டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு என்றால் என்ன? பண்புகள், CVD & பயன்பாடுகள்

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்றால் என்ன?

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு என்பது கிராஃபைட் மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட கார்பன் அடிப்படையிலான கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் உயர் வெப்பநிலை பீங்கான் பாதுகாப்பு அடுக்கு ஆகும். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், சிவிடி TaC பூச்சுகள், SiC ஒற்றை-படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்சியல் செயலாக்கம் உட்பட, தேவைப்படும் பயன்பாடுகளில் முக்கியமான உலை மற்றும் உலை பாகங்களைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பூச்சு செயல்திறன் அதன் நுண் கட்டமைப்பு, தூய்மை, தடிமன், ஒட்டுதல் மற்றும் இயக்க சூழலுடன் பொருந்தக்கூடிய தன்மையைப் பொறுத்தது.

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகடுமையான பயன்பாட்டு சூழல்களில் சூடான அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன், சிலிக்கான் நீராவி மற்றும் உருகிய உலோகத்தின் விளைவுகளிலிருந்து கிராஃபைட் கூறுகளை திறம்பட பாதுகாக்க முடியும், கிராஃபைட் கூறுகளின் சேவை ஆயுளை கணிசமாக நீட்டித்து, கிராஃபைட்டில் உள்ள அசுத்தங்கள் இடம்பெயர்வதை அடக்கி, தரத்தை உறுதி செய்கிறது.எபிடாக்சியல்மற்றும்படிக வளர்ச்சி.

படம் 1. பொதுவான டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கூறுகள்

CVD செயல்முறை மூலம் TaC பூச்சு தயாரித்தல்

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) என்பது கிராஃபைட் பரப்புகளில் TaC பூச்சுகளை உருவாக்குவதற்கு மிகவும் முதிர்ந்த மற்றும் உகந்த முறையாகும்.

TaCl5 மற்றும் Propylene ஐ முறையே கார்பன் மற்றும் டான்டலம் மூலங்களாகவும், ஆர்கானை கேரியர் வாயுவாகவும் பயன்படுத்தி, உயர் வெப்பநிலை ஆவியாக்கப்பட்ட TaCl5 நீராவி எதிர்வினை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது. இலக்கு வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில், முன்னோடி பொருள் நீராவி கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படுகிறது, சிதைவு மற்றும் கார்பன் மற்றும் டான்டலம் மூலங்களின் கலவை போன்ற சிக்கலான இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு உட்படுகிறது. இறுதியாக, கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் ஒரு அடர்த்தியான பாதுகாப்பு அடுக்கு உருவாகிறது, இது தீவிர சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகளின் கீழ் நிலையான இருப்பிலிருந்து கிராஃபைட்டைப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் கிராஃபைட் பொருட்களின் பயன்பாட்டு காட்சிகளை கணிசமாக விரிவுபடுத்துகிறது.

படம் 2.இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை கொள்கை

CVD TaC பூச்சு தயாரிப்பதற்கான கொள்கைகள் மற்றும் செயல்முறை பற்றிய கூடுதல் தகவலுக்கு, கட்டுரையைப் பார்க்கவும்:CVD TaC பூச்சு தயாரிப்பது எப்படி?

ஏன் Veteksemicon தேர்வு?

Veteksemiconமுக்கியமாக டான்டலம் கார்பைடு தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது: TaC வழிகாட்டி வளையம்,TaC பூசப்பட்ட மூன்று இதழ் வளையம்,TaC பூச்சு க்ரூசிபிள்,TaC பூச்சு நுண்துளை கிராஃபைட் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறை; TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட், TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம்,TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர், TaC பூச்சு உறிஞ்சிகள்,கிரக susceptor, மேலும் இந்த டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பொருட்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றனSiC எபிடாக்ஸி செயல்முறைமற்றும்SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்முறை.

படம் 3.VeTek செமிகண்டக்டரின் மிகவும் பிரபலமான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள்

TaC பூச்சு பற்றி அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. TaC பூச்சு எதற்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது?

கிராஃபைட் மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட கார்பன் அடிப்படையிலான கூறுகளை வெப்ப மற்றும் இரசாயன சூழல்களில் பாதுகாக்க TaC பூச்சு பயன்படுத்தப்படுகிறது. முக்கியமான பயன்பாடுகளில் SiC படிக-வளர்ச்சி உபகரணங்கள் மற்றும் சில குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல்-செயலாக்க கூறுகள் அடங்கும்.

2. TaC மற்றும் SiC பூச்சுக்கு என்ன வித்தியாசம்?

TaC மற்றும் SiC ஆகியவை வெவ்வேறான வெப்ப, இரசாயன மற்றும் இயந்திர பண்புகளைக் கொண்ட வெவ்வேறு கார்பைடு பொருட்கள். தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட தீவிர-வெப்பநிலை படிக-வளர்ச்சி சூழல்களில் TaC பயனுள்ளதாக இருக்கும், அதே நேரத்தில் CVD SiC செமிகண்டக்டர் ரியாக்டர் பாகங்களில் பரவலாக நிறுவப்பட்டுள்ளது. தேர்வு விண்ணப்பத்தைப் பொறுத்தது.

3. SiC படிக வளர்ச்சியில் TaC பூச்சு ஏன் பயன்படுத்தப்படுகிறது?

TaC பூச்சுகள் கோரும் SiC PVT செயல்முறை சூழல்களில் இருந்து கிராஃபைட் கூறுகளைப் பாதுகாக்க உதவும். முறையான தகுதிவாய்ந்த பூச்சு வடிவமைப்புகள் அடி மூலக்கூறு சிதைவு மற்றும் தொடர்புடைய மாசு அபாயங்களைக் குறைக்கலாம்.

4. TaC பூச்சு விரிசல் அல்லது சிதைவுக்கு என்ன காரணம்?

சாத்தியமான காரணங்களில் எஞ்சிய அழுத்தம், வெப்பநிலை சாய்வுகள், அடி மூலக்கூறு குறைபாடுகள், இணக்கமற்ற வெப்ப சுழற்சி மற்றும் பூச்சு-இடைமுக சிதைவு ஆகியவை அடங்கும். உண்மையான காரணத்தை நிறுவ விரிவான தோல்வி பகுப்பாய்வு தேவை.

5. TaC பூச்சு என்பது டான்டலம் உலோக பூச்சு அல்லது ta-C பூச்சு போன்றதா?

எண். TaC என்பது டான்டலம் கார்பைடு, டான்டலம் மற்றும் கார்பனின் பீங்கான் கலவை ஆகும். டான்டலம் உலோகப் பூச்சு ஒரு வித்தியாசமான பொருளாகும், அதே சமயம் ta-C பொதுவாக டெட்ராஹெட்ரல் அமார்பஸ் கார்பனைக் குறிக்கிறது, இது வைரம் போன்ற கார்பன் பூச்சு ஆகும்.

6. TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளை தனிப்பயனாக்க முடியுமா?

கூறு வடிவவியல், கிராஃபைட் தரம், பூச்சு தேவைகள் மற்றும் ஆய்வு அளவுகோல்கள் பொறியியல் மதிப்பாய்வுக்கு குறிப்பிடப்படலாம். உற்பத்தி சாத்தியம் மற்றும் அடையக்கூடிய சகிப்புத்தன்மை பயன்பாடு மற்றும் அங்கீகரிக்கப்பட்ட வரைபடங்களுக்கு எதிராக உறுதிப்படுத்தப்பட வேண்டும்.