சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

ASM க்கான Veteksemicon SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் ஒரு முக்கிய கேரியர் அங்கமாகும். இந்தத் தயாரிப்பு எங்களின் தனியுரிம பைரோலிடிக் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் துல்லியமான எந்திர செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தி, உயர்ந்த செயல்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை சூழல்களில் மிக நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது. அடி மூலக்கூறு தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றில் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் கடுமையான தேவைகளை நாங்கள் ஆழமாகப் புரிந்துகொள்கிறோம், மேலும் ஒட்டுமொத்த சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்தும் நிலையான, நம்பகமான தீர்வுகளை வாடிக்கையாளர்களுக்கு வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளோம்.

Veteksemicon ஃபோகஸ் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் பொறித்தல் கருவிகளுக்காக குறிப்பாக SiC பொறித்தல் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மின்னியல் சக் (ESC) சுற்றி பொருத்தப்பட்டிருக்கும், செதில்க்கு அருகாமையில், அதன் முதன்மை செயல்பாடு எதிர்வினை அறைக்குள் மின்காந்த புல விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதாகும், இது முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் ஒரே மாதிரியான மற்றும் கவனம் செலுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. உயர்-செயல்திறன் கொண்ட ஃபோகஸ் ரிங், எட்ச் ரேட் சீரான தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது மற்றும் விளிம்பு விளைவுகளை குறைக்கிறது, நேரடியாக தயாரிப்பு மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.

எல்இடி எட்ச்சிங்கிற்கான Veteksemicon சிலிக்கான் கார்பைடு கேரியர் பிளேட், குறிப்பாக எல்இடி சிப் உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது செதுக்கும் செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய நுகர்வு ஆகும். துல்லியமான வடிகட்டப்பட்ட உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது விதிவிலக்கான இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை பரிமாண நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, வலுவான அமிலங்கள், தளங்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவிலிருந்து அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கிறது. அதன் குறைந்த மாசுபாடு பண்புகள் LED எபிடாக்சியல் செதில்களுக்கு அதிக விளைச்சலை உறுதி செய்கின்றன, அதே நேரத்தில் அதன் நீடித்து நிலைப்பு, பாரம்பரிய பொருட்களை விட அதிகமாக, வாடிக்கையாளர்களுக்கு ஒட்டுமொத்த இயக்கச் செலவுகளைக் குறைக்க உதவுகிறது, இது பொறித்தல் செயல்முறை திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கான நம்பகமான தேர்வாக அமைகிறது.

Veteksemi திடமான SiC ஃபோகஸ் வளையமானது செதில் விளிம்பில் உள்ள மின்சார புலம் மற்றும் காற்றோட்டத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் பொறித்தல் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. சிலிக்கான், மின்கடத்தா மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கான துல்லிய பொறித்தல் செயல்முறைகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் வெகுஜன உற்பத்தி மகசூல் மற்றும் நீண்ட கால நம்பகமான உபகரண செயல்பாட்டை உறுதி செய்வதற்கான முக்கிய அங்கமாகும்.

வெட்கெமிகானிலிருந்து சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் தலை என்பது குறைக்கடத்தி வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட ஒரு கூறு ஆகும். உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) பூச்சு மூலம் பாதுகாக்கப்படுகிறது, இந்த மழை தலை நிலுவையில் உள்ள ஆயுள், வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களுக்கு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. உங்கள் மேலதிக ஆலோசனையை எதிர்பார்க்கிறேன்.

வெட்கெமிகானின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு செதில் வைத்திருப்பவர் MOCVD, LPCVD மற்றும் உயர் வெப்பநிலை அனீலிங் போன்ற மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் துல்லியமாகவும் செயல்திறனுக்காகவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. ஒரு சீரான சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு மூலம், இந்த செதில் வைத்திருப்பவர் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், வேதியியல் செயலிழப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமையை உறுதி செய்கிறது-மாசு இல்லாத, அதிக மகசூல் கொண்ட செதில் செயலாக்கத்திற்கு அவசியம்.