில்களை நேரடியாக ஆதரிக்கிறது மற்றும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் நிலையான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி நிலைகளை பராமரிக்க உதவுகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் பிரீமியம் தர உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) தூள் குறிப்பாக உயர் விளைச்சல் SiC படிக வளர்ச்சி (PVT செயல்முறை), குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட செயல்பாட்டு மட்பாண்டங்களை வழங்குகிறது. அல்ட்ரா-க்ளீன் சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் செயலாக்கப்பட்ட, எங்கள் உயர் தூய்மையான SiC மூலப்பொருள் விதிவிலக்காக குறைந்த சுவடு உலோக நிலைகள், மறுஉருவாக்கம் செய்யக்கூடிய பதங்கமாதல் செயல்திறன் மற்றும் கடுமையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய மிகவும் நிலையான தொகுதி-க்கு-தொகுதி தரம் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.