CVD சிலிக்கான் கார்பைடு(SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் ஹெட்

முக்கிய அம்சங்கள்

• அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை - SiC பூச்சு கிராஃபைட்டை முழுவதுமாக மூடுகிறது, எனவே வாயு வெளியேற்றம் அல்லது உலோக மாசுபாடு இல்லை.

• சிறந்த எரிவாயு விநியோகம் - ஒவ்வொரு மழை தலையும் முழு செதில் முழுவதும் சீரான வாயு வேகத்தை வழங்குவதற்காக இயந்திரம் செய்யப்படுகிறது.

• உயர்ந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு - CVD SiC ஆலசன்கள் அல்லது செயல்முறை எச்சங்களுடன் செயல்படாது. இது வெற்று கிராஃபைட் அல்லது குவார்ட்ஸை விட நீண்ட காலம் நீடிக்கும்.

• சிறந்த வெப்ப செயல்திறன் - பூச்சு கிராஃபைட்டின் வெப்ப விரிவாக்கத்துடன் நெருக்கமாக பொருந்துகிறது, எனவே விரைவான வெப்பநிலை சரிவுகளின் போது விரிசல் ஏற்படாது.

• துல்லியமான உற்பத்தி - நாங்கள் CNC இயந்திரம் மற்றும் உட்புற CVD பூச்சு ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்துகிறோம். துளை விட்டம் மற்றும் வடிவங்கள் இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையுடன் நடத்தப்படுகின்றன.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

விண்ணப்பங்கள்

இந்த ஷவர் ஹெட்கள் இதில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

• குறைக்கடத்தி CVD அமைப்புகள் (உற்பத்தி மற்றும் R&D இரண்டும்)

• PECVD உபகரணங்கள் - குறைந்த வெப்பநிலை மின்கடத்தா

• MOCVD உலைகள் – GaN, InP போன்ற III‑V கலவைகள்

• சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி (Si Epi) - பவர் சாதனங்கள் மற்றும் CMOS

• SiC epitaxy - உயர் மின்னழுத்த ஆற்றல் மின்னணுவியல்

• கூட்டு செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ஸ்

• மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் (எ.கா., TSV லைனர் டெபாசிஷன்)

• அரிப்பைத் தடுக்கும், உயர்-தூய்மை எரிவாயு விநியோகஸ்தர் தேவைப்படும் எந்த மெல்லிய-படக் கருவியும்

VETEK ஐ ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

• நாங்கள் ஒரு வர்த்தக நிறுவனம் அல்ல. கிராஃபைட் எந்திரம் முதல் இறுதி CVD SiC பூச்சு வரை அனைத்தும் - வீட்டில் செய்யப்படுகிறது. அதாவது தரம், முன்னணி நேரம் மற்றும் செலவு ஆகியவற்றை நாங்கள் கட்டுப்படுத்துகிறோம்.

• முழுமையான உள் உற்பத்தி - அவுட்சோர்சிங் ஆச்சரியங்கள் இல்லை

• மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பம் - அடர்த்தியான, பின்-துளை இல்லாத CVD SiC

• தனிப்பயன் பொறியியல் ஆதரவு - உங்கள் ஷவர் ஹெட் வரைதல் அல்லது உலை மாதிரியை எங்களுக்கு அனுப்பவும்

• நம்பகமான குறைக்கடத்தி விநியோகச் சங்கிலி - நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக ஃபேப்கள் மற்றும் OEMகளை வழங்குகிறோம்

• ஒவ்வொரு முறையும் நீங்கள் புதிய வடிவமைப்பை மீண்டும் தகுதி பெற வேண்டியதில்லை. நாங்கள் ஏற்கனவே பல பொதுவான தளங்களுக்கு (AMAT, TEL, LAM, ASM, முதலியன) ஷவர் ஹெட்களை பூசிவிட்டோம்.