இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) பூச்சு (2/2) கோட்பாடுகள் மற்றும் தொழில்நுட்பம் - VeTek செமிகண்டக்டர்

எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் பூச்சு

எதிர்ப்பு வெப்பத்தின் சில குறைபாடுகள் காரணமாக, எதிர்ப்பு ஆவியாதல் மூலத்தால் வழங்கப்பட்ட குறைந்த ஆற்றல் அடர்த்தி, திரைப்பட தூய்மையை பாதிக்கும் ஆவியாதல் மூலத்தின் சில ஆவியாதல் போன்றவை, புதிய ஆவியாதல் ஆதாரங்களை உருவாக்க வேண்டும். எலக்ட்ரான் பீம் ஆவியாதல் பூச்சு என்பது ஒரு பூச்சு தொழில்நுட்பமாகும், இது ஆவியாதல் பொருளை நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட சிலுவையில் சேர்க்கிறது, நேரடியாக எலக்ட்ரான் கற்றை திரைப்படப் பொருள்களை சூடாக்குகிறது, மேலும் திரைப்படப் பொருள்களை ஆவியாக்கி, அதை ஒரு திரைப்படத்தை உருவாக்க அடி மூலக்கூறில் ஒடுக்குகிறது. எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலத்தை 6000 டிகிரி செல்சியஸுக்கு வெப்பப்படுத்தலாம், இது கிட்டத்தட்ட அனைத்து பொதுவான பொருட்களையும் உருகக்கூடும், மேலும் மெல்லிய படங்களை உலோகங்கள், ஆக்சைடுகள் மற்றும் பிளாஸ்டிக் போன்ற அடி மூலக்கூறுகளில் அதிக வேகத்தில் வைக்கலாம்.

லேசர் துடிப்பு படிவு

துடிப்புள்ள லேசர் படிவு (PLD)இலக்கு பொருள் (மொத்த இலக்கு பொருள் அல்லது தூள் படப் பொருட்களிலிருந்து அழுத்தும் அதிக அடர்த்தி கொண்ட மொத்த பொருள்) அதிக ஆற்றல் கொண்ட துடிப்புள்ள லேசர் கற்றை பயன்படுத்தும் ஒரு திரைப்படத்தை உருவாக்கும் முறையாகும், இதனால் உள்ளூர் இலக்கு பொருள் ஒரு தருணத்தில் மிக அதிக வெப்பநிலைக்கு உயர்கிறது மற்றும் ஆவியாக்குகிறது, அடி மூலக்கூறில் ஒரு மெல்லிய படத்தை உருவாக்குகிறது.

மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி

மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி (MBE) என்பது ஒரு மெல்லிய பட தயாரிப்பு தொழில்நுட்பமாகும், இது எபிடாக்சியல் ஃபிலிமின் தடிமன், மெல்லிய படலத்தின் டோப்பிங் மற்றும் அணு அளவில் இடைமுகம் தட்டையானது ஆகியவற்றை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும். அல்ட்ரா-மெல்லிய படங்கள், பல அடுக்கு குவாண்டம் கிணறுகள் மற்றும் சூப்பர்லட்டீஸ்கள் போன்ற குறைக்கடத்திகளுக்கு உயர்-துல்லியமான மெல்லிய படலங்களைத் தயாரிக்க இது முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. புதிய தலைமுறை மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களுக்கான முக்கிய தயாரிப்பு தொழில்நுட்பங்களில் இதுவும் ஒன்றாகும்.

மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு பூச்சு முறையாகும், இது படிகத்தின் கூறுகளை வெவ்வேறு ஆவியாதல் மூலங்களில் வைக்கிறது, 1E-8PA இன் அதி-உயர் வெற்றிட நிலைமைகளின் கீழ் படப் பொருள்களை மெதுவாக வெப்பப்படுத்துகிறது, ஒரு மூலக்கூறு கற்றை ஓட்டத்தை உருவாக்குகிறது, மேலும் அதை ஒரு குறிப்பிட்ட இடத்தில் அடி மூலக்கூறில் தெளிக்கிறது வெப்ப இயக்க வேகம் மற்றும் ஒரு குறிப்பிட்ட விகிதம், அடி மூலக்கூறில் எபிடாக்சியல் மெல்லிய படங்களை வளர்க்கிறது, மேலும் வளர்ச்சி செயல்முறையை ஆன்லைனில் கண்காணிக்கிறது.

சாராம்சத்தில், இது ஒரு வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு ஆகும், இதில் மூன்று செயல்முறைகள் அடங்கும்: மூலக்கூறு கற்றை உருவாக்கம், மூலக்கூறு கற்றை போக்குவரத்து மற்றும் மூலக்கூறு கற்றை படிவு. மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி உபகரணங்களின் திட்ட வரைபடம் மேலே காட்டப்பட்டுள்ளது. இலக்கு பொருள் ஆவியாதல் மூலத்தில் வைக்கப்படுகிறது. ஒவ்வொரு ஆவியாதல் மூலத்திற்கும் ஒரு தடை உள்ளது. ஆவியாதல் மூலமானது அடி மூலக்கூறுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. அடி மூலக்கூறு வெப்ப வெப்பநிலை சரிசெய்யக்கூடியது. கூடுதலாக, மெல்லிய படத்தின் படிக அமைப்பை ஆன்லைனில் கண்காணிக்க ஒரு கண்காணிப்பு சாதனம் உள்ளது.

வெற்றிட ஸ்பட்டரிங் பூச்சு

திட மேற்பரப்பு ஆற்றல்மிக்க துகள்களால் குண்டு வீசப்படும்போது, ​​திட மேற்பரப்பில் உள்ள அணுக்கள் ஆற்றல்மிக்க துகள்களுடன் மோதுகின்றன, மேலும் போதுமான ஆற்றலையும் வேகத்தையும் பெற்று மேற்பரப்பில் இருந்து தப்பிக்க முடியும். இந்த நிகழ்வு ஸ்பட்டரிங் என்று அழைக்கப்படுகிறது. ஸ்பட்டரிங் பூச்சு என்பது ஒரு பூச்சு தொழில்நுட்பமாகும், இது ஆற்றல்மிக்க துகள்களுடன் திட இலக்குகளை குண்டு வீசுகிறது, இலக்கு அணுக்களைத் தூண்டுகிறது மற்றும் அவற்றை ஒரு மெல்லிய படத்தை உருவாக்க அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்கிறது.

கேத்தோடு இலக்கு மேற்பரப்பில் ஒரு காந்தப்புலத்தை அறிமுகப்படுத்துவது எலக்ட்ரான்களைக் கட்டுப்படுத்தவும், எலக்ட்ரான் பாதையை நீட்டிக்கவும், ஆர்கான் அணுக்களின் அயனியாக்கத்தின் நிகழ்தகவை அதிகரிக்கவும், குறைந்த அழுத்தத்தின் கீழ் நிலையான வெளியேற்றத்தை அடையவும் மின்காந்த புலத்தைப் பயன்படுத்தலாம். இந்த கொள்கையை அடிப்படையாகக் கொண்ட பூச்சு முறை மாக்னெட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

இன் கொள்கை வரைபடம்டிசி மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்மேலே காட்டப்பட்டுள்ளபடி. வெற்றிட அறையில் உள்ள முக்கிய கூறுகள் மாக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு மற்றும் அடி மூலக்கூறு ஆகும். அடி மூலக்கூறு மற்றும் இலக்கு ஒருவருக்கொருவர் எதிர்கொள்கின்றன, அடி மூலக்கூறு தரையிறக்கப்பட்டுள்ளது, மற்றும் இலக்கு எதிர்மறை மின்னழுத்தத்துடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது, அதாவது, அடி மூலக்கூறு இலக்குடன் ஒப்பிடும்போது நேர்மறையான ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளது, எனவே மின்சார புலத்தின் திசை அடி மூலக்கூறிலிருந்து வந்தது இலக்குக்கு. காந்தப்புலத்தை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் நிரந்தர காந்தம் இலக்கின் பின்புறத்தில் அமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் நிரந்தர காந்தத்தின் N துருவத்திலிருந்து S கம்பம் வரை சக்தி புள்ளியின் காந்த கோடுகள் மற்றும் கேத்தோடு இலக்கு மேற்பரப்புடன் ஒரு மூடிய இடத்தை உருவாக்குகின்றன. 

இலக்கு மற்றும் காந்தம் ஆகியவை குளிர்ந்த நீரால் குளிர்விக்கப்படுகின்றன. வெற்றிட அறை 1e-3Pa க்கும் குறைவாக வெளியேற்றப்படும் போது, ​​Ar வெற்றிட அறைக்குள் 0.1 முதல் 1Pa வரை நிரப்பப்படுகிறது, பின்னர் நேர்மறை மற்றும் எதிர்மறை துருவங்களுக்கு மின்னழுத்தம் பயன்படுத்தப்பட்டு வாயு பளபளப்பான வெளியேற்றத்தை உருவாக்கி பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. ஆர்கான் பிளாஸ்மாவில் உள்ள ஆர்கான் அயனிகள் மின்புல விசையின் செயல்பாட்டின் கீழ் கேத்தோடு இலக்கை நோக்கி நகரும், கேத்தோடு இருண்ட பகுதி வழியாக செல்லும் போது துரிதப்படுத்தப்பட்டு, இலக்கை குண்டுவீசி தாக்கி, இலக்கு அணுக்கள் மற்றும் இரண்டாம் நிலை எலக்ட்ரான்களை வெளியேற்றும்.

DC ஸ்பட்டரிங் பூச்சு செயல்பாட்டில், ஆக்ஸிஜன், நைட்ரஜன், மீத்தேன் அல்லது ஹைட்ரஜன் சல்பைட், ஹைட்ரஜன் ஃப்ளோரைடு போன்ற சில வினைத்திறன் வாயுக்கள் அடிக்கடி அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த எதிர்வினை வாயுக்கள் ஆர்கான் பிளாஸ்மாவில் சேர்க்கப்பட்டு உற்சாகமாக, அயனியாக்கம் செய்யப்படுகின்றன அல்லது Ar உடன் அயனியாக்கம் செய்யப்படுகின்றன. அணுக்கள் பல்வேறு செயலில் உள்ள குழுக்களை உருவாக்குகின்றன. இந்த செயல்படுத்தப்பட்ட குழுக்கள் இலக்கு அணுக்களுடன் சேர்ந்து அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை அடைந்து, இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு உட்படுகின்றன, மேலும் ஆக்சைடுகள், நைட்ரைடுகள் போன்ற தொடர்புடைய கலவைப் படலங்களை உருவாக்குகின்றன.

வெடெக் குறைக்கடத்தி ஒரு தொழில்முறை சீன உற்பத்தியாளர்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்மற்றும்மற்ற செமிகண்டக்டர் செராமிக்ஸ். குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு பல்வேறு பூச்சு தயாரிப்புகளுக்கான மேம்பட்ட தீர்வுகளை வழங்க வெடெக் குறைக்கடத்தி உறுதிபூண்டுள்ளது.

உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

கும்பல்/வாட்ஸ்அப்: +86-180 6922 0752

மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com