திட SiC ஃபோகஸ் வளையங்கள்

1. தயாரிப்பு அம்சங்கள்

● தூய்மை (GDMS சரிபார்க்கப்பட்டது): > 99.99995% (6N-7N வரை) | சுவடு உலோக அபாயங்கள் இல்லாமல் அறையை வைத்திருக்கிறது.

● கட்டமைப்பு திடத்தன்மை: ≥3.21  g/cm3 | கோட்பாட்டு அடர்த்தியை அடைகிறது; வாயுவை வெளியேற்றவோ அல்லது நுண் துகள்களை மறைக்கவோ எந்த வெற்றிடமும் இல்லை.

● வெப்ப ஒழுங்குமுறை: 200 - 300W/m·K | செதில்-விளிம்பு வெப்பநிலையை மிகச்சரியாக வைத்திருக்க வெப்பத்தை வேகமாகப் பரப்புகிறது.

● மின் வரம்பு: 0.01 - 10 Ωcm | பிளாஸ்மா உறையை நிலைநிறுத்துவதற்கும், RF இணைப்பைச் செம்மைப்படுத்துவதற்கும் தகவமைக்கக்கூடிய எதிர்ப்பாற்றல். மேற்பரப்பு விறைப்பு: ≥2500 HV | தொடர்ச்சியான உலர்-பொறித்தல் சுழற்சிகளின் போது சிராய்ப்பு உடைகளை எதிர்க்கிறது.

2. பயன்பாடுகள் 

● மேம்பட்ட செயல்முறை பிளாஸ்மா பொறித்தல்

● மெல்லிய பட படிவு செயல்முறைகள் (PECVD/ALD)

● திட SiC பொறித்தல் வளையங்கள் மேம்பட்ட சிப் உற்பத்தியில் முக்கிய நுகர்வுப் பொருட்கள் ஆகும், அவை செதில் விளிம்பு செயல்முறைகளின் சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்தவும், விளைச்சலை மேம்படுத்தவும் மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் படிவு செயல்முறைகளில் கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கவும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

3. ஃபேப் பாதிப்புகளைத் தீர்ப்பது

● சிக்கல்: வேகமான பகுதி அரிப்பிலிருந்து விலையுயர்ந்த செயலற்ற நேரம்

பிழைத்திருத்தம்:  Vetek இன் CVD-வளர்ச்சியடைந்த அமைப்பு, குவார்ட்ஸை விட 10 முதல் 20 மடங்கு மெதுவாகவும், மொத்த சிலிக்கானை விட 3 முதல் 5 மடங்கு மெதுவாகவும் அரிப்பு வேகத்தைக் காட்டுகிறது. ஃபேப்கள் நீண்ட உற்பத்தி ஓட்டங்களையும், மிகக் குறைவான அவசர அறை வென்ட்களையும் பெறுகின்றன.

● சிக்கல்: எட்ஜ் ஈல்ட் சுருக்கம் ("தி எட்ஜ் எஃபெக்ட்")

பிழைத்திருத்தம்: மோதிர முகம் முழுவதும் மெதுவாக, கணிக்கக்கூடிய உடைகள் காலப்போக்கில் பிளாஸ்மா உறை சாய்வதைத் தடுக்கிறது. இது செதில் சுற்றளவில் இறுக்கமான கிரிட்டிகல் டைமன்ஷன் (சிடி) வரம்புகளைப் பாதுகாக்கிறது.

● சிக்கல்: சின்டர்டு-பகுதி உதிர்தலில் இருந்து குறைபாடு கூர்முனை

பிழைத்திருத்தம்: எங்கள் வாயு-கட்ட தொகுப்பு பூஜ்ஜிய தானிய-எல்லை பைண்டர்கள் அல்லது உலோக நிரப்பிகளை விட்டுச்செல்கிறது. இந்த பலவீனமான புள்ளிகள் இல்லாமல், மோதிரம் செதில்களாக மாறாது அல்லது செதில் மேற்பரப்பில் மைக்ரோ-மாஸ்கிங் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தாது.

4. வடிவமைக்கப்பட்ட பொறியியல் ஆதரவு

● டூல் டிராப்-இன் ஒருங்கிணைப்பு: Lam, AMAT மற்றும் TEL போன்ற உலகளாவிய எச்சர் பிராண்டுகளின் கடுமையான இடைவெளி விவரக்குறிப்புகளுடன் பொருந்தக்கூடிய தனிப்பயன் இயந்திரம்.

● ரெசிஸ்டிவிட்டி மேட்சிங்: உங்கள் குறிப்பிட்ட செய்முறை அளவுருக்களுடன் சரியாக வரிசையாக ஒவ்வொரு தொகுப்பின் மின் சுயவிவரத்தையும் நாங்கள் டியூன் செய்கிறோம்.

● அட்வான்ஸ்டு ஃபினிஷ்கள்: கரடுமுரடான மேற்பரப்புகளை மென்மையாக்க அல்ட்ரா-க்ளீன் கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் (சிஎம்பி) பயன்படுத்துகிறது, ஆரம்பகால கருவி சுவையூட்டும் போது துகள் எண்ணிக்கையை குறைக்கிறது.

● சிக்கலான படிவம்-காரணிகள்: தந்திரமான, பல படிகள் கொண்ட விளிம்பு வளையங்கள் மற்றும் இன்டர்லாக் ரிங் அமைப்புகளில் இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையை (± 0.01 மிமீ) வைத்திருக்கிறோம்.

Vetek செமிகண்டக்டர் கிடங்கு: