வேஃபர் கேரியருக்கான CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்

1. தயாரிப்பு நன்மைகள்

• உயர் தூய்மை பொருள்:குறைக்கடத்தி-தர கிராஃபைட் பொருள் மற்றும் அடர்த்தியான SiC பூச்சு அமைப்பு ஆகியவை மாசுபடுத்தும் அபாயங்களைக் குறைக்கின்றன மற்றும் CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டரின் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன.
• சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை:உகந்த கிராஃபைட் அமைப்பு மற்றும் SiC பூச்சு நிலையான வெப்ப பரிமாற்றம் மற்றும் சீரான செதில் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது.
• சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு:அடர்த்தியான SiC பூச்சு செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களுக்கு எதிராக வலுவான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
• நீண்ட சேவை வாழ்க்கை:அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை உயர்-வெப்பநிலை எபிடாக்சி நிலைமைகளின் கீழ் ஆயுளை மேம்படுத்துகின்றன.
• குறைந்த துகள் உருவாக்கம்:அடர்த்தியான CVD SiC மேற்பரப்பு துகள் வெளியீட்டைக் குறைக்கிறது மற்றும் செதில் செயல்முறை நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
• தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்பு திறன்:பல்வேறு அளவுகள், கட்டமைப்புகள் மற்றும் உபகரணத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப உள்ளமைவுகளில் கிடைக்கும்.

2. தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

3. விண்ணப்பங்கள்

• SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை:கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் SiC எபிடாக்ஸி உபகரணங்களில் ஒரு வேஃபர் கேரியராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது உயர் வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது SiC அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கிறது.
• சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி செயல்முறை:சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் ரியாக்டர்களில் செதில்களை ஆதரிக்கவும் மற்றும் நிலையான வெப்ப நிலைகளை பராமரிக்கவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
• MOCVD எபிடாக்ஸி:VETEK கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் MOCVD, LED எபிடாக்ஸி, GaN எபிடாக்ஸி, சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை தேவைப்படும் பிற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.
• செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி உபகரணங்கள்:LPE கிடைமட்ட உலைகள், Aixtron, NuFlare மற்றும் தொடர்புடைய குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் உட்பட பல்வேறு எபிடாக்ஸி இயங்குதளங்களுடன் இணக்கமானது.

4. ஏன் VETEK ஐ தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

கிராஃபைட் சுத்திகரிப்பு, துல்லியமான எந்திரம், CVD பூச்சு மற்றும் ஆய்வு திறன்களை ஒருங்கிணைக்கும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் தீர்வுகளை VETEK வழங்குகிறது. எங்களின் செமிகண்டக்டர்-கிரேடு கிராஃபைட் சஸ்செப்டர் தயாரிப்புகளில் அதிக தூய்மை, சீரான பூச்சு தடிமன், சிறந்த வெப்ப செயல்திறன் மற்றும் வேஃபர் கேரியர் பயன்பாடுகளுக்கான நீண்ட சேவை வாழ்க்கை ஆகியவை உள்ளன.