TAC பூச்சு சிலுவை

குறைக்கடத்தியை கையாள்கிறதுசி.வி.டி டிஏசி பூசப்பட்ட சிலுவைகள்பொதுவாக பி.வி.டி முறை எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்முறையில் பின்வரும் முக்கிய பாத்திரங்களை வகிக்கவும்:

பி.வி.டி முறை ஒரு எஸ்.ஐ.சி விதை படிகத்தை டிஏசி பூசப்பட்ட சிலுவை மேல் வைப்பதைக் குறிக்கிறது, மேலும் எஸ்.ஐ.சி தூளை சிலுவையின் அடிப்பகுதியில் ஒரு மூலப்பொருளாக வைப்பதைக் குறிக்கிறது. அதிக வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த அழுத்தத்தின் மூடிய சூழலில், SIC தூள் விழுமியமாக்குகிறது, மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வு மற்றும் செறிவு வேறுபாட்டின் செயல்பாட்டின் கீழ்,Sic தூள்விதை படிகத்தின் அருகே மாற்றப்படுகிறது, மேலும் மறுகட்டமைப்புக்குப் பிறகு ஒரு சூப்பர்சச்சுரேட்டட் நிலையை அடைகிறது. எனவே, பி.வி.டி முறை எஸ்.ஐ.சி படிக அளவு மற்றும் குறிப்பிட்ட படிக வடிவத்தின் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய வளர்ச்சியை அடைய முடியும்.

படிக வளர்ச்சியின் வெப்ப நிலைத்தன்மை

வெடெக் செமிகண்டக்டர் டாக் பூசப்பட்ட சிலுவைகள் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன (2200 below க்குக் கீழே நிலையானதாக இருக்க முடியும்), இது ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்குத் தேவையான மிக அதிக வெப்பநிலையில் கூட அவற்றின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது. இந்த உடல் சொத்து SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் க்ரூசிபிலுக்கு படிக வளர்ச்சி செயல்முறையை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த உதவுகிறது, இதன் விளைவாக மிகவும் சீரான மற்றும் குறைபாடு இல்லாத படிகங்கள் ஏற்படுகின்றன.

● சிறந்த வேதியியல் தடை

டிஏசி பூசப்பட்ட சிலுவைகள் ஒரு டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளை அதிக தூய்மை கிராஃபைட் க்ரூசிபிலுடன் இணைத்து, எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் போது பொதுவாக எதிர்கொள்ளும் பரந்த அளவிலான அரிக்கும் இரசாயனங்கள் மற்றும் உருகிய பொருட்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன. குறைந்தபட்ச குறைபாடுகளுடன் உயர்தர படிகங்களை அடைய இந்த சொத்து முக்கியமானது.

Staff நிலையான வளர்ச்சி சூழலுக்கான அதிர்வுகளை குறைத்தல்

டிஏசி பூசப்பட்ட சிலுவை அதிர்வுகளையும் வெப்ப அதிர்ச்சியையும் கிராஃபைட் க்ரூசிபிலுக்குள் குறைத்து, நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட படிக வளர்ச்சி சூழலுக்கு மேலும் பங்களிக்கிறது. குறுக்கீட்டின் இந்த சாத்தியமான ஆதாரங்களைத் தணிப்பதன் மூலம், TAC பூச்சு குறைக்கப்பட்ட குறைபாடு அடர்த்தியுடன் பெரிய, சீரான படிகங்களின் வளர்ச்சியை செயல்படுத்துகிறது, இறுதியில் சாதன விளைச்சலை அதிகரிக்கும் மற்றும் சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

வெப்பமான கடத்துத்திறன்

வெட்செமிகனின் பூசப்பட்ட சிலுவைகள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளன, இது கிராஃபைட் க்ரூசிபிலுக்கு வெப்பத்தை விரைவாகவும் சமமாகவும் மாற்ற உதவுகிறது. இது படிக வளர்ச்சி செயல்முறை முழுவதும் வெப்பநிலையின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை தீர்மானிக்கிறது, வெப்ப சாய்வுகளால் ஏற்படும் படிக குறைபாடுகளை குறைக்கிறது.

ஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு

இயற்பியல் பண்புகள்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு

வெடெக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி கடைகள்