VeTek செமிகண்டக்டரின் தனித்துவமான கார்பைடு பூச்சுகள் SiC Epitaxy செயல்முறையில் உள்ள கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி மற்றும் கலப்பு குறைக்கடத்தி பொருட்களை செயலாக்குவதற்கான சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. இதன் விளைவாக நீட்டிக்கப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு ஆயுள், எதிர்வினை ஸ்டோச்சியோமெட்ரியைப் பாதுகாத்தல், எபிடாக்ஸி மற்றும் படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கு தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வுகளைத் தடுப்பது, இதன் விளைவாக மகசூல் மற்றும் தரம் அதிகரிக்கிறது.
எங்களின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் வெப்பமான அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன், சிலிக்கான் நீராவிகள் மற்றும் உருகிய உலோகங்களிலிருந்து அதிக வெப்பநிலையில் (2200°C வரை) முக்கியமான உலை மற்றும் உலைக் கூறுகளைப் பாதுகாக்கின்றன. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பரந்த அளவிலான கிராஃபைட் செயலாக்கம் மற்றும் அளவீட்டு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, எனவே நாங்கள் உங்களுக்கும் உங்கள் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டிற்கும் சரியான தீர்வை வடிவமைக்கத் தயாராக உள்ள எங்கள் நிபுணர் பொறியாளர்கள் குழுவுடன் கட்டணம் செலுத்தும் பூச்சு அல்லது முழு சேவையை வழங்க முடியும். .
கூட்டு குறைக்கடத்தி படிகங்கள்
VeTek செமிகண்டக்டர் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு TaC பூச்சுகளை வழங்க முடியும். VeTek செமிகண்டக்டரின் தொழில்துறை முன்னணி பூச்சு செயல்முறையின் மூலம், TaC பூச்சு அதிக தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக இரசாயன எதிர்ப்பைப் பெறலாம், இதன் மூலம் படிக TaC/GaN) மற்றும் EPl அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் முக்கியமான உலை கூறுகளின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது.
வெப்ப இன்சுலேட்டர்கள்
SiC, GaN மற்றும் AlN படிக வளர்ச்சி கூறுகள், க்ரூசிபிள்கள், விதை வைத்திருப்பவர்கள், டிஃப்ளெக்டர்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள். மின்தடை வெப்பமூட்டும் கூறுகள், முனைகள், கவச வளையங்கள் மற்றும் பிரேசிங் சாதனங்கள், GaN மற்றும் SiC எபிடாக்சியல் CVD உலை கூறுகள், செதில் கேரியர்கள், செயற்கைக்கோள் தட்டுகள், ஷவர் ஹெட்ஸ், தொப்பிகள் மற்றும் பீடங்கள், MOCVD கூறுகள் உள்ளிட்ட தொழில்துறை கூட்டங்கள்.
நோக்கம்:
● LED(ஒளி உமிழும் டையோடு) வேஃபர் கேரியர்
● ALD(செமிகண்டக்டர்) ரிசீவர்
● EPI ஏற்பி (SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை)
SiC பூச்சு மற்றும் TaC பூச்சுகளின் ஒப்பீடு:
|
|
SiC
|
TaC
|
|
முக்கிய அம்சங்கள்
|
அல்ட்ரா உயர் தூய்மை, சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு
|
சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை (உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை இணக்கம்)
|
|
தூய்மை
|
>99.9999%
|
>99.9999%
|
|
அடர்த்தி (கிராம்/செ.மீ3)
|
3.21
|
15
|
|
கடினத்தன்மை (கிலோ/மிமீ2)
|
2900-3300
|
6.7-7.2
|
|
எதிர்ப்பாற்றல் [Ωcm]
|
0.1-15,000
|
<1
|
|
வெப்ப கடத்துத்திறன் (W/m-K)
|
200-360
|
22
|
|
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்(10-6/℃)
|
4.5-5
|
6.3
|
|
விண்ணப்பம்
|
செமிகண்டக்டர் உபகரணங்கள் செராமிக் ஜிக்(ஃபோகஸ் ரிங், ஷவர் ஹெட், டம்மி வேஃபர்)
|
SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, Epi, UV LED உபகரண பாகங்கள்
|
