நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையம்

தயாரிப்பு அம்சங்கள்

• முக்கிய உபகரணங்கள்:PVT தொழில்நுட்பத்துடன் செயல்படும் SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி உலைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
• முதன்மை விண்ணப்பம்:மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி SiC படிக வளர்ச்சியில் வெப்ப புல அமைப்புகளுக்கு ஏற்றது.
• உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை:TaC பூச்சு தீவிர-உயர் வெப்பநிலையின் கீழ் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைத் தக்க வைத்துக் கொள்கிறது, வெப்பச் சூழல்களைக் கோருவதில் நீட்டிக்கப்பட்ட செயல்பாட்டை ஆதரிக்கிறது.
• அரிப்பு பாதுகாப்பு:அடர்த்தியான CVD TaC அடுக்கு சிலிக்கான் நீராவி, கார்பன்-தாங்கி வாயுக்கள் மற்றும் SiC வளர்ச்சியின் போது எதிர்கொள்ளும் பிற அரிக்கும் வகைகளிலிருந்து கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளை பாதுகாக்கிறது.
• வெப்ப புல செயல்திறன்:நுண்ணிய கிராஃபைட் அடிப்படை வெப்ப விநியோகம் மற்றும் நீராவி போக்குவரத்துக்கு உதவுகிறது, இது நிலையான வளர்ச்சி நிலைமைகளை பராமரிக்க உதவுகிறது.
• குறைந்த மாசுபாடு:உயர்-தூய்மை தொடக்கப் பொருட்கள் மற்றும் அடர்த்தியான பூச்சு ஆகியவை தூய்மையற்ற வெளியீடு மற்றும் துகள் உதிர்தல் ஆகியவற்றைக் கட்டுப்படுத்துகின்றன, இது படிகத் தரத்திற்கு பயனளிக்கிறது.
• நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம்:TaC அடுக்கு ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மற்றும் உயர்ந்த வெப்பநிலையில் ஒட்டுமொத்த ஆயுள் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துகிறது.
• பூச்சு ஒட்டுதல்:CVD செயல்முறை TaC படத்திற்கும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே ஒரு வலுவான பிணைப்பை அளிக்கிறது.
• விருப்ப விருப்பங்கள்:பரிமாணங்கள், கட்டமைப்பு விவரங்கள் மற்றும் பூச்சு விவரக்குறிப்புகள் வெவ்வேறு SiC வளர்ச்சி உலை தேவைகளுக்கு பொருந்தும் வகையில் சரிசெய்யப்படலாம்.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

விண்ணப்பங்கள்

VETEK போரஸ் TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையம் முதன்மையாக இதில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

• PVT வழியாக SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி
• மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி
• SiC அடி மூலக்கூறு உற்பத்தி
• படிக வளர்ச்சி உலைகளில் வெப்ப புல அமைப்புகள்
• உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கம்
• மேம்பட்ட கிராஃபைட் வெப்ப மண்டல கூறுகள்

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

1. நுண்ணிய TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையம் என்றால் என்ன?

இது SiC படிக வளர்ச்சி உலைகளுக்கான வெப்ப புல கூறு ஆகும். இது ஒரு நுண்துளை கிராஃபைட் கட்டமைப்பை CVD TaC பூச்சுடன் ஒருங்கிணைத்து வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை அரிப்புக்கு எதிரான பாதுகாப்பை வழங்குகிறது.

2. SiC படிக வளர்ச்சிக்கு TaC பூச்சு ஏன் பயன்படுத்த வேண்டும்?

TaC உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இது சிலிக்கான் நீராவி தாக்குதலில் இருந்து கிராஃபைட்டை பாதுகாக்கிறது மற்றும் சுத்தமான, நிலையான வளர்ச்சி சூழலை பராமரிக்க உதவுகிறது.

3. நுண்துளை கிராஃபைட் அமைப்பு என்ன வழங்குகிறது?

நுண்துளை வடிவமைப்பு உலைக்குள் வெப்ப விநியோகம் மற்றும் எரிவாயு போக்குவரத்தை ஆதரிக்கிறது, இது நிலையான SiC படிக வளர்ச்சி நிலைமைகளுக்கு பங்களிக்கிறது.

4. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையங்களை VETEK உருவாக்க முடியுமா?

ஆம். பரிமாணங்கள், அடி மூலக்கூறு உள்ளமைவு மற்றும் பூச்சு அளவுருக்கள் உட்பட வாடிக்கையாளர் வரைபடங்கள், உலை வடிவமைப்புகள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளின் அடிப்படையில் VETEK தனிப்பயனாக்கத்தை வழங்குகிறது.