ASM க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்

பொதுவான தயாரிப்பு தகவல்

தயாரிப்பு வணிக விதிமுறைகள்

✔ விண்ணப்பம்: Veteksemicon SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு ASM தொடர் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களுக்கு ஒரு முக்கிய நுகர்வு ஆகும். இது செதில்களை நேரடியாக ஆதரிக்கிறது மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எபிடாக்ஸியின் போது சீரான மற்றும் நிலையான வெப்பப் புலத்தை வழங்குகிறது, இது GaN மற்றும் SiC போன்ற மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பொருட்களின் உயர்தர வளர்ச்சியை உறுதி செய்வதற்கான ஒரு முக்கிய அங்கமாக அமைகிறது.

✔ வழங்கக்கூடிய சேவைகள்: வாடிக்கையாளர் பயன்பாட்டு சூழ்நிலை பகுப்பாய்வு, பொருந்தும் பொருட்கள், தொழில்நுட்ப சிக்கல் தீர்க்கும். 

✔ நிறுவனத்தின் சுயவிவரம்Veteksemicon 2 ஆய்வகங்களைக் கொண்டுள்ளது, R&D மற்றும் உற்பத்தி, சோதனை மற்றும் சரிபார்ப்பு திறன்களுடன் 20 வருட பொருள் அனுபவமுள்ள நிபுணர்களின் குழு.

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

ASM முக்கிய நன்மைகளுக்கான Veteksemicon SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்

1. தீவிர தூய்மை மற்றும் குறைந்த குறைபாடு விகிதம்

உயர்-தூய்மை, நுண்ணிய-துகள்-தர சிறப்பு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறைப் பயன்படுத்தி, எங்கள் கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) பூச்சு செயல்முறையுடன் இணைந்து, பூச்சு அடர்த்தியாகவும், துளைகள் இல்லாததாகவும், அசுத்தங்கள் இல்லாததாகவும் இருப்பதை உறுதிசெய்கிறோம். இது எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டின் போது துகள்கள் மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது, உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கு சுத்தமான அடி மூலக்கூறு சூழலை வழங்குகிறது.

2. சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு

பைரோலிடிக் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மிக அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, சிலிக்கான் மூலங்கள் (SiH4, SiHCl3 போன்றவை), கார்பன் மூலங்கள் (C3H8 போன்றவை) மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் பொறிக்கப்பட்ட வாயுக்கள் (HCl, H2 போன்றவை) அரிப்பைத் திறம்பட எதிர்க்கிறது. இது தளத்தின் பராமரிப்பு சுழற்சியை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது மற்றும் கூறு மாற்றத்தால் ஏற்படும் இயந்திர செயலிழப்பு நேரத்தை குறைக்கிறது.

3. சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் நிலைப்புத்தன்மை

துல்லியமான அடி மூலக்கூறு கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு மற்றும் பூச்சு தடிமன் கட்டுப்பாடு மூலம் இயக்க வெப்பநிலை வரம்பிற்குள் வெப்ப புல விநியோகத்தை மேம்படுத்தினோம். இது நேரடியாக எபிடாக்சியல் வேஃபரில் சிறந்த தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்புத் தன்மை சீரானதாக மொழிபெயர்க்கிறது, இது மேம்பட்ட சிப் உற்பத்தி விளைச்சலுக்கு பங்களிக்கிறது.

4. சிறந்த பூச்சு ஒட்டுதல் வலிமை

தனித்துவமான மேற்பரப்பு முன் சிகிச்சை மற்றும் சாய்வு பூச்சு தொழில்நுட்பம் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுடன் வலுவான பிணைப்பு அடுக்கை உருவாக்க உதவுகிறது, நீண்ட கால வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலின் போது ஏற்படும் பூச்சு உரித்தல், உரித்தல் அல்லது விரிசல் சிக்கல்களைத் திறம்பட தடுக்கிறது.

5. துல்லியமான அளவு மற்றும் கட்டமைப்பு பிரதிபலிப்பு

எங்களிடம் முதிர்ந்த CNC எந்திரம் மற்றும் சோதனை திறன்கள் உள்ளன, இது சிக்கலான வடிவியல், குழி பரிமாணங்கள் மற்றும் அசல் தளத்தின் பெருகிவரும் இடைமுகங்களை முழுமையாகப் பிரதிபலிக்க உதவுகிறது.

6. சூழலியல் சங்கிலி சரிபார்ப்பு ஒப்புதல்

ASM' சூழலியல் சங்கிலி சரிபார்ப்புக்கான Veteksemicon SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர், உற்பத்திக்கான மூலப்பொருட்களை உள்ளடக்கியது, சர்வதேச தர சான்றிதழைப் பெற்றுள்ளது, மேலும் குறைக்கடத்தி மற்றும் புதிய ஆற்றல் துறைகளில் அதன் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த பல காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பங்களைக் கொண்டுள்ளது.

விரிவான தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள், வெள்ளைத் தாள்கள் அல்லது மாதிரி சோதனை ஏற்பாடுகளுக்கு, Veteksemicon உங்கள் செயல்முறை செயல்திறனை எவ்வாறு மேம்படுத்தலாம் என்பதை ஆராய எங்கள் தொழில்நுட்ப ஆதரவுக் குழுவைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.

முக்கிய பயன்பாட்டு புலங்கள்

Veteksemicon பொருட்கள் கடை