பொருட்கள் & வடிவமைப்பு

பொருத்தப்பட்ட அடி மூலக்கூறு மற்றும் பூச்சு கலவையைத் தேர்ந்தெடுப்பது, முன்கூட்டிய கூறு செயலிழப்பைத் தடுப்பதற்கும், துகள் மாசுபாட்டைக் குறைப்பதற்கும் மற்றும் செதில் விளைச்சலை அதிகரிப்பதற்கும் முக்கியமாகும். வாடிக்கையாளரின் குறிப்பிட்ட செயல்முறை சாளரத்தைச் சுற்றி வடிவமைக்கப்பட்ட பொருள் மற்றும் கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு தீர்வுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம் (இயக்க வெப்பநிலை, எதிர்வினை வாயு வேதியியல், சரிவு விகிதங்கள்).

எங்கள் முக்கிய வடிவமைப்பு திறன்கள்:

கடுமையான CTE அழுத்த பொருத்தம்:விரைவான வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலுக்கு (>100 °C/நிமிடத்திற்கு), உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் CVD பூச்சுகளின் CTE வெப்பநிலை வளைவுகளைத் துல்லியமாகப் பொருத்துகிறோம்.
செயல்முறை-சூழல்-குறிப்பிட்ட பூச்சு தேர்வு:Si/SiC epitaxy (Epi), MOCVD மற்றும் பிளாஸ்மா எச்சிங் சூழல்களுக்கான CVD SiC பூச்சு; உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் வலுவாக அரிக்கும் நிலைகளுக்கான CVD TaC பூச்சு (எ.கா., SiC ஒற்றை-படிக PVT வளர்ச்சி).
கட்டுப்படுத்தக்கூடிய மின்தடை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் மேம்படுத்தல்:RF, ESC மின்னியல் சக்ஸ் அல்லது வெப்ப மண்டலங்களின் குறிப்பிட்ட மின் மற்றும் வெப்ப-புலத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய அடி மூலக்கூறு மற்றும் பூச்சுகளின் மொத்த எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு.
மாசுபாட்டின் மூலக் கட்டுப்பாடு & CoO குறைப்பு:உயர்-தூய்மை CVD படிவு அடுக்குகள் நுண்துளை கிராஃபைட்டை அடர்த்தியாக மூடுகின்றன, துகள் உதிர்தல், அல்ட்ரா-ட்ரேஸ் உலோக தூய்மையற்ற பரவல் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை வெளியேற்றும் அபாயத்தைக் கணிசமாகக் குறைக்கின்றன.

வழக்கமான பூச்சு தேர்வு ஒப்பீடு (ஒரு பார்வையில் வழிகாட்டி)

பூச்சு	வழக்கமான பயன்பாட்டு திசைகள்	முக்கிய நன்மைகள்
CVD SiC	Si/SiC எபிடாக்ஸி (Epi), MOCVD, பகுதி பிளாஸ்மா எச்சிங்	அதிக தூய்மை, நல்ல வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக ஒட்டுமொத்த செலவு-செயல்திறன்
CVD TaC	உயர் வெப்பநிலை SiC ஒற்றை-படிக வளர்ச்சி (PVT), தீவிர உயர் வெப்பநிலை சுமை தாங்கும் கூறுகள்	அதிக வெப்பநிலை மதிப்பீடு (>1600 °C), வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு, சிறந்த ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு

உண்மையான வழக்கு & வாடிக்கையாளர் நன்மைகள் (அனுபவம்):

ஒரு முன்னணி SiC epitaxy (Epi) உற்பத்தியாளர்:அசல் கூறு பொருந்தாத CVD TaC பூச்சு பயன்படுத்தப்பட்டது, இதன் விளைவாக அதிகப்படியான இடைமுக அழுத்தம் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் அடிக்கடி மைக்ரோ கிராக் ஏற்படுகிறது. தெர்மோடைனமிக் சிமுலேஷன்களை மீண்டும் இயக்கி a க்கு மாறினோம்CTE-பொருந்திய சிறப்பு உயர் தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு + இடையக அடுக்கு + CVD SiC பூச்சுதீர்வு. முடிவு: சராசரி கூறு ஆயுட்காலம் 200 மணிநேரத்திலிருந்து 850 மணிநேரமாக அதிகரித்தது; ஒரு கருவிக்கு வருடாந்திர மாற்று அதிர்வெண் 40 முதல் 9 மடங்கு வரை குறைந்தது; விரிவான உபகரணங்களின் O&M செலவு சேமிப்பு வருடத்திற்கு RMB 650,000 ஐ தாண்டியது.

GDMS purity analysis report for TaC coating

GDMS purity analysis report for SiC coating

TaC மற்றும் SiC பூச்சுகளுக்கான GDMS தூய்மை பகுப்பாய்வு அறிக்கை

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. கே: CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TaC பூச்சுக்கு இடையே நான் எப்படி தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

▼

A:உங்கள் செயல்முறை வெப்பநிலை மற்றும் வாயு-கட்ட அரிப்பு தீவிரத்தை பாருங்கள். செயல்முறை வெப்பநிலை 1000 °C க்கும் குறைவாக இருந்தால் மற்றும் முக்கியமாக Cl₂/F₂-அடிப்படையிலான செதுக்கல் அல்லது வழக்கமான எபிடாக்ஸியை உள்ளடக்கியிருந்தால், தேர்வு செய்யவும்CVD SiCசிறந்த செலவு-செயல்திறனுக்காக; செயல்முறை வெப்பநிலை 1200 °C ஐ விட அதிகமாக இருந்தால் மற்றும் வலுவான அரிக்கும் வளிமண்டலங்களை உள்ளடக்கியிருந்தால் (எ.கா., SiC PVT ஒற்றை-படிக வளர்ச்சி), நாங்கள் பரிந்துரைக்கிறோம்CVD TaC, இது உயர்ந்த வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. உங்கள் குறிப்பிட்ட செயல்முறை அளவுருக்களின் அடிப்படையில் இலவச தேர்வு பரிந்துரை அறிக்கையை நாங்கள் வழங்க முடியும்.

2. கே: நீங்கள் ஒற்றை-துண்டு / சிறிய-தொகுதி முன்மாதிரியை ஆதரிக்கிறீர்களா? முன்னணி நேரம் என்ன?

▼

A:ஆம்! தலைகீழ்-பொறியியல் முன்மாதிரிகளுக்கு,MOQ என்பது 1 துண்டு. வழக்கமான எளிய பாகங்களுக்கு, மாதிரி பெறுவது முதல் வரைபடப் பகுதியின் விநியோகம் வரை, வேகமான லீட் நேரம் தோராயமாக இருக்கும்10-15 வேலை நாட்கள்; சிக்கலான பூச்சு செயல்முறைகளை உள்ளடக்கிய பாகங்களுக்கு இது தோராயமாக இருக்கும்20-25 வேலை நாட்கள். விரைவான மதிப்பீட்டிற்கு எங்கள் பொறியாளர்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.

3. கே: பயன்பாட்டின் போது கிராஃபைட் பாகங்களில் CVD பூச்சு நீக்கப்படுவதற்கு என்ன காரணம்? தீர்க்க முடியுமா?

▼

A:கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் பூச்சு ஆகியவற்றின் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் (CTE) ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான பொருத்தமின்மையால் 90% delamination வழக்குகள் ஏற்படுகின்றன, இது விரைவான வெப்பம்/குளிர்ச்சியின் கீழ் சோர்வு உரிக்கப்படுவதற்கு வழிவகுக்கிறது. எங்கள் தீர்வு: முதலில் உங்கள் அசல் பகுதியின் CTE வளைவைத் துல்லியமாக அளவிடவும், பின்னர் அடி மூலக்கூறு அடர்த்தி மற்றும் படிவு வெப்பநிலை சாய்வை சிறப்பாகச் சரிசெய்யவும், இதனால் இரண்டு CTE களும் மிகவும் பொருந்துகின்றன. பிணைப்பு வலிமையை விட அதிகமாக மேம்படுத்தலாம்1.5 மடங்குதொழில்துறையின் வழக்கமான நிலை.

4. கே: நீங்கள் தயாரிப்புகளுக்கு CoA (பகுப்பாய்வு சான்றிதழ்) வழங்க முடியுமா? இதில் என்ன தரவு உள்ளது?

▼

A:அனுப்பப்பட்ட ஒவ்வொரு தயாரிப்பும் ஒரு தரத்துடன் வருகிறதுதனித்துவமான வரிசை எண் + முழு CoA அறிக்கை. அறிக்கையில் பின்வருவன அடங்கும்: முக்கியமான பரிமாண CMM ஆய்வுத் தரவு, பல-புள்ளி பூச்சு தடிமன் விநியோக வரைபடம், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை (Ra) மதிப்புகள் மற்றும் பொருள் தூய்மை (GDMS) பகுப்பாய்வு முடிவுகள்.

உங்கள் பிரத்தியேக சேவையை இப்போதே தொடங்குங்கள்

உடனடியாக எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும் ஒரு மேற்கோளைக் கோரவும்

தொலைபேசி: +86-18069220752(டினா);+86-15988690905(சேரா)

மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com

க்யு ஆர் குறியீடு

எங்களைப் பற்றி

தயாரிப்புகள்

எங்களை தொடர்பு கொள்ள

தொலைபேசி
+86-18069220752
+86-15988690905
தொலைநகல்
+86-579-87223657
மின்னஞ்சல்
anny@veteksemi.com
முகவரி
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுயி கவுண்டி, ஜின்ஹுவா நகரம், ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

இணைய மெனு

தயாரிப்பு தேடல்

மொழி

வெளியேறு மெனு