எபிடாக்சியல் செயல்முறை என்ன?

எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் கண்ணோட்டம்

"எபிடாக்ஸி" என்ற சொல் கிரேக்க சொற்களிலிருந்து "எபி," பொருள் "மீது" மற்றும் "டாக்சிகள்," என்று பொருள் "கட்டளையிடப்பட்டது", படிக வளர்ச்சியின் கட்டளையிடப்பட்ட தன்மையைக் குறிக்கிறது. ஒரு படிக அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய படிக அடுக்கின் வளர்ச்சியைக் குறிக்கும் குறைக்கடத்தி புனையலில் எபிடாக்ஸி ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும். குறைக்கடத்தி புனையலில் உள்ள எபிடாக்ஸி (ஈபிஐ) செயல்முறை ஒற்றை படிகத்தின் சிறந்த அடுக்கை, பொதுவாக 0.5 முதல் 20 மைக்ரான் வரை, ஒரு படிக அடி மூலக்கூறில் வைப்பதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது. EPI செயல்முறை குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் ஒரு குறிப்பிடத்தக்க படியாகும், குறிப்பாகசிலிக்கான் வேஃபர்புனையல்.

எபிடாக்ஸி மிகவும் ஆர்டர் செய்யப்பட்ட மெல்லிய படங்களை படிவதற்கு அனுமதிக்கிறது மற்றும் குறிப்பிட்ட மின்னணு பண்புகளுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும். டையோட்கள், டிரான்சிஸ்டர்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் போன்ற உயர்தர குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உருவாக்க இந்த செயல்முறை அவசியம்.

எபிடாக்ஸி வகைகள்

எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில், வளர்ச்சியின் நோக்குநிலை அடிப்படை அடிப்படை படிகத்தால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.  படிவுகளின் மறுபடியும் மறுபடியும் ஒன்று அல்லது பல எபிடாக்ஸி அடுக்குகள் இருக்கலாம். வேதியியல் கலவை மற்றும் கட்டமைப்பின் அடிப்படையில் அடிப்படை அடி மூலக்கூறிலிருந்து ஒரே மாதிரியான அல்லது வேறுபட்டதாக இருக்கும் ஒரு மெல்லிய அடுக்கை உருவாக்க எபிடாக்ஸி செயல்முறையைப் பயன்படுத்தலாம். எபிடாக்ஸியை அடி மூலக்கூறு மற்றும் எபிடாக்சியல் லேயருக்கு இடையிலான உறவின் அடிப்படையில் இரண்டு முதன்மை வகைகளாக வகைப்படுத்தலாம்:ஹோமோபிடாக்ஸிமற்றும்ஹீட்டோரோபிடாக்ஸி.

அடுத்து, ஹோமோபிடாக்ஸி மற்றும் ஹீட்டோரோபிடாக்ஸி இடையேயான வேறுபாடுகளை நான்கு பரிமாணங்களிலிருந்து பகுப்பாய்வு செய்வோம்: வளர்ந்த அடுக்கு, படிக அமைப்பு மற்றும் லட்டு, எடுத்துக்காட்டு மற்றும் பயன்பாடு:

Home ஹோமோபிடாக்ஸி: எபிடாக்சியல் அடுக்கு அடி மூலக்கூறின் அதே பொருளிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் போது இது நிகழ்கிறது.

✔ வளர்ந்த அடுக்கு: எபிடாக்ஸிகலாக வளர்ந்த அடுக்கு அடி மூலக்கூறு அடுக்கின் அதே பொருளைக் கொண்டது.

✔ படிக அமைப்பு மற்றும் லட்டு: அடி மூலக்கூறு மற்றும் எபிடாக்சியல் லேயரின் படிக அமைப்பு மற்றும் லட்டு மாறிலி ஒன்றே.

✔ எடுத்துக்காட்டு: அடி மூலக்கூறு சிலிக்கான் மீது அதிக தூய சிலிக்கானின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி.

✔ பயன்பாடு.

● ஹீட்டோரோபிடாக்ஸி: இதில் அடுக்கு மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு பயன்படுத்தப்படும் வெவ்வேறு பொருட்கள் அடங்கும், அதாவது காலியம் ஆர்சனைடு (GAAS) இல் வளரும் அலுமினிய காலியம் ஆர்சனைடு (ALGAAS) போன்றவை. வெற்றிகரமான ஹீட்டோரோபிடாக்ஸிக்கு குறைபாடுகளைக் குறைக்க இரண்டு பொருட்களுக்கு இடையில் ஒத்த படிக கட்டமைப்புகள் தேவைப்படுகின்றன.

✔ வளர்ந்த அடுக்கு: எபிடாக்ஸிகலாக வளர்ந்த அடுக்கு அடி மூலக்கூறு அடுக்கை விட வேறுபட்ட பொருளைக் கொண்டுள்ளது.

✔ படிக அமைப்பு மற்றும் லட்டு: அடி மூலக்கூறு மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் படிக அமைப்பு மற்றும் லட்டு மாறிலி வேறுபட்டவை.

✔ எடுத்துக்காட்டு: சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறில் எபிடாக்சிகல் வளரும் காலியம் ஆர்சனைடு.

✔ பயன்பாடு: வெவ்வேறு பொருட்களின் அடுக்குகள் தேவைப்படும் அல்லது ஒற்றை படிகமாக கிடைக்காத ஒரு பொருளின் படிகப் படத்தை உருவாக்க குறைக்கடத்தி சாதன கட்டுமானம்.

குறைக்கடத்தி புனையலில் ஈபிஐ செயல்முறையை பாதிக்கும் காரணிகள்:

✔ வெப்பநிலை: எபிடாக்ஸி வீதம் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு அடர்த்தியை பாதிக்கிறது. எபிடாக்ஸி செயல்முறைக்கு தேவையான வெப்பநிலை அறை வெப்பநிலையை விட அதிகமாக உள்ளது, மேலும் மதிப்பு எபிடாக்ஸி வகையைப் பொறுத்தது.

✔ அழுத்தம்: எபிடாக்ஸி வீதம் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு அடர்த்தியை பாதிக்கிறது.

✔ குறைபாடுகள்: எபிடாக்ஸியில் உள்ள குறைபாடுகள் தவறான செதில்களுக்கு வழிவகுக்கும். ஈபிஐ செயல்முறைக்குத் தேவையான உடல் நிலைமைகள் குறைபாடற்ற எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சிக்கு பராமரிக்கப்பட வேண்டும்.

✔ விரும்பிய நிலை: எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி படிகத்தின் சரியான நிலைகளில் இருக்க வேண்டும். வளர்ச்சியைத் தடுக்க எபிடாக்சியல் செயல்முறையிலிருந்து விலக்கப்பட வேண்டிய பகுதிகளை முறையாக படமாக்க வேண்டும்.

✔ ஆட்டோடாப்பிங்: எபிடாக்ஸி செயல்முறை அதிக வெப்பநிலையில் நடத்தப்படுவதால், டோபன்ட் அணுக்கள் பொருளில் மாறுபாடுகளைக் கொண்டுவரும் திறன் கொண்டதாக இருக்கலாம்.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி நுட்பங்கள்

எபிடாக்ஸி செயல்முறையைச் செய்ய பல முறைகள் உள்ளன: திரவ கட்ட எபிடாக்ஸி, கலப்பின நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி, திட கட்ட எபிடாக்ஸி, அணு அடுக்கு படிவு, வேதியியல் நீராவி படிவு, மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி போன்றவை. சி.வி.டி மற்றும் எம்.பி.இ இரண்டு எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளை ஒப்பிடுவோம்.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி முறைகள்

எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி முறைகள்: அடுக்குகள் எவ்வாறு உருவாகின்றன என்பதைப் பாதிக்கும் வெவ்வேறு முறைகள் மூலம் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஏற்படலாம்:

(அ) வால்மர்-வெபர் (வி.டபிள்யூ): தொடர்ச்சியான திரைப்பட உருவாக்கத்திற்கு முன்னர் அணுக்கரு நிகழும் முப்பரிமாண தீவு வளர்ச்சியால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது.

✔ (பி)ஃபிராங்க்-வான் டெர் மெர்வே (எஃப்.எம்): அடுக்கு-மூலம்-அடுக்கு வளர்ச்சியை உள்ளடக்கியது, சீரான தடிமன் ஊக்குவிக்கிறது.

(சி) பக்க-கிராஸ்டான்கள் (எஸ்.கே): வி.டபிள்யூ மற்றும் எஃப்.எம் ஆகியவற்றின் கலவையானது, அடுக்கு வளர்ச்சியுடன் தொடங்கி ஒரு முக்கியமான தடிமன் அடைந்த பிறகு தீவு உருவாக்கத்திற்கு மாறுகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் எபிடாக்ஸி வளர்ச்சியின் முக்கியத்துவம்

குறைக்கடத்தி செதில்களின் மின் பண்புகளை மேம்படுத்த எபிடாக்ஸி இன்றியமையாதது. ஊக்கமருந்து சுயவிவரங்களைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கும் குறிப்பிட்ட பொருள் பண்புகளை அடைவதற்கும் திறன் நவீன மின்னணுவியலில் எபிடாக்ஸியை இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது.

மேலும், உயர் செயல்திறன் கொண்ட சென்சார்கள் மற்றும் பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஆகியவற்றை வளர்ப்பதில் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகள் பெருகிய முறையில் குறிப்பிடத்தக்கவை, இது குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தில் தற்போதைய முன்னேற்றங்களை பிரதிபலிக்கிறது. போன்ற அளவுருக்களைக் கட்டுப்படுத்துவதில் தேவையான துல்லியம்வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் வாயு ஓட்ட விகிதம்எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது குறைந்தபட்ச குறைபாடுகளுடன் உயர்தர படிக அடுக்குகளை அடைய முக்கியமானது.