தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
Sic பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்
  • Sic பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்Sic பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்

Sic பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்

சீனாவில் ஒரு முன்னணி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட செதில் கேரியர் சப்ளையர் மற்றும் உற்பத்தியாளராக, வெடெக் குறைக்கடத்தியின் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட செதில் கேரியர் உயர்தர கிராஃபைட் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளால் ஆனது, இது சூப்பர் ஸ்திரத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பெரும்பாலான எபிடாக்சியல் உலைகளில் நீண்ட நேரம் வேலை செய்ய முடியும். வெடெக் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறை முன்னணி செயலாக்க திறன்களைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்களுக்கான வாடிக்கையாளர்களின் பல்வேறு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும். வெடெக் குறைக்கடத்தி உங்களுடன் ஒரு நீண்டகால கூட்டுறவு உறவை நிறுவுவதற்கும் ஒன்றாக வளரவும் எதிர்நோக்குகிறது.

சிப் உற்பத்தி செதில்களிடமிருந்து பிரிக்க முடியாதது. செதில் தயாரிப்பு செயல்பாட்டில், இரண்டு முக்கிய இணைப்புகள் உள்ளன: ஒன்று அடி மூலக்கூறைத் தயாரிப்பது, மற்றொன்று எபிடாக்சியல் செயல்முறையை செயல்படுத்துவதாகும். குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உற்பத்தி செய்ய அடி மூலக்கூறு நேரடியாக செதில் உற்பத்தி செயல்முறையில் வைக்கப்படலாம் அல்லது மேலும் மேம்படுத்தப்படலாம்எபிடாக்சியல் செயல்முறை


ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறில் ஒற்றை படிகத்தின் புதிய அடுக்கை நேர்த்தியாக செயலாக்கிய (வெட்டுதல், அரைத்தல், மெருகூட்டல் போன்றவை) வளர்ப்பதே எபிடாக்ஸி ஆகும். புதிதாக வளர்ந்த ஒற்றை படிக அடுக்கு அடி மூலக்கூறின் படிக கட்டத்திற்கு ஏற்ப விரிவடையும் என்பதால், இது ஒரு எபிடாக்சியல் லேயர் என்று அழைக்கப்படுகிறது. எபிடாக்சியல் அடுக்கு அடி மூலக்கூறில் வளரும்போது, ​​முழுதும் எபிடாக்சியல் செதில் என்று அழைக்கப்படுகிறது. எபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பத்தின் அறிமுகம் ஒற்றை அடி மூலக்கூறுகளின் பல குறைபாடுகளை புத்திசாலித்தனமாக தீர்க்கிறது.


எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலையில், அடி மூலக்கூறு தோராயமாக வைக்க முடியாது, மற்றும் aசெதில் கேரியர்எபிடாக்சியல் படிவு அடி மூலக்கூறில் செய்யப்படுவதற்கு முன்பு, அடி மூலக்கூறை செதில் வைத்திருப்பவருக்கு வைக்க வேண்டும். இந்த செதில் வைத்திருப்பவர் SIC பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்.


Cross-sectional view of the EPI reactor

EPI உலையின் குறுக்கு வெட்டுக் காட்சி


ஒரு உயர்தரSic பூச்சுCVD தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி SGL கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

Chemical reaction formula in EPI reactor

SIC பூச்சு உதவியுடன், பல பண்புகள்Sic பூசப்பட்ட செதில் வைத்திருப்பவர்கணிசமாக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது:


●  ஆக்ஸிஜனேற்ற பண்புகள்SiC பூச்சு நல்ல ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸை அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்சிஜனேற்றத்திலிருந்து பாதுகாத்து அதன் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கும்.


வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு உருகும் புள்ளி மிகவும் அதிகமாக உள்ளது (சுமார் 2700 ° C). கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸில் SiC பூச்சு சேர்த்த பிறகு, அது அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை சூழலில் பயன்பாட்டிற்கு நன்மை பயக்கும்.


●  அரிப்பு எதிர்ப்பு: சில அமில அல்லது கார சூழல்களில் கிராஃபைட் இரசாயன அரிப்புக்கு ஆளாகிறது, அதே சமயம் SiC பூச்சு அமிலம் மற்றும் கார அரிப்புக்கு நல்ல எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, எனவே இது நீண்ட காலத்திற்கு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலைகளில் பயன்படுத்தப்படலாம்.


Respactions எதிர்ப்பை அணியுங்கள்: SiC பொருள் அதிக கடினத்தன்மை கொண்டது. கிராஃபைட் SiC உடன் பூசப்பட்ட பிறகு, ஒரு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலையில் பயன்படுத்தும்போது அது எளிதில் சேதமடையாது, இது பொருள் தேய்மான விகிதத்தைக் குறைக்கிறது.


தொழில்துறை முன்னணி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட செதில் கேரியர் தயாரிப்புகளை வாடிக்கையாளர்களுக்கு வழங்க வெடெக் செமிகண்டக்டர் சிறந்த பொருட்களையும் மிகவும் மேம்பட்ட செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தையும் பயன்படுத்துகிறது. வெடெக் குறைக்கடத்தியின் வலுவான தொழில்நுட்ப குழு எப்போதும் மிகவும் பொருத்தமான தயாரிப்புகளையும் வாடிக்கையாளர்களுக்கான சிறந்த கணினி தீர்வுகளையும் தையல் செய்ய உறுதிபூண்டுள்ளது.


CVD SIC திரைப்படத்தின் SEM தரவு

SEM DATA OF CVD SIC FILM


VeTek செமிகண்டக்டர்SiC பூசப்பட்ட செதில் கேரியர் கடைகள்

Vetek SiC coated wafer carrierSiC coated wafer carrier testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


சூடான குறிச்சொற்கள்: Sic பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட் அல்லது விலைப்பட்டியல் பற்றிய விசாரணைகளுக்கு, தயவுசெய்து உங்கள் மின்னஞ்சலை எங்களுக்கு அனுப்பவும், நாங்கள் 24 மணி நேரத்திற்குள் தொடர்பில் இருப்போம்.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept