சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

ஹாஃப்மூன் என்பது LPE SiC உலைகளுக்குள் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு கிராஃபைட் கூறு ஆகும், முக்கியமாக அறை வெப்ப மண்டலத்தைச் சுற்றி நிறுவப்பட்டுள்ளது. இது செதில்களை நேரடியாகத் தொடர்பு கொள்ளாவிட்டாலும், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது வாயு ஓட்ட நிலைத்தன்மை மற்றும் அணு உலை செயல்பாட்டில் இது இன்னும் பங்கு வகிக்கிறது. அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை செயல்முறை நிலைமைகளைக் கையாள, கூறு பொதுவாக CVD SiC பூச்சுடன் பாதுகாக்கப்படுகிறது, அதே நேரத்தில் TaC பூச்சு சில பயன்பாடுகளுக்கு கிடைக்கிறது. VETEK ஆனது SiC எபிடாக்ஸி அமைப்புகளுக்கு கிராஃபைட் ஃபீல்ட் இன்சுலேஷன் மற்றும் பிற பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களையும் வழங்குகிறது.

8 அங்குல SiC எபி டாப் ரிங் என்பது குறைக்கடத்தி உலைகளுக்கான வன்பொருள் பகுதியாகும். இது Si/SiC எபிடாக்ஸி மற்றும் MOCVD/CVD அமைப்புகளுக்குள் வேலை செய்கிறது. இந்த வளையம் அறைக்குள் வெப்பத்தை நிலைப்படுத்துகிறது. இது வாயுக்களின் ஓட்டத்தையும் கட்டுப்படுத்துகிறது. பொருள் உயர் தூய்மை CVD சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகும். கிராஃபைட்டின் வாயுவை வெளியேற்றும் சிக்கல்கள் இதில் இல்லை. உற்பத்தியின் போது துகள்கள் மாசுபடுவதையும் குறைக்கிறது. உங்கள் விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.

VETEK MOCVD SiC கோடட் சஸ்செப்டர் என்பது LED மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக குறிப்பாக உருவாக்கப்பட்ட ஒரு துல்லிய-பொறியியல் கேரியர் தீர்வு ஆகும். இது சிக்கலான MOCVD சூழல்களுக்குள் விதிவிலக்கான வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை நிரூபிக்கிறது. VETEK இன் கடுமையான CVD படிவு செயல்முறையை மேம்படுத்துவதன் மூலம், செதில் வளர்ச்சி நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கும், முக்கிய கூறுகளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிப்பதற்கும் நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம், உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒவ்வொரு தொகுதிக்கும் நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறன் உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.

Veteksemicon Solid Silicon Carbide (SiC) ஃபோகசிங் ரிங் என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான நுகர்வு கூறு ஆகும், இதில் பிளாஸ்மா விநியோகம், வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் செதில் விளிம்பு விளைவுகள் ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு அவசியம். உயர்-தூய்மை திட சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட, இந்த கவனம் செலுத்தும் வளையம் விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றை வெளிப்படுத்துகிறது, ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் நம்பகமான செயல்திறனை செயல்படுத்துகிறது. உங்கள் விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.

Veteksemicon SiC கோடட் எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பர் என்பது குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளை கோருவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) ஐப் பயன்படுத்தி, இந்த தயாரிப்பு அதிக வலிமை கொண்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் அடர்த்தியான, உயர்-தூய்மை SiC பூச்சுகளை உருவாக்குகிறது, இதன் விளைவாக உயர்ந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு உள்ளது. இது உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களில் எதிர்வினை வாயுக்களின் அரிக்கும் விளைவுகளை திறம்பட எதிர்க்கிறது, துகள் மாசுபாட்டை கணிசமாக அடக்குகிறது, நிலையான எபிடாக்சியல் பொருள் தரம் மற்றும் அதிக மகசூலை உறுதி செய்கிறது, மேலும் எதிர்வினை அறையின் பராமரிப்பு சுழற்சி மற்றும் ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது. SiC மற்றும் GaN போன்ற பரந்த-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த இது ஒரு முக்கிய தேர்வாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் முக்கிய செயல்பாட்டில், எபிடாக்சியல் லேயரின் தரம் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை சஸ்பெப்டர் செயல்திறன் நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது என்பதை Veteksemicon புரிந்துகொள்கிறது. எங்கள் உயர்-தூய்மை EPI susceptors, குறிப்பாக SiC புலத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்டது, ஒரு சிறப்பு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சு ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்துகிறது. அவற்றின் உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் மிகக் குறைந்த துகள் உற்பத்தி விகிதம் ஆகியவற்றுடன், கடுமையான உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களிலும் வாடிக்கையாளர்களுக்கு இணையற்ற தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து சீரான தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. Veteksemicon ஐத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது உங்கள் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கான நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனின் மூலக்கல்லைத் தேர்ந்தெடுப்பதாகும்.