VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத் துறையில் உங்கள் புதுமையான பங்குதாரர். செமிகண்டக்டர்-கிரேடு சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்ஸ் மெட்டீரியல் காம்பினேஷன்கள், உதிரிபாக உற்பத்தி திறன்கள் மற்றும் பயன்பாட்டு பொறியியல் சேவைகள் ஆகியவற்றின் விரிவான போர்ட்ஃபோலியோ மூலம், குறிப்பிடத்தக்க சவால்களை சமாளிக்க நாங்கள் உங்களுக்கு உதவ முடியும். பொறியியல் தொழில்நுட்ப சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அவற்றின் விதிவிலக்கான பொருள் செயல்திறன் காரணமாக குறைக்கடத்தி துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. VeTek செமிகண்டக்டரின் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தின் முழு சுழற்சியிலும் அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
பரவல் & LPCVD செயலாக்கம்
VeTek செமிகண்டக்டர் குறிப்பாக தொகுதி பரவல் மற்றும் LPCVD தேவைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட பொறிக்கப்பட்ட மட்பாண்ட கூறுகளை வழங்குகிறது:
● தடைகள் & வைத்திருப்பவர்கள்
● உட்செலுத்திகள்
● லைனர்கள் & செயல்முறை குழாய்கள்
● சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்புகள்
● செதில் படகுகள் மற்றும் பீடங்கள்
ETCH செயல்முறை கூறுகள்
பிளாஸ்மா எட்ச் செயலாக்கத்தின் கடுமைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை கூறுகளுடன் கூடிய மாசுபாடு மற்றும் திட்டமிடப்படாத பராமரிப்பு ஆகியவற்றைக் குறைத்தல்:
● ஃபோகஸ் வளையங்கள்
● முனைகள்
● கேடயங்கள்
● ஷவர்ஹெட்ஸ்
● விண்டோஸ் / மூடிகள்
● பிற தனிப்பயன் கூறுகள்
விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் & எபிடாக்சியல் செயல்முறை கூறுகள்
VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் துறையில் உயர் வெப்பநிலை வெப்ப செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றவாறு மேம்பட்ட பொருள் கூறுகளை வழங்குகிறது. இந்த பயன்பாடுகள் RTP, Epi செயல்முறைகள், பரவல், ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் அனீலிங் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. எங்கள் தொழில்நுட்ப மட்பாண்டங்கள் வெப்ப அதிர்ச்சிகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, நம்பகமான மற்றும் நிலையான செயல்திறனை வழங்குகின்றன. VeTek செமிகண்டக்டரின் கூறுகள் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் திறமையான மற்றும் உயர்தர வெப்ப செயலாக்கத்தை அடைய முடியும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒட்டுமொத்த வெற்றிக்கு பங்களிக்கிறது.
● டிஃப்பியூசர்கள்
● இன்சுலேட்டர்கள்
● சஸ்செப்டர்கள்
● பிற தனிப்பயன் வெப்ப கூறுகள்
முக்கிய அம்சங்கள்
● அதி-உயர் தூய்மை: SiC உள்ளடக்கம் >99.96%, இலவச சிலிக்கான் <0.1%, உலோக மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது.
● சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை செயல்திறன்: 1600°C (ஆக்ஸிஜனேற்றம்) / 1700°C (குறைத்தல்) வரை வேலை செய்யும் வெப்பநிலை.
● விரைவான வெப்ப சுழற்சிகளின் கீழ் நம்பகமான செயல்திறனுக்கான உயர்ந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம்.
● அதிக இயந்திர வலிமை (அமுக்கம் >600 MPa) மற்றும் செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாக்களுக்கு எதிரான இரசாயன செயலற்ற தன்மை.
● பரவல்/எல்பிசிவிடி, எட்ச், ஆர்டிபி மற்றும் எபி செயல்முறைகளுக்கான விரிவான தயாரிப்பு வரம்பு - செதில் படகுகள் முதல் ஃபோகஸ் ரிங்க்கள் மற்றும் தனிப்பயன் பாகங்கள் வரை.
● நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட துகள் உருவாக்கம், குறைந்த பராமரிப்பு அதிர்வெண் மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்த உதவுகிறது.
தயாரிப்பு விவரக்குறிப்புகள்
மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள்
| சொத்து |
வழக்கமான மதிப்பு |
| வேலை வெப்பநிலை (°C) |
1600°C (ஆக்ஸிஜனுடன்), 1700°C (சுற்றுச்சூழலைக் குறைக்கிறது) |
| SiC / SiC உள்ளடக்கம் |
> 99.96% |
| Si / இலவச Si உள்ளடக்கம் |
< 0.1% |
| மொத்த அடர்த்தி |
2.60-2.70 g/cm³ |
| வெளிப்படையான போரோசிட்டி |
< 16% |
| சுருக்க வலிமை |
> 600 MPa |
| குளிர் வளைக்கும் வலிமை |
80-90 MPa (20°C) |
| சூடான வளைக்கும் வலிமை |
90-100 MPa (1400°C) |
| வெப்ப விரிவாக்கம் @1500°C |
4.70 × 10⁻⁶/°C |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் @1200°C |
23 W/m·K |
| மீள் மாடுலஸ் |
240 GPa |
| வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு |
மிகவும் நல்லது |
விண்ணப்பங்கள்
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் பல்வேறு தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய, VeTek இலக்கு சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்ஸ் தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது. பின்வரும் அட்டவணை அவற்றை முக்கிய பயன்பாட்டு பகுதிகளால் வகைப்படுத்துகிறது:
| விண்ணப்பப் புலம் |
வழக்கமான தயாரிப்புகள் |
விண்ணப்ப விளக்கம் |
| பரவல் & LPCVD |
SiC செதில் படகுகள், கான்டிலீவர் துடுப்புகள், செயல்முறை குழாய்கள், லைனர்கள், உட்செலுத்திகள்,தடைகள் மற்றும் வைத்திருப்பவர்கள்
|
தொகுதி பரவல் மற்றும் LPCVD உலைகளுக்கான உயர்-தூய்மை SiC கூறுகள்; சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் 1600-1700 ° C வரை இரசாயன எதிர்ப்பு, குறைந்த மாசுபாடு. |
| பிளாஸ்மா எட்ச் செயல்முறை |
ஃபோகஸ் மோதிரங்கள், முனைகள், ஷீல்டுகள், ஷவர்ஹெட்ஸ், ஜன்னல்கள்/மூடிகள், தனிப்பயன் எட்ச் கூறுகள் |
பிளாஸ்மா எட்ச் சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை SiC பாகங்கள்; துகள் உருவாக்கம் மற்றும் திட்டமிடப்படாத பராமரிப்பு, உயர்ந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் குறைக்கிறது. |
| RTP / எபிடாக்சியல் / வெப்ப செயலாக்கம் |
susceptors, டிஃப்பியூசர்கள், இன்சுலேட்டர்கள், தனிப்பயன் வெப்ப கூறுகள் |
RTP, epi, பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அனீலிங் ஆகியவற்றுக்கான கூறுகள்; வெப்ப அதிர்ச்சிகளைத் தாங்குவதற்கும், நிலையான உயர் வெப்பநிலை செயல்திறனை வழங்குவதற்கும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. |
| SiC கிரிஸ்டல் க்ரோத் (PVT) |
உயர் தூய்மையான SiC தூள்,7N CVD SiC மூலப்பொருள், விதை பிணைப்பு தொடர்பான பாகங்கள் |
அல்ட்ரா-தூய SiC மூலப் பொருட்கள் மற்றும் PVT SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான துணை கூறுகள், மகசூல் மற்றும் படிக தரத்தை மேம்படுத்துதல். |
| வேஃபர் கையாளுதல் & கேரியர்கள் |
செங்குத்து/கிடைமட்ட SiC செதில் படகுகள், சிலிக்கான் கேசட் படகுகள், பீடங்கள், முத்திரை மோதிரங்கள்
|
உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் போது வெப்ப சீரான தன்மை, இயந்திர நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை வழங்கும் துல்லியமான கேரியர்கள் மற்றும் சீல் கூறுகள். |
மேலும் விரிவான செயல்முறைப் பொருத்த தீர்வுகளுக்கு, தயவுசெய்து பார்க்கவும்ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைதொடர்புடைய பக்கங்கள்.
சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்ட உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என, எங்களிடம் எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களை வாங்க விரும்பினாலும், உங்களால் முடியும்எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை விடுங்கள்.
