தயாரிப்புகள்

PECVDக்கான Veteksemicon கிராஃபைட் படகு உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து துல்லியமாக எந்திரம் செய்யப்பட்டு பிளாஸ்மா-மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. குறைக்கடத்தி வெப்பப் புலப் பொருட்கள் மற்றும் துல்லியமான எந்திரத் திறன்கள் பற்றிய நமது ஆழமான புரிதலைப் பயன்படுத்தி, விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த கடத்துத்திறன் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையுடன் கிராஃபைட் படகுகளை வழங்குகிறோம். இந்த படகுகள் கோரும் PECVD செயல்முறை சூழலில், செயல்முறை மகசூல் மற்றும் உற்பத்தித்திறனை மேம்படுத்தும் வகையில், ஒவ்வொரு வேஃபரிலும் மிகவும் சீரான மெல்லிய பட படிவுகளை உறுதி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

Veteksemicon வழங்கும் CVD TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையம் குறைக்கடத்தி செதில் செயலாக்கத்தின் தீவிர கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, அடர்த்தியான மற்றும் சீரான டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றை அடைகிறது. செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில், CVD TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையமானது MOCVD, செதுக்கல், பரவல் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது வேஃபர் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் ஷீல்டிங் அசெம்பிளிகளுக்கு ஒரு முக்கிய கட்டமைப்பு அல்லது சீல் பாகமாக செயல்படுகிறது. உங்களின் மேலான ஆலோசனையை எதிர்நோக்குகிறோம்.

VETEK ஆல் தயாரிக்கப்பட்ட நுண்ணிய TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையமானது இலகுரக நுண்துளை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறைப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் உயர்-தூய்மை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் பூசப்பட்டுள்ளது, அதிக வெப்பநிலை, அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்பு ஆகியவற்றிற்கு சிறந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது.

Veteksemicon இலிருந்து சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்பு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மேம்பட்ட செதில் செயலாக்கத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர்-தூய்மை SiC யால் ஆனது, இது சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இந்த அம்சங்கள் துல்லியமான செதில் கையாளுதல், நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் MOCVD, epitaxy மற்றும் பரவல் போன்ற செயல்முறைகளில் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கின்றன. ஆலோசனைக்கு வரவேற்கிறோம்.

வேஃபருக்கான Veteksemicon SiC செராமிக் வெற்றிட சக், குறைக்கடத்தி செதில் செயலாக்கத்தில் விதிவிலக்கான துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது, இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றை உறுதிசெய்கிறது, இது பொறித்தல், படிவு மற்றும் லித்தோகிராபி போன்ற கோரிக்கைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. அதன் அல்ட்ரா-பிளாட் மேற்பரப்பு நிலையான செதில் ஆதரவு, குறைபாடுகளைக் குறைத்தல் மற்றும் செயல்முறை விளைச்சலை மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றிற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. இந்த வெற்றிட சக் உயர் செயல்திறன் செதில் கையாளுதலுக்கான நம்பகமான தேர்வாகும்.

Veteksemi திடமான SiC ஃபோகஸ் வளையமானது செதில் விளிம்பில் உள்ள மின்சார புலம் மற்றும் காற்றோட்டத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் பொறித்தல் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. சிலிக்கான், மின்கடத்தா மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கான துல்லிய பொறித்தல் செயல்முறைகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் வெகுஜன உற்பத்தி மகசூல் மற்றும் நீண்ட கால நம்பகமான உபகரண செயல்பாட்டை உறுதி செய்வதற்கான முக்கிய அங்கமாகும்.