SiC பூச்சு வேஃபர் கேரியர்

Vetek செமிகண்டக்டர் உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC பூச்சு செதில் கேரியர்களை உற்பத்தி செய்வதிலும் வழங்குவதிலும் நிபுணத்துவம் பெற்றது மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்துறைக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், Vetek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு செதில் கேரியர் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) கருவிகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், குறிப்பாக உலோக கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) கருவிகளில். அதன் முக்கிய பணி ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறை ஆதரித்து வெப்பப்படுத்துவதாகும், இதனால் எபிடாக்சியல் அடுக்கு சீராக வளர முடியும். உயர்தர குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு இது அவசியம்.

SiC பூச்சுகளின் அரிப்பு எதிர்ப்பு மிகவும் நல்லது, இது கிராஃபைட் தளத்தை அரிக்கும் வாயுக்களிலிருந்து திறம்பட பாதுகாக்கும். அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் இது மிகவும் முக்கியமானது. கூடுதலாக, SiC பொருளின் வெப்ப கடத்துத்திறன் மிகவும் சிறப்பாக உள்ளது, இது வெப்பத்தை சமமாக நடத்துகிறது மற்றும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் பொருட்களின் வளர்ச்சி தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

SiC பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வளிமண்டலத்தில் இரசாயன நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது, பூச்சு தோல்வியின் சிக்கலைத் தவிர்க்கிறது. மிக முக்கியமாக, SiC இன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கிராஃபைட்டைப் போன்றது, இது வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கம் காரணமாக பூச்சு உதிர்தல் சிக்கலைத் தவிர்க்கலாம் மற்றும் பூச்சுகளின் நீண்ட கால நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்SiC பூச்சு வேஃபர் கேரியர்:

உற்பத்தி கடை:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: