Aixtron G10 Solid SiC கிரக உலை கூறுகள்

1. முக்கிய அம்சங்கள் & நன்மைகள்

சிறந்த உடைகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான முழு அடர்த்தியான, பைண்டர் இல்லாத Solid SiC அமைப்பு

• சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் 1500 °C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு

• அல்ட்ரா-குறைந்த துகள் உருவாக்கம் மற்றும் அதிக தூய்மை, மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைத்தல்

• SiC எபிடாக்ஸியில் பயன்படுத்தப்படும் செயல்முறை வாயுக்களுக்கு எதிரான சிறந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மை

• மீண்டும் மீண்டும் அதிக வெப்பநிலை சைக்கிள் ஓட்டுதலின் கீழ் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை

• நம்பகமான பொருத்தம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மைக்கான துல்லியமான-இயந்திரம் மற்றும் இறுக்கமான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை

 2. வழக்கமான பயன்பாடுகள்

இந்த Solid SiC துணைக்கருவிகள் Aixtron G10 அணு உலையின் முக்கிய செயல்பாட்டு பகுதிகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

• கவர் தகடுகள் மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட கவர் உறுப்புகள்

• பாதுகாப்பு வளையங்கள் மற்றும் அதிக உடைகள் உதிரிபாகங்கள்

• துல்லிய ஊசிகள், துவைப்பிகள் மற்றும் சிறிய கட்டமைப்பு பாகங்கள்

• தீவிர வாயு ஓட்டம் அல்லது வெப்ப சுமைக்கு வெளிப்படும் பிற தனிப்பயன் உயர்-தூய்மை செருகல்கள்

அவை பவர் MOSFETகள், டையோட்கள் மற்றும் தொடர்புடைய வைட்-பேண்ட்கேப் சாதனங்களுக்கான அதிக அளவு SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது நிலையான வெப்பநிலை விநியோகம், சீரான வாயு விநியோகம் மற்றும் குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி ஆகியவற்றை ஆதரிக்கின்றன.

3. Aixtron G10க்கு VeTek Solid SiC ஐ ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

செமிகண்டக்டர் தரப் பொருட்களின் சிறப்பு உற்பத்தியாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் வழங்குகிறது:

• Aixtron G10 அமைப்புகளுக்கு ஏற்றவாறு வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை திட SiC கூறுகள், எடுத்துக்காட்டாக: கவர் வளையம், உள்/வெளிப்புற கவர்கள், கீழே இழுத்தல்/ஆதரவு தகடு, சேட்டிலைட் டிஸ்க், சசெப்டர்

• கண்டிப்பான தூய்மை கட்டுப்பாடு மற்றும் துல்லியமான CNC எந்திரம்

• முழுமையான வெப்ப-புல கவரேஜிற்கான CVD SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் மற்றும் TaC-பூசப்பட்ட பாகங்கள் உட்பட நிரப்பு தீர்வுகள்

• தனிப்பயன் வடிவமைப்புகள் குறிப்பிட்ட செயல்முறை நிலைமைகள் மற்றும் உலை உள்ளமைவுகளுடன் பொருந்துகின்றன

எங்களின் Solid SiC பாகங்கள், Aixtron G10 இயங்குதளத்தின் உற்பத்தித்திறன் நன்மைகளை அதிகப்படுத்த வாடிக்கையாளர்களுக்கு உதவுகின்றன—அதிக வேஃபர் வெளியீடு, சிறந்த தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து சீரான தன்மை, மற்றும் உரிமையின் போட்டிச் செலவு—உடைமையின் ஆயுட்காலம் மற்றும் துகள் தொடர்பான மகசூல் இழப்பைக் குறைக்கிறது.