ஒற்றை வேஃபர் எபி கிராஃபைட் அண்டர்டேக்கர்

விளக்கம்

ஒற்றை செதில் எபி கிராஃபைட் சசெப்டரில் கிராஃபைட் தட்டு, கிராஃபைட் வளையம் மற்றும் பிற பாகங்கள் ஆகியவை அடங்கும், அதிக தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு + நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கலப்பு கட்டமைப்பைப் பயன்படுத்துகின்றன, அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, வேதியியல் மந்தநிலை மற்றும் வெப்ப புலம் சீரான தன்மையைக் கணக்கில் எடுத்துக்கொள்கின்றன. வெகுஜன உற்பத்தியில் உயர் துல்லியமான எபிடாக்சியல் தாளின் முக்கிய தாங்கி கூறு இது.

பொருள் கண்டுபிடிப்பு: கிராஃபைட் +எஸ்ஐசி பூச்சு

கிராஃபைட்

● அல்ட்ரா-உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் (> 130 w/m · K), வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு தேவைகளுக்கு விரைவான பதில், செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த.

வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE: 4.6 × 10⁻⁶/° C), அதிக வெப்பநிலை சிதைவைக் குறைத்தல், சேவை வாழ்க்கையை நீடிக்கவும்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு

● அரிப்பு எதிர்ப்பு. H₂, HCL, மற்றும் SIH₄ போன்ற எதிர்வினை வாயுக்களால் தாக்குதலை எதிர்க்கவும். இது அடிப்படை பொருளின் ஆவியாகும் மூலம் எபிடாக்சியல் லேயரை மாசுபடுத்துவதைத் தவிர்க்கிறது.

● மேற்பரப்பு அடர்த்தி: பூச்சு போரோசிட்டி 0.1%க்கும் குறைவாக உள்ளது, இது கிராஃபைட் மற்றும் செதில் இடையேயான தொடர்பைத் தடுக்கிறது மற்றும் கார்பன் அசுத்தங்களின் பரவலைத் தடுக்கிறது.

● அதிக வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை: 1600 ° C க்கு மேல் சூழலில் நீண்ட கால நிலையான பணிகள், SIC எபிடாக்ஸியின் அதிக வெப்பநிலை தேவைக்கு ஏற்ப.

வெப்ப புலம் மற்றும் காற்றோட்ட தேர்வுமுறை வடிவமைப்பு

சீரான வெப்ப கதிர்வீச்சு அமைப்பு

சசெப்டர் மேற்பரப்பு பல வெப்ப பிரதிபலிப்பு பள்ளங்களுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் ASM சாதனத்தின் வெப்ப புலக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ± 1.5 ° C (6 அங்குல செதில், 8 அங்குல செதில்) வெப்பநிலை சீரான தன்மையை அடைகிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்கு தடிமன் (ஏற்ற இறக்கங்கள் <3%) நிலைத்தன்மையையும் சீரான தன்மையையும் உறுதி செய்கிறது.

ஏர் ஸ்டீயரிங் நுட்பம்

எட்ஜ் திசைதிருப்பல் துளைகள் மற்றும் சாய்ந்த ஆதரவு நெடுவரிசைகள் செதில் மேற்பரப்பில் எதிர்வினை வாயுவின் லேமினார் ஓட்ட விநியோகத்தை மேம்படுத்தவும், எடி நீரோட்டங்களால் ஏற்படும் படிவு விகிதத்தில் உள்ள வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், ஊக்கமருந்து சீரான தன்மையை மேம்படுத்தவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.