VeTek செமிகண்டக்டர் RTA/RTP செயல்முறை செதில் கேரியரை வழங்குகிறது, இது உயர் தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் SiC பூச்சுடன் செய்யப்படுகிறது.5ppm க்கும் குறைவான தூய்மையற்ற தன்மை.
ரேபிட் அனீலிங் ஃபர்னேஸ் என்பது மெட்டீரியல் அனீலிங் சிகிச்சைக்கான ஒரு வகையான உபகரணமாகும்RTA/RTP செயல்முறை, பொருளின் வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டும் செயல்முறையை கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், இது பொருளின் படிக அமைப்பை மேம்படுத்தலாம், உள் அழுத்தத்தைக் குறைக்கலாம் மற்றும் பொருளின் இயந்திர மற்றும் இயற்பியல் பண்புகளை மேம்படுத்தலாம். வேகமான அனீலிங் உலையின் அறையில் உள்ள முக்கிய கூறுகளில் ஒன்று செதில் கேரியர்/செதில் பெறுதல்செதில்களை ஏற்றுவதற்கு. செயல்முறை அறையில் ஒரு வேஃபர் ஹீட்டராக, இதுகேரியர் தட்டுவிரைவான வெப்பமாக்கல் மற்றும் வெப்பநிலை சமநிலை சிகிச்சையில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
சிலிக்கான் கார்பைடு, அலுமினியம் நைட்ரைடு மற்றும் கிராஃபைட் சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகியவை வேகமான அனீலிங் உலைக்கு கிடைக்கக்கூடிய பொருட்களாகும், மேலும் சந்தையில் முக்கிய தேர்வு கிராஃபைட் மற்றும்சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பொருட்களாக.
பின்வருபவைஅம்சங்கள் மற்றும் சிறந்த செயல்திறன்VeTek செமிகண்டக்டர் SiC பூசப்பட்ட RTA RTP செயல்முறை செதில் கேரியரின்:
-உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: SiC பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, தீவிர வெப்பநிலையில் கூட கட்டமைப்பின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் இயந்திர வலிமையை உறுதி செய்கிறது. இந்த திறன் வெப்ப சிகிச்சை செயல்முறைகளை கோருவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது.
-சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: SiC பூச்சு அடுக்கு விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது விரைவான மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை செயல்படுத்துகிறது. இது வேகமான வெப்ப செயலாக்கத்திற்கு மொழிபெயர்க்கிறது, வெப்ப நேரத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தித்திறனை அதிகரிக்கிறது. வெப்ப பரிமாற்ற செயல்திறனை மேம்படுத்துவதன் மூலம், இது அதிக உற்பத்தி திறன் மற்றும் சிறந்த தயாரிப்பு தரத்திற்கு பங்களிக்கிறது.
-இரசாயன செயலற்ற தன்மை: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் உள்ளார்ந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மை பல்வேறு இரசாயனங்கள் அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. எங்கள் கார்பன்-பூசப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் கேரியர் பல்வேறு இரசாயன சூழல்களில் செதில்களை மாசுபடுத்தாமல் அல்லது சேதப்படுத்தாமல் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்பட முடியும்.
-மேற்பரப்பு தட்டையானது: CVD சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு மிகவும் தட்டையான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பை உறுதி செய்கிறது, வெப்ப செயலாக்கத்தின் போது செதில்களுடன் நிலையான தொடர்பை உறுதி செய்கிறது. இது கூடுதல் மேற்பரப்பு குறைபாடுகளின் அறிமுகத்தை நீக்குகிறது, உகந்த செயலாக்க முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது.
-இலகுரக மற்றும் அதிக வலிமை: எங்கள் SiC பூசப்பட்ட RTP வேஃபர் கேரியர் இலகுரக என்றாலும் குறிப்பிடத்தக்க வலிமையைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்பு செதில்களை வசதியான மற்றும் நம்பகமான ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் ஆகியவற்றை எளிதாக்குகிறது.
RTA RTP செயல்முறை செதில் கேரியரை எவ்வாறு பயன்படுத்துவது:
VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு வேஃபர் ரிசீவர் & ரிசீவர் கவர்
RTA RTP ரிசீவர் 
RTA RTP வேஃபர் கேரியர் 
RTP தட்டு (ஆர்டிஏ விரைவு வெப்ப சிகிச்சைக்காக) 
RTP தட்டு (ஆர்டிஏ விரைவு வெப்ப சிகிச்சைக்காக) 
RTP பெறுநர் 
RTP வேஃபர் ஆதரவு தட்டு
