சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

VeTek இலிருந்து இந்த AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin ஆனது உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டுடன் தொடங்குகிறது, பின்னர் நாம் அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சு ஒன்றை மேலே சேர்க்கிறோம். இது 300மிமீ எபிடாக்ஸி சிஸ்டம் மற்றும் அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ் இபிஐ ரியாக்டர்களுக்காக உருவாக்கப்பட்டது. ஏன் கிராஃபைட் மற்றும் SiC? கிராஃபைட் வெப்பத்தை நன்றாக கையாளுகிறது. SiC அடுக்கு அரிக்கும் வாயுக்களை எடுத்துக்கொள்கிறது மற்றும் வேகமாக தேய்ந்து போகாது. மெல்லிய சுவர் வடிவமைப்பு? இது சுத்தமான செதில் தூக்குதல் மற்றும் பொருத்துதல், குறைவான துகள்கள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் நீண்ட பகுதி ஆயுளுக்கானது. ASM, Aixtron மற்றும் LPE அமைப்புகளுக்கு ஒத்த SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களையும் நாங்கள் உருவாக்குகிறோம். உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறேன்.

Vetek செமிகண்டக்டர் VEECO MOCVD அமைப்புகளுக்கான வேஃபர் கேரியர்களை உருவாக்குகிறது, குறிப்பாக GaN LEDகள், நீல-பச்சை LEDகள் மற்றும் ஆழமான UV LED வளர்ச்சி போன்ற LED எபிடாக்ஸி வேலைகளுக்காக உருவாக்கப்பட்டது. இந்த கேரியர்கள் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டுடன் தொடங்கி அடர்த்தியான CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகளைப் பெறுகின்றன. MOCVD இல் நீங்கள் காணும் அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் அந்த கலவை நன்றாக உள்ளது - நல்ல வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் பூச்சு நீடிக்கும்.

ஹாஃப்மூன் என்பது LPE SiC உலைகளுக்குள் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு கிராஃபைட் கூறு ஆகும், முக்கியமாக அறை வெப்ப மண்டலத்தைச் சுற்றி நிறுவப்பட்டுள்ளது. இது செதில்களை நேரடியாகத் தொடர்பு கொள்ளாவிட்டாலும், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது வாயு ஓட்ட நிலைத்தன்மை மற்றும் அணு உலை செயல்பாட்டில் இது இன்னும் பங்கு வகிக்கிறது. அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை செயல்முறை நிலைமைகளைக் கையாள, கூறு பொதுவாக CVD SiC பூச்சுடன் பாதுகாக்கப்படுகிறது, அதே நேரத்தில் TaC பூச்சு சில பயன்பாடுகளுக்கு கிடைக்கிறது. VETEK ஆனது SiC எபிடாக்ஸி அமைப்புகளுக்கு கிராஃபைட் ஃபீல்ட் இன்சுலேஷன் மற்றும் பிற பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களையும் வழங்குகிறது.

8 அங்குல SiC எபி டாப் ரிங் என்பது குறைக்கடத்தி உலைகளுக்கான வன்பொருள் பகுதியாகும். இது Si/SiC எபிடாக்ஸி மற்றும் MOCVD/CVD அமைப்புகளுக்குள் வேலை செய்கிறது. இந்த வளையம் அறைக்குள் வெப்பத்தை நிலைப்படுத்துகிறது. இது வாயுக்களின் ஓட்டத்தையும் கட்டுப்படுத்துகிறது. பொருள் உயர் தூய்மை CVD சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகும். கிராஃபைட்டின் வாயுவை வெளியேற்றும் சிக்கல்கள் இதில் இல்லை. உற்பத்தியின் போது துகள்கள் மாசுபடுவதையும் குறைக்கிறது. உங்கள் விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.

VETEK MOCVD SiC கோடட் சஸ்செப்டர் என்பது LED மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக குறிப்பாக உருவாக்கப்பட்ட ஒரு துல்லிய-பொறியியல் கேரியர் தீர்வு ஆகும். இது சிக்கலான MOCVD சூழல்களுக்குள் விதிவிலக்கான வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை நிரூபிக்கிறது. VETEK இன் கடுமையான CVD படிவு செயல்முறையை மேம்படுத்துவதன் மூலம், செதில் வளர்ச்சி நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கும், முக்கிய கூறுகளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிப்பதற்கும் நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம், உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒவ்வொரு தொகுதிக்கும் நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறன் உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.

Veteksemicon Solid Silicon Carbide (SiC) ஃபோகசிங் ரிங் என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான நுகர்வு கூறு ஆகும், இதில் பிளாஸ்மா விநியோகம், வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் செதில் விளிம்பு விளைவுகள் ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு அவசியம். உயர்-தூய்மை திட சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட, இந்த கவனம் செலுத்தும் வளையம் விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றை வெளிப்படுத்துகிறது, ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் நம்பகமான செயல்திறனை செயல்படுத்துகிறது. உங்கள் விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.