SiC பூச்சு ஏன் அதிக கவனத்தைப் பெறுகிறது? - VeTek செமிகண்டக்டர்

சமீபத்திய ஆண்டுகளில், மின்னணுவியல் துறையின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன்,மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திபொருட்கள் குறைக்கடத்தி தொழில் வளர்ச்சிக்கு ஒரு புதிய உந்து சக்தியாக மாறியுள்ளன. மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருட்களின் பொதுவான பிரதிநிதியாக, SiC செமிகண்டக்டர் உற்பத்தித் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாகவெப்ப புலம்பொருட்கள், அதன் சிறந்த இயற்பியல் மற்றும் இரசாயன பண்புகள் காரணமாக.

எனவே, SIC பூச்சு என்றால் என்ன? மற்றும் என்னCVD SiC பூச்சு?

SiC என்பது அதிக கடினத்தன்மை, சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் அதிக அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்ட ஒரு இணை பிணைக்கப்பட்ட கலவை ஆகும். அதன் வெப்ப கடத்துத்திறன் 120-170 W/m·K ஐ அடையலாம், இது மின்னணு கூறு வெப்பச் சிதறலில் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனைக் காட்டுகிறது. கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைட்டின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் 4.0×10-6/K (300–800℃ வரம்பில்) மட்டுமே உள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை சூழலில் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க உதவுகிறது, இது வெப்பத்தால் ஏற்படும் சிதைவு அல்லது தோல்வியை வெகுவாகக் குறைக்கிறது. மன அழுத்தம். சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு என்பது உடல் அல்லது இரசாயன நீராவி படிவு, தெளித்தல் போன்றவற்றின் மூலம் பாகங்களின் மேற்பரப்பில் தயாரிக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடால் செய்யப்பட்ட பூச்சு ஆகும்.  

வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி)அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்புகளில் எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பம் தற்போது உள்ளது. முக்கிய செயல்முறை என்னவென்றால், வாயு கட்ட எதிர்வினைகள் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் தொடர்ச்சியான உடல் மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினைகளுக்கு உட்படுகின்றன, இறுதியாக சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சின் எஸ்.இ.எம் தரவு

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மிகவும் சக்திவாய்ந்ததாக இருப்பதால், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் இணைப்புகள் இது ஒரு பெரிய பங்கைக் கொண்டுள்ளது? பதில் எபிடாக்ஸி உற்பத்தி பாகங்கள்.

SIC பூச்சு பொருள் பண்புகளின் அடிப்படையில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு மிகவும் பொருந்தக்கூடிய முக்கிய நன்மையைக் கொண்டுள்ளது. பின்வருபவை SIC பூச்சுக்கான முக்கியமான பாத்திரங்கள் மற்றும் காரணங்கள்SIC பூச்சு எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர்:

1. உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி சூழலின் வெப்பநிலை 1000 க்கு மேல் அடையலாம். எஸ்.ஐ.சி பூச்சு மிக அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது வெப்பத்தை திறம்பட சிதறடிக்கும் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்தும்.

2. வேதியியல் நிலைத்தன்மை

எஸ்.ஐ.சி பூச்சு சிறந்த வேதியியல் செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் ரசாயனங்கள் மூலம் அரிப்பை எதிர்க்கும், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது எதிர்வினைகளுடன் மோசமாக செயல்படாது என்பதை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் பொருள் மேற்பரப்பின் ஒருமைப்பாட்டையும் தூய்மையையும் பராமரிக்கிறது.

3. மேட்சிங் லட்டு மாறிலி

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில், SiC பூச்சு அதன் படிக அமைப்பு காரணமாக பலவிதமான எபிடாக்சியல் பொருட்களுடன் நன்கு பொருந்துகிறது, இது லட்டு பொருத்தமின்மையை கணிசமாகக் குறைக்கும், அதன் மூலம் படிக குறைபாடுகளைக் குறைத்து, எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

4. குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்

எஸ்.ஐ.சி பூச்சு குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பொதுவான எபிடாக்சியல் பொருட்களுக்கு ஒப்பீட்டளவில் நெருக்கமாக உள்ளது. இதன் பொருள், அதிக வெப்பநிலையில், வெப்ப விரிவாக்க குணகங்களில் உள்ள வேறுபாடு காரணமாக, பொருள் உரித்தல், விரிசல் அல்லது சிதைவு போன்ற சிக்கல்களைத் தவிர்ப்பதால், அடித்தளத்திற்கும் SIC பூச்சுக்கும் இடையில் கடுமையான மன அழுத்தம் இருக்காது.

5. அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு

SiC பூச்சு மிகவும் அதிக கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, எனவே எபிடாக்சியல் தளத்தின் மேற்பரப்பில் பூசுவது அதன் உடைகள் எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்தலாம் மற்றும் அதன் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கும், அதே நேரத்தில் அடித்தளத்தின் வடிவியல் மற்றும் மேற்பரப்பு தட்டையானது எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டின் போது சேதமடையாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

SIC பூச்சின் குறுக்கு வெட்டு மற்றும் மேற்பரப்பு படம்

எபிடாக்சியல் உற்பத்திக்கான துணைப்பிரிவாக இருப்பதோடு கூடுதலாக,SIC பூச்சு இந்த பகுதிகளில் குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:

குறைக்கடத்தி செதில் கேரியர்கள்：குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது, ​​செதில்களின் கையாளுதல் மற்றும் செயலாக்கத்திற்கு மிக அதிக தூய்மை மற்றும் துல்லியம் தேவைப்படுகிறது. SIC பூச்சு பெரும்பாலும் செதில் கேரியர்கள், அடைப்புக்குறிகள் மற்றும் தட்டுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

வேஃபர் கேரியர்

முன்கூட்டியே சூடாக்குதல்：முன் சூடாக்கும் வளையம் Si epitaxial அடி மூலக்கூறு தட்டில் வெளிப்புற வளையத்தில் அமைந்துள்ளது மற்றும் அளவுத்திருத்தம் மற்றும் வெப்பமாக்கலுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது எதிர்வினை அறையில் வைக்கப்படுகிறது மற்றும் செதில் நேரடியாக தொடர்பு கொள்ளாது.

  முன்கூட்டியே சூடாக்குதல்

மேல் அரை நிலவு பகுதி எதிர்வினை அறையின் பிற ஆபரணங்களின் கேரியர் ஆகும்Sic epitaxy சாதனம், இது வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் செதில்களுடன் நேரடி தொடர்பு இல்லாமல் எதிர்வினை அறையில் நிறுவப்பட்டுள்ளது. கீழ் அரை நிலவு பகுதி ஒரு குவார்ட்ஸ் குழாயுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது, இது அடிப்படை சுழற்சியை இயக்க வாயுவை அறிமுகப்படுத்துகிறது. இது வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, எதிர்வினை அறையில் நிறுவப்பட்டுள்ளது மற்றும் செதில் நேரடியாக தொடர்பு கொள்ளாது.

மேல் அரை நிலவு பகுதி

கூடுதலாக, செமிகண்டக்டர் துறையில் ஆவியாதல், உயர் சக்தி மின்னணு குழாய் வாயில், மின்னழுத்த சீராக்கியை தொடர்பு கொள்ளும் தூரிகை, எக்ஸ்ரே மற்றும் நியூட்ரானுக்கான கிராஃபைட் மோனோக்ரோமேட்டர், கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளின் பல்வேறு வடிவங்கள் மற்றும் அணு உறிஞ்சுதல் குழாய் பூச்சு, முதலியன, SiC பூச்சு பெருகிய முறையில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

ஏன் தேர்வு செய்யவும்VeTek செமிகண்டக்டர்?

VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்கள் உற்பத்தி செயல்முறைகள் மேம்பட்ட பொருட்களுடன் துல்லியமான பொறியியலை இணைத்து SiC பூச்சு தயாரிப்புகளை சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நீடித்துழைப்புடன் தயாரிக்கின்றன.SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் ஹோல்டர்எனவே பூச்சு எபி அண்டர்டேக்கர்புற ஊதா எல்.ஈ.டி எபி இஸ்போர், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சுமற்றும்SIC பூச்சு ALD SUSSCECTOR. வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர தனிப்பயன் SiC பூச்சுகளை வழங்குவதன் மூலம் குறைக்கடத்தி தொழில் மற்றும் பிற தொழில்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகளை எங்களால் பூர்த்தி செய்ய முடிகிறது.

உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

கும்பல்/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com