CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் RTP RTA கேரியர்

தயாரிப்பு அம்சங்கள்

· முக்கிய உபகரணங்கள்:ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (ஆர்டிஏ) மற்றும் ரேபிட் தெர்மல் பிராசசிங் (ஆர்டிபி) அமைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

· பிரைமாry Aவிண்ணப்பம்: குறைக்கடத்தி செதில் அனீலிங் செயல்முறைகளுக்கு உகந்ததாக உள்ளது.

· ஒப்eமதிப்பீடு Teஅளவு:200°C முதல் 700°C வரை நிலையான செயல்பாடு.

· Excellent தெர்தவறான சீரான தன்மை: சீரான செதில் செயலாக்கத்திற்கு சமமான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது.

· குறைந்த துகள்Gஆற்றல்: அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சு மாசுபாட்டைக் குறைத்து உற்பத்தி விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

· சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு:வெப்ப செயலாக்கத்தின் போது ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களை எதிர்க்கும்.

· சிறப்பானதுகிராம் தெர்ம்அல் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு: தொடர்ச்சியான விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகள் மூலம் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.

· நீண்ட சேவை வாழ்க்கை:அணிய-எதிர்ப்பு SiC பூச்சு கூறுகளின் வாழ்நாளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை குறைக்கிறது.

· தனிப்பயன்உற்பத்தி:வெவ்வேறு RTP/RTA உபகரணங்களுடன் பொருந்தக்கூடிய பல்வேறு அளவுகள் மற்றும் கட்டமைப்புகளில் கிடைக்கிறது.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

விண்ணப்பங்கள்

·ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (ஆர்டிஏ)

· விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP)

· சிலிக்கான் வேஃபர் அனீலிங்

· டோபண்ட் செயல்படுத்தல்

· ஆக்சிஜனேற்றம்

· பரவல்

·கூட்டு செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி

·MEMS ஃபேப்ரிகேஷன்

·பவர் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம்

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. RTP/RTA கேரியர் என்றால் என்ன?

RTP/RTA கேரியர் என்பது விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் மற்றும் விரைவான வெப்ப அனீலிங் அமைப்புகளுக்குள் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு செதில் ஆதரவு கூறு ஆகும். வெப்பச் சுழற்சி முழுவதும் சீரான வெப்பப் பரிமாற்றத்தை வழங்கும் போது இது செமிகண்டக்டர் செதில்களைப் பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கிறது.

2. CVD SiC பூச்சு ஏன் விரும்பப்படுகிறது?

வெற்று கிராஃபைட்டுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​CVD SiC பூச்சு சிறந்த ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, குறைந்த துகள் உருவாக்கம், சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க நீண்ட சேவை வாழ்க்கை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.

3. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட RTP/RTA கேரியர்களை VETEK வழங்க முடியுமா?

ஆம். வாடிக்கையாளர் வரைபடங்களின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட RTP/RTA கேரியர்களை VETEK வழங்குகிறது.