MOCVD க்கான SIC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் கவர்

சீனாவில் ஒரு முன்னணி எஸ்ஐசி பூசப்பட்ட MOCVD செயற்கைக்கோள் கவர் உற்பத்தியாளராக, வெடெக்ஸெம்கான் குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு உயர் செயல்திறன் எபிடாக்சியல் செயல்முறை தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. எங்கள் MOCVD SIC பூசப்பட்ட கவர்கள் கவனமாக வடிவமைக்கப்பட்டு பொதுவாக செயற்கைக்கோள் Sussceptor System இல் (SSS) பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவை வளர்ச்சி சூழலை மேம்படுத்தவும், எபிடாக்சியல் தரத்தை மேம்படுத்தவும் செதில்கள் அல்லது மாதிரிகளை ஆதரிக்கவும் மறைக்கவும்.

முக்கிய பொருட்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகள்

. அடி மூலக்கூறு.

.  மேற்பரப்பு பூச்சு: அதிக வெப்பநிலை, அரிப்பு மற்றும் துகள் மாசுபடுவதற்கான எதிர்ப்பை மேம்படுத்துவதற்காக வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி பூசப்பட்ட உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) பொருள்.

.  வடிவம்.

MOCVD செயல்பாட்டில் பயன்பாடுகள் மற்றும் முக்கிய பாத்திரங்கள்:

MOCVD க்கான SIC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் கவர் முக்கியமாக MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி எதிர்வினை அறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அதன் செயல்பாடுகள் பின்வருமாறு:

(1) செதில்களைப் பாதுகாத்தல் மற்றும் வெப்பநிலை விநியோகத்தை மேம்படுத்துதல்

MOCVD கருவிகளில் ஒரு முக்கிய வெப்பக் கவசக் கூறுகளாக, இது ஒரே மாதிரியான வெப்பத்தை குறைக்கவும், வளர்ச்சி வெப்பநிலையின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்தவும் செதிலின் சுற்றளவை உள்ளடக்கியது.

பண்புகள்: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு நல்ல உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் (300w.m^-1-K^-1), இது எபிடாக்சியல் லேயர் தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து சீரான தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது.

(2) துகள் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு தரத்தை மேம்படுத்தவும்

எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடர்த்தியான மற்றும் அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு மேற்பரப்பு மூல வாயுக்களை (எ.கா. டி.எம்.ஜி.ஏ, டி.எம்.ஏ.எல், என்.எச்.இ) MOCVD செயல்பாட்டின் போது அடி மூலக்கூறுடன் செயல்படுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது.

பண்புகள்.

(3) உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, உபகரணங்களின் சேவை வாழ்க்கையை நீடித்தல்

MOCVD செயல்பாட்டில் அதிக வெப்பநிலை (> 1000 ° C) மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் (எ.கா. NH₃, H₂) பயன்படுத்தப்படுகின்றன. வேதியியல் அரிப்பை எதிர்ப்பதற்கும், உபகரணங்கள் பராமரிப்பு செலவுகளைக் குறைப்பதற்கும் SIC பூச்சுகள் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

பண்புகள்: வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் காரணமாக (4.5 × 10^-6K^-1), SIC பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது மற்றும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் சூழல்களில் விலகலைத் தவிர்க்கிறது.

சி.வி.டி பூச்சு படம் படிக அமைப்பு

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

MOCVD தயாரிப்புகள் கடைக்கு வெட்க்செமிகனின் SIC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் கவர்: