எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான முக்கிய முக்கிய பொருள் எஸ்.ஐ.சி பூச்சு ஏன்?

சி.வி.டி உபகரணங்களில், அடி மூலக்கூறு நேரடியாக உலோகத்தின் மீது அல்லது எபிடாக்சியல் படிவுக்கான ஒரு தளத்தில் வைக்க முடியாது, ஏனெனில் இது வாயு ஓட்ட திசை (கிடைமட்ட, செங்குத்து), வெப்பநிலை, அழுத்தம், நிர்ணயம் மற்றும் வீழ்ச்சி மாசுபடுத்திகள் போன்ற பல்வேறு காரணிகளை உள்ளடக்கியது. எனவே, ஒரு அடிப்படை தேவைப்படுகிறது, பின்னர் அடி மூலக்கூறு வட்டில் வைக்கப்படுகிறது, பின்னர் சி.வி.டி தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி அடி மூலக்கூறில் எபிடாக்சியல் படிவு செய்யப்படுகிறது. இந்த அடிப்படைSic பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடிப்படை.

ஒரு முக்கிய அங்கமாக, கிராஃபைட் தளத்தில் அதிக குறிப்பிட்ட வலிமை மற்றும் மாடுலஸ், நல்ல வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை உள்ளன, ஆனால் உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது, ​​மீதமுள்ள அரிக்கும் வாயு மற்றும் உலோக கரிமப் பொருட்களின் காரணமாக கிராஃபைட் சிதைக்கப்பட்டு தூள் செய்யப்படும், மேலும் கிராஃபைட் தளத்தின் சேவை வாழ்க்கை பெரிதும் குறைக்கப்படும். அதே நேரத்தில், விழுந்த கிராஃபைட் தூள் சிப்பில் மாசுபடுவதை ஏற்படுத்தும். உற்பத்தி செயல்பாட்டில்சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் செதில்கள், கிராஃபைட் பொருட்களுக்கான மக்களின் பெருகிய முறையில் கடுமையான பயன்பாட்டுத் தேவைகளை பூர்த்தி செய்வது கடினம், இது அதன் வளர்ச்சி மற்றும் நடைமுறை பயன்பாட்டை தீவிரமாக கட்டுப்படுத்துகிறது. எனவே, பூச்சு தொழில்நுட்பம் உயரத் தொடங்கியது.

குறைக்கடத்தி துறையில் எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் நன்மைகள்

பூச்சின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகள் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான கடுமையான தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை உற்பத்தியின் மகசூல் மற்றும் வாழ்க்கையை நேரடியாக பாதிக்கின்றன. SIC பொருள் அதிக வலிமை, அதிக கடினத்தன்மை, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. இது ஒரு முக்கியமான உயர் வெப்பநிலை கட்டமைப்பு பொருள் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி பொருள். இது கிராஃபைட் தளத்திற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் நன்மைகள்:

1) sic என்பது அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் கிராஃபைட் தளத்தை முழுமையாக மடிக்க முடியும். இது நல்ல அடர்த்தியைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் அரிக்கும் வாயுவால் சேதத்தைத் தவிர்க்கிறது.

2) SIC க்கு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் கிராஃபைட் தளத்துடன் அதிக பிணைப்பு வலிமையைக் கொண்டுள்ளது, இது பல உயர் வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு பூச்சு வீழ்ச்சியடைவது எளிதல்ல என்பதை உறுதிசெய்கிறது.

3) உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வளிமண்டலத்தில் பூச்சு தோல்வியடிப்பதைத் தவிர்க்க SIC க்கு நல்ல வேதியியல் நிலைத்தன்மை உள்ளது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

கூடுதலாக, வெவ்வேறு பொருட்களின் எபிடாக்சியல் உலைகளுக்கு வெவ்வேறு செயல்திறன் குறிகாட்டிகளுடன் கிராஃபைட் தட்டுகள் தேவைப்படுகின்றன. கிராஃபைட் பொருட்களின் வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தின் பொருத்தத்திற்கு எபிடாக்சியல் உலையின் வளர்ச்சி வெப்பநிலைக்கு தழுவல் தேவைப்படுகிறது. உதாரணமாக, வெப்பநிலைசிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸிஅதிகமாக உள்ளது, மேலும் அதிக வெப்ப விரிவாக்க குணக பொருத்தம் கொண்ட ஒரு தட்டு தேவை. SIC இன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கிராஃபைட்டுக்கு மிக நெருக்கமாக உள்ளது, இது கிராஃபைட் தளத்தின் மேற்பரப்பு பூச்சுக்கு விருப்பமான பொருளாக பொருத்தமானது.

SIC பொருட்கள் பலவிதமான படிக வடிவங்களைக் கொண்டுள்ளன. மிகவும் பொதுவானவை 3 சி, 4 எச் மற்றும் 6 எச். வெவ்வேறு படிக வடிவங்களின் sic வெவ்வேறு பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. எடுத்துக்காட்டாக, உயர் சக்தி சாதனங்களை தயாரிக்க 4H-SIC பயன்படுத்தப்படலாம்; 6H-SIC மிகவும் நிலையானது மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களை தயாரிக்க பயன்படுத்தலாம்; GAN க்கு ஒத்த கட்டமைப்பின் காரணமாக GAN EPITAXIAL அடுக்குகளை உற்பத்தி செய்யவும், SIC-GAN RF சாதனங்களை தயாரிக்கவும் 3C-SIC பயன்படுத்தப்படலாம். 3C-SIC பொதுவாக β-SIC என்றும் குறிப்பிடப்படுகிறது. Β-SIC இன் முக்கியமான பயன்பாடு ஒரு மெல்லிய படம் மற்றும் பூச்சு பொருள். எனவே, β-SIC தற்போது பூச்சு செய்வதற்கான முக்கிய பொருளாகும்.

வேதியியல்-கட்டமைப்பு-β-sic

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொதுவான நுகர்வோர், எஸ்.ஐ.சி பூச்சு முக்கியமாக அடி மூலக்கூறுகள், எபிடாக்ஸி,ஆக்சிஜனேற்ற பரவல், பொறித்தல் மற்றும் அயன் உள்வைப்பு. பூச்சின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகள் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான கடுமையான தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை உற்பத்தியின் மகசூல் மற்றும் வாழ்க்கையை நேரடியாக பாதிக்கின்றன. எனவே, SIC பூச்சு தயாரிப்பது மிக முக்கியமானது.