சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்

VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத் துறையில் உங்கள் புதுமையான பங்குதாரர். செமிகண்டக்டர்-கிரேடு சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்ஸ் மெட்டீரியல் காம்பினேஷன்ஸ், உதிரிபாக உற்பத்தி திறன்கள் மற்றும் அப்ளிகேஷன் இன்ஜினியரிங் சேவைகளின் விரிவான போர்ட்ஃபோலியோ மூலம், குறிப்பிடத்தக்க சவால்களை சமாளிக்க நாங்கள் உங்களுக்கு உதவ முடியும். பொறியியல் தொழில்நுட்ப சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அவற்றின் விதிவிலக்கான பொருள் செயல்திறன் காரணமாக குறைக்கடத்தி துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. VeTek செமிகண்டக்டரின் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தின் முழு சுழற்சியிலும் அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

பரவல் & LPCVD செயலாக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் குறிப்பாக தொகுதி பரவல் மற்றும் LPCVD தேவைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட பொறிக்கப்பட்ட மட்பாண்ட கூறுகளை வழங்குகிறது:

• தடைகள் & வைத்திருப்பவர்கள்
• உட்செலுத்திகள்
• லைனர்கள் & செயல்முறை குழாய்கள்
• சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்புகள்
• வேஃபர் படகுகள் மற்றும் பீடங்கள்

SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு SiC செயல்முறை குழாய்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு செயல்முறை குழாய் SiC செங்குத்து செதில் படகு SiC கிடைமட்ட செதில் படகு SiC கிடைமட்ட குவாயர் செதில் படகு SiC LPCVD செதில் படகு SiC கிடைமட்ட தட்டு படகு SiC பீங்கான் முத்திரை மோதிரம்

ETCH செயல்முறை கூறுகள்

பிளாஸ்மா எட்ச் செயலாக்கத்தின் கடுமைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை கூறுகள் மூலம் மாசுபடுதல் மற்றும் திட்டமிடப்படாத பராமரிப்பு ஆகியவற்றைக் குறைக்கவும்:

ஃபோகஸ் மோதிரங்கள்

முனைகள்

கேடயங்கள்

ஷவர்ஹெட்ஸ்

விண்டோஸ் / மூடிகள்

பிற தனிப்பயன் கூறுகள்

விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் & எபிடாக்சியல் செயல்முறை கூறுகள்

VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் துறையில் உயர் வெப்பநிலை வெப்ப செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றவாறு மேம்பட்ட பொருள் கூறுகளை வழங்குகிறது. இந்த பயன்பாடுகள் RTP, Epi செயல்முறைகள், பரவல், ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் அனீலிங் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. எங்கள் தொழில்நுட்ப மட்பாண்டங்கள் வெப்ப அதிர்ச்சிகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, நம்பகமான மற்றும் நிலையான செயல்திறனை வழங்குகின்றன. VeTek செமிகண்டக்டரின் கூறுகள் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் திறமையான மற்றும் உயர்தர வெப்ப செயலாக்கத்தை அடைய முடியும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒட்டுமொத்த வெற்றிக்கு பங்களிக்கிறது.

• டிஃப்பியூசர்கள்

• இன்சுலேட்டர்கள்

• Susceptors

• பிற தனிப்பயன் வெப்ப கூறுகள்

மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
வேலை வெப்பநிலை (°C)	1600°C (ஆக்ஸிஜனுடன்), 1700°C (சுற்றுச்சூழலைக் குறைக்கிறது)
SiC / SiC உள்ளடக்கம்	> 99.96%
Si / இலவச Si உள்ளடக்கம்	< 0.1%
மொத்த அடர்த்தி	2.60-2.70 g/cm3
வெளிப்படையான போரோசிட்டி	< 16%
சுருக்க வலிமை	> 600 MPa
குளிர் வளைக்கும் வலிமை	80-90 MPa (20°C)
சூடான வளைக்கும் வலிமை	90-100 MPa (1400°C)
வெப்ப விரிவாக்கம் @1500°C	4.70 10-6/°C
வெப்ப கடத்துத்திறன் @1200°C	23 W/m•K
மீள் மாடுலஸ்	240 GPa
வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு	மிகவும் நல்லது

View as

சிலிக்கான் கார்பைடு ரோபோ கை

எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) ரோபோ கை மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உயர் செயல்திறன் கொண்ட செதில் கையாளுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதிக தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைட்டால் ஆன இந்த ரோபோ கை அதிக வெப்பநிலை, பிளாஸ்மா அரிப்பு மற்றும் ரசாயன தாக்குதலுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது தூய்மையான அறை சூழல்களைக் கோருவதில் நம்பகமான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. அதன் விதிவிலக்கான இயந்திர வலிமை மற்றும் பரிமாண ஸ்திரத்தன்மை மாசு அபாயங்களைக் குறைக்கும் போது துல்லியமான செதில் கையாளுதலை செயல்படுத்துகிறது, இது MOCVD, எபிடாக்ஸி, அயன் உள்வைப்பு மற்றும் பிற முக்கியமான வேஃபர் கையாளுதல் பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. உங்கள் விசாரணைகளை நாங்கள் வரவேற்கிறோம்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

சிலிக்கான் கார்பைடு SIC WAFER படகு

வெட்க்செமிகான் எஸ்.ஐ.சி வேஃபர் படகுகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கியமான உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, சிலிக்கான் அடிப்படையிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கான ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் வருடாந்திர செயல்முறைகளுக்கு நம்பகமான கேரியர்களாக செயல்படுகின்றன. எஸ்.ஐ.சி மற்றும் கான் மின் சாதனங்களுக்கான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி (ஈபிஐ) மற்றும் உலோக-கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) போன்ற செயல்முறைகளை கோருவதற்கு மிகவும் பொருத்தமான மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி துறையிலும் அவை சிறந்து விளங்குகின்றன. ஒளிமின்னழுத்த துறையில் உயர் திறன் கொண்ட சூரிய மின்கலங்களின் உயர் வெப்பநிலை புனையலை அவை ஆதரிக்கின்றன. உங்கள் மேலதிக ஆலோசனையை எதிர்பார்க்கிறேன்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

Sic contilever துடுப்புகள்

வெட்செமிகான் எஸ்.ஐ.சி கான்டிலீவர் துடுப்புகள் அதிக தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு ஆதரவு ஆயுதங்கள் கிடைமட்ட பரவல் உலைகள் மற்றும் எபிடாக்சியல் உலைகளில் செதில் கையாளுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றுடன், இந்த துடுப்புகள் குறைக்கடத்தி சூழல்களைக் கோருவதில் ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்கின்றன. தனிப்பயன் அளவுகளில் கிடைக்கிறது மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கைக்கு உகந்ததாக இருக்கும்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

Sic தொகுதி

வெட்செமிகோனின் எஸ்.ஐ.சி தொகுதி சிலிக்கான் மற்றும் சபையர் செதில்களை அதிக திறன் கொண்டது மற்றும் மெலிங் செய்வதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் (≥120 w/m · K), அதிக வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் உயர்ந்த உடைகள் எதிர்ப்பு (MOHS ≥9) ஆகியவற்றுடன், எங்கள் தொகுதிகள் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன மற்றும் கருவி மாற்ற அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கின்றன. 120 மிமீ முதல் 480 மிமீ வரையிலான அளவுகளில் கிடைக்கிறது, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட விருப்பங்கள் மற்றும் மாறுபட்ட உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய விரைவான விநியோகத்துடன்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

Sic மட்பாண்ட சவ்வு

வெட்க்செமிகான் எஸ்.ஐ.சி மட்பாண்ட சவ்வுகள் ஒரு வகை கனிம சவ்வு மற்றும் சவ்வு பிரிப்பு தொழில்நுட்பத்தில் திட சவ்வு பொருட்களைச் சேர்ந்தவை. எஸ்.ஐ.சி சவ்வுகள் 2000 க்கு மேல் வெப்பநிலையில் சுடப்படுகின்றன. துகள்களின் மேற்பரப்பு மென்மையானது மற்றும் வட்டமானது. ஆதரவு அடுக்கு மற்றும் ஒவ்வொரு அடுக்கிலும் மூடிய துளைகள் அல்லது சேனல்கள் எதுவும் இல்லை. அவை வழக்கமாக வெவ்வேறு துளை அளவுகள் கொண்ட மூன்று அடுக்குகளைக் கொண்டவை.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

நுண்ணிய SIC பீங்கான் தட்டு

எங்கள் நுண்ணிய SIC பீங்கான் தகடுகள் சிலிக்கான் கார்பைடால் செய்யப்பட்ட நுண்ணிய பீங்கான் பொருட்கள் மற்றும் சிறப்பு செயல்முறைகளால் செயலாக்கப்படுகின்றன. அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் இன்றியமையாத பொருட்கள்.

மேலும் பார்க்க >> விசாரணையை அனுப்பு >>

சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த {77 bep வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.

க்யு ஆர் குறியீடு

எங்களை பற்றி

தயாரிப்புகள்

எங்களை தொடர்பு கொள்ள

தொலைபேசி
+86-18069220752
தொலைநகல்
+86-579-87223657
மின்னஞ்சல்
anny@veteksemi.com
முகவரி
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

இணைய மெனு

தயாரிப்பு தேடல்

மொழி

வெளியேறு மெனு

சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்

பரவல் & LPCVD செயலாக்கம்

ETCH செயல்முறை கூறுகள்

விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் & எபிடாக்சியல் செயல்முறை கூறுகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு ரோபோ கை

சிலிக்கான் கார்பைடு SIC WAFER படகு

Sic contilever துடுப்புகள்

Sic தொகுதி

Sic மட்பாண்ட சவ்வு

நுண்ணிய SIC பீங்கான் தட்டு

விசாரணையை அனுப்பு

க்யு ஆர் குறியீடு

எங்களை பற்றி

தயாரிப்புகள்

எங்களை தொடர்பு கொள்ள

தொலைபேசி

தொலைநகல்

மின்னஞ்சல்

முகவரி