ஐக்ஸ்ட்ரான் சேட்டிலைட் வேஃபர் கேரியர்

Aixtron Catellite Wafer கேரியர் என்பது Aixtron Mocvd கருவிகளின் ஒருங்கிணைந்த பகுதியாகும், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு செதில்களை எடுத்துச் செல்ல சிறப்பாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது குறிப்பாக பொருத்தமானதுஎபிடாக்சியல் வளர்ச்சிGAN மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) சாதனங்களின் செயல்முறை. அதன் தனித்துவமான "செயற்கைக்கோள்" வடிவமைப்பு வாயு ஓட்டத்தின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்வதோடு மட்டுமல்லாமல், செதில் மேற்பரப்பில் திரைப்பட படிவுகளின் சீரான தன்மையையும் மேம்படுத்துகிறது.

அக்ஸ்ட்ரான்ஸ்செதில் கேரியர்கள்பொதுவாக தயாரிக்கப்படுகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு (sic)அல்லது சி.வி.டி-பூசப்பட்ட கிராஃபைட். அவற்றில், சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. சி.வி.டி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் என்பது கிராஃபைட் ஆகும், இது ஒரு சிலிக்கான் கார்பைடு படத்துடன் ஒரு வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) செயல்முறை மூலம் பூசப்பட்டுள்ளது, இது அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமையை மேம்படுத்த முடியும். SIC மற்றும் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பொருட்கள் 1,400 ° C - 1,600 ° C வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருக்கலாம், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு முக்கியமானது.

ஐக்ஸ்ட்ரான் செயற்கைக்கோள் செதில் கேரியர் முக்கியமாக செதில்களைச் சுமக்கவும் சுழற்றவும் பயன்படுத்தப்படுகிறதுMOCVD செயல்முறைஎபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது சீரான வாயு ஓட்டம் மற்றும் சீரான படிவு ஆகியவற்றை உறுதிப்படுத்த.குறிப்பிட்ட செயல்பாடுகள் பின்வருமாறு:

● செதில் சுழற்சி மற்றும் சீரான படிவு: ஐக்ஸ்ட்ரான் செயற்கைக்கோள் கேரியரின் சுழற்சியின் மூலம், செதில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது நிலையான இயக்கத்தை பராமரிக்க முடியும், இதனால் பொருட்களின் சீரான படிவு இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக செதில் மேற்பரப்பில் வாயு சமமாக பாய்கிறது.

வெப்பநிலை தாங்கி மற்றும் நிலைத்தன்மை: சிலிக்கான் கார்பைடு அல்லது பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பொருட்கள் 1,400 ° C - 1,600. C வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும். இந்த அம்சம் அதிக வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது செதில் சிதைக்கப்படாது என்பதை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் கேரியரின் வெப்ப விரிவாக்கத்தை எபிடாக்சியல் செயல்முறையை பாதிப்பதைத் தடுக்கிறது.

The குறைக்கப்பட்ட துகள் உருவாக்கம்: உயர்தர கேரியர் பொருட்கள் (எஸ்.ஐ.சி போன்றவை) மென்மையான மேற்பரப்புகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை நீராவி படிவு போது துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கும், இதன் மூலம் மாசுபாட்டின் சாத்தியத்தைக் குறைக்கிறது, இது உயர் தூய்மை, உயர்தர குறைக்கடத்தி பொருட்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு முக்கியமானது.

வெடெக்செமிகோனின் ஐக்ஸ்ட்ரான் சேட்டிலைட் செதில் கேரியர் 100 மிமீ, 150 மிமீ, 200 மிமீ மற்றும் இன்னும் பெரிய செதில் அளவுகளில் கிடைக்கிறது, மேலும் உங்கள் உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை வழங்க முடியும். சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால பங்காளியாக இருப்போம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி திரைப்பட படிக அமைப்பின் SEM தரவு：

ஐக்ஸ்ட்ரான் சேட்டிலைட் வேஃபர் கேரியர் உற்பத்தி கடைகள்: