ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை

VeTek செமிகண்டக்டர் ஐசிபிபிஎஸ்எஸ் (இண்டக்டிவ்லி கபுல்டு பிளாஸ்மா ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் ஸ்டிரிப்பிங்) எட்ச்சிங் பிராசஸ் வேஃபர் கேரியர் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் கோரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் மேம்பட்ட அம்சங்களுடன், இது பொறித்தல் செயல்முறை முழுவதும் உகந்த செயல்திறன், செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை சஸ்வெப்டர்களின் நன்மை:

மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன இணக்கத்தன்மை: செதில் செயல்முறை வேதியியலுடன் சிறந்த இரசாயன இணக்கத்தன்மையை வெளிப்படுத்தும் பொருட்களைப் பயன்படுத்தி செதில் கேரியர் கட்டப்பட்டுள்ளது. இது பரந்த அளவிலான எட்சான்ட்களுடன் இணக்கத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறது, ஸ்ட்ரிப்பர்களை எதிர்ப்பது மற்றும் சுத்தம் செய்யும் தீர்வுகள், இரசாயன எதிர்வினைகள் அல்லது மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: செதில் கேரியர் செதுக்கும் செயல்பாட்டின் போது எதிர்கொள்ளும் அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் இயந்திர வலிமையை பராமரிக்கிறது, தீவிர வெப்ப நிலைகளில் கூட சிதைப்பது அல்லது சேதத்தை தடுக்கிறது.

சுப்பீரியர் எட்ச் யூனிஃபார்மிட்டி: கேரியர் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது செதில்கள் மற்றும் வாயுக்களின் சீரான விநியோகத்தை செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் ஊக்குவிக்கிறது. இது சீரான எட்ச் விகிதங்கள் மற்றும் உயர்தர, சீரான வடிவங்களில் விளைகிறது, துல்லியமான மற்றும் நம்பகமான பொறித்தல் முடிவுகளை அடைவதற்கு அவசியம்.

சிறந்த வேஃபர் நிலைத்தன்மை: கேரியர் ஒரு பாதுகாப்பான செதில் வைத்திருக்கும் பொறிமுறையை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது நிலையான நிலைப்படுத்தலை உறுதி செய்கிறது மற்றும் செதுக்கும் செயல்பாட்டின் போது செதில்களின் இயக்கம் அல்லது வழுக்கலைத் தடுக்கிறது. இது துல்லியமான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செதுக்கல் வடிவங்களுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, குறைபாடுகள் மற்றும் மகசூல் இழப்புகளைக் குறைக்கிறது.

க்ளீன்ரூம் இணக்கத்தன்மை: செதில் கேரியர் கடுமையான க்ளீன்ரூம் தரநிலைகளை சந்திக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது குறைந்த துகள் உருவாக்கம் மற்றும் சிறந்த தூய்மையைக் கொண்டுள்ளது, துகள்கள் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது, இது செதுக்கும் செயல்முறையின் தரம் மற்றும் விளைச்சலை சமரசம் செய்யலாம். கலப்படம் 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது.

உறுதியான மற்றும் நீடித்த கட்டுமானம்: கேரியர் அவற்றின் ஆயுள் மற்றும் நீண்ட ஆயுளுக்கு அறியப்பட்ட உயர்தர பொருட்களைப் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் செயல்திறன் அல்லது கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை சமரசம் செய்யாமல் மீண்டும் மீண்டும் பயன்படுத்துதல் மற்றும் கடுமையான துப்புரவு செயல்முறைகளைத் தாங்கும்.

தனிப்பயனாக்கக்கூடிய வடிவமைப்பு: குறிப்பிட்ட வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கக்கூடிய விருப்பங்களை நாங்கள் வழங்குகிறோம். பல்வேறு செதில் அளவுகள், தடிமன்கள் மற்றும் செயல்முறை விவரக்குறிப்புகளுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் கேரியர் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, பல்வேறு செதுக்கல் கருவிகள் மற்றும் செயல்முறைகளுடன் இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

செமிகண்டக்டர் துறையில் செதுக்கும் செயல்முறையை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட எங்கள் ICP/PSS எட்ச்சிங் செயல்முறை வேஃபர் கேரியரின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை அனுபவிக்கவும். அதன் மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன பொருந்தக்கூடிய தன்மை, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, உயர்ந்த எட்ச் சீரான தன்மை, சிறந்த செதில் நிலைப்புத்தன்மை, சுத்தமான அறை இணக்கத்தன்மை, வலுவான கட்டுமானம் மற்றும் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய வடிவமைப்பு ஆகியவை உங்கள் செதுக்கல் பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன.

PSS பொறித்தல் தட்டு ICP பொறித்தல் தட்டு ICP எட்ச்சிங் சஸ்பெப்டர்