Aixtron G5 MOCVD SUSSCEPTORS

தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் உங்களுக்கு அக்ஸ்ட்ரான் ஜி 5 மோக்விடி சசெப்டர்களை வழங்க விரும்புகிறது Aixtron epitaxyஅருவடிக்கு  Sic பூசப்பட்டகிராஃபைட் பாகங்கள் மற்றும் டாக் பூசப்பட்டகிராஃபைட் பாகங்கள். எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

Aixtron G5 என்பது கூட்டு குறைக்கடத்திகளுக்கான படிவு அமைப்பு. AIX G5 MOCVD ஒரு முழுமையான தானியங்கி கார்ட்ரிட்ஜ் (C2C) WAFER பரிமாற்ற அமைப்புடன் ஒரு தயாரிப்பு வாடிக்கையாளர் நிரூபிக்கப்பட்ட AIXTRON கிரக உலை தளத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. தொழில்துறையின் மிகப்பெரிய ஒற்றை குழி அளவு (8 x 6 அங்குலங்கள்) மற்றும் மிகப்பெரிய உற்பத்தி திறனை அடைந்தது. இது சிறந்த தயாரிப்பு தரத்தை பராமரிக்கும் போது உற்பத்தி செலவுகளைக் குறைக்க வடிவமைக்கப்பட்ட நெகிழ்வான 6 - மற்றும் 4 அங்குல உள்ளமைவுகளை வழங்குகிறது. சூடான சுவர் கிரக சி.வி.டி அமைப்பு ஒரு உலையில் பல தட்டுகளின் வளர்ச்சியால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் வெளியீட்டு திறன் அதிகமாக உள்ளது. 

வெடெக் செமிகண்டக்டர் ஐக்ஸ்ட்ரான் ஜி 5 மோக்விடி சசெப்டர் சிஸ்டத்திற்கு முழுமையான பாகங்கள் வழங்குகிறது, இந்த பாகங்கள் கொண்டவை:

1. கிரக உலை தொகுதி

செயல்பாட்டு நோக்குநிலை: AIX G5 தொடரின் முக்கிய உலை தொகுதியாக, செதில்களில் உயர் சீரான பொருள் படிவுகளை அடைய இது கிரக தொழில்நுட்பத்தை ஏற்றுக்கொள்கிறது.

தொழில்நுட்ப அம்சங்கள்:

அச்சு சமச்சீர் சீரான தன்மை: தனித்துவமான கிரக சுழற்சி வடிவமைப்பு தடிமன், பொருள் கலவை மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் செதில் மேற்பரப்புகளின் அல்ட்ரா-ஒரே மாதிரியான விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது.

மல்டி-வாஃபர் பொருந்தக்கூடிய தன்மை: 5 200 மிமீ (8 அங்குல) செதில்கள் அல்லது 8 150 மிமீ செதில்களின் தொகுதி செயலாக்கத்தை ஆதரிக்கிறது, இது உற்பத்தித்திறனை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது.

வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு உகப்பாக்கம்: தனிப்பயனாக்கக்கூடிய அடி மூலக்கூறு பாக்கெட்டுகளுடன், வெப்ப சாய்வு காரணமாக செதில் வளைவைக் குறைக்க செதில் வெப்பநிலை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.

2. உச்சவரம்பு (வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு உச்சவரம்பு அமைப்பு)

செயல்பாட்டு நோக்குநிலை: எதிர்வினை அறையின் மேல் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு கூறுகளாக, உயர் வெப்பநிலை படிவு சூழலின் நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆற்றல் செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த.

தொழில்நுட்ப அம்சங்கள்:

குறைந்த வெப்ப ஃப்ளக்ஸ் வடிவமைப்பு: "சூடான உச்சவரம்பு" தொழில்நுட்பம் செதிலின் செங்குத்து திசையில் வெப்பப் பாய்வைக் குறைக்கிறது, செதில் சிதைவின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, மேலும் மெல்லிய சிலிக்கான் சார்ந்த காலியம் நைட்ரைடு (GAN-ON-SI) செயல்முறையை ஆதரிக்கிறது.

சிட்டு துப்புரவு ஆதரவில்: சிட்டு துப்புரவு செயல்பாட்டில் ஒருங்கிணைந்த CL₂ எதிர்வினை அறையின் பராமரிப்பு நேரத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் சாதனங்களின் தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டு செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

3. கிராஃபைட் கூறுகள்

செயல்பாட்டு நிலைப்படுத்தல்: அதிக வெப்பநிலை சீல் மற்றும் தாங்கி கூறுகளாக, எதிர்வினை அறையின் காற்று இறுக்கம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை உறுதிப்படுத்த.

தொழில்நுட்ப அம்சங்கள்:

அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: உயர் தூய்மை நெகிழ்வான கிராஃபைட் பொருள், ஆதரவு -200 ℃ முதல் 850 வரை பயன்பாடு ℃ தீவிர வெப்பநிலை சூழல், MOCVD செயல்முறை அம்மோனியா (NH₃), கரிம உலோக மூலங்கள் மற்றும் பிற அரிக்கும் ஊடகங்களுக்கு ஏற்றது.

சுய-மசாலா மற்றும் பின்னடைவு: கிராஃபைட் வளையத்தில் சிறந்த சுய-மசாலா பண்புகள் உள்ளன, அவை இயந்திர உடைகளை குறைக்கும், அதே நேரத்தில் அதிக பின்னடைவு குணகம் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மாற்றத்திற்கு ஏற்றது, நீண்ட கால முத்திரை நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்பு: வெவ்வேறு குழி சீல் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய 45 ° சாய்ந்த கீறல், வி-வடிவ அல்லது மூடிய கட்டமைப்பை ஆதரிக்கவும்.

நான்காவது, துணை அமைப்புகள் மற்றும் விரிவாக்க திறன்கள்

தானியங்கு வேஃபர் செயலாக்கம்: குறைக்கப்பட்ட கையேடு தலையீட்டோடு முழுமையாக தானியங்கி செதில் ஏற்றுதல்/இறக்குதல் ஆகியவற்றிற்கான ஒருங்கிணைந்த கேசட்-டு-கேசட் வேஃபர் ஹேண்ட்லர்.

செயல்முறை பொருந்தக்கூடிய தன்மை: ரேடியோ அதிர்வெண் (ஆர்.எஃப்), மின் சாதனங்கள், காட்சி தொழில்நுட்பம் மற்றும் தேவையின் பிற துறைகளுக்கு ஏற்ற கேலியம் நைட்ரைடு (கான்), பாஸ்பரஸ் ஆர்சனைடு (ஏஎஸ்பி), மைக்ரோ எல்.ஈ.டி மற்றும் பிற பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை ஆதரிக்கவும்.

மேம்படுத்தல் நெகிழ்வுத்தன்மை: பெரிய செதில்கள் மற்றும் மேம்பட்ட செயல்முறைகளுக்கு இடமளிக்க வன்பொருள் மாற்றங்களுடன் தற்போதுள்ள ஜி 5 அமைப்புகளை ஜி 5+ பதிப்பிற்கு மேம்படுத்தலாம்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பட படிக அமைப்பு:

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்: