8-இன்ச் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட எபிடாக்ஸி டாப் ரிங்

8 இன்ச் SiC Epi மேல் வளையத்தின் முக்கிய அம்சங்கள்

● உயர் தூய்மை: 99.9995% குறைந்தபட்சம். உலோகம் எபி-லேயரில் இடம்பெயராது. இது வேஃபர் கேரியர் செறிவைத் தேவையான இடத்தில் வைத்திருக்கிறது.

● துகள் அடக்கம்: CVD அமைப்பு அடர்த்தியானது. துளைகள் இல்லை. கருவி இயங்கும் போது அது துகள்களை சிந்தாது. தொழிற்சாலைகள் இந்த வழியில் சிறந்த விளைச்சலைப் பார்க்கின்றன.

● வெப்ப எதிர்ப்பு: வளையம் 1500°C இல் நிலையாக இருக்கும். குறைந்த CTE (வெப்ப விரிவாக்கம்) என்றால் வேகமான வெப்பம்/கூல்-டவுன் சுழற்சிகளின் போது வார்ப்பிங் இல்லை.

● வேதியியல் நிலைத்தன்மை: திடமான CVD SiC ஆனது H2 மற்றும் HCl வாயுக்களை எதிர்க்கிறது. இது NH3 ஐயும் எதிர்க்கிறது. உரிக்க எந்த பூச்சும் இல்லை. கடுமையான CVD சூழல்களில் இது சிதைவதில்லை.

● கூறு ஆயுள்: மேற்பரப்பு மிகவும் கடினமானது. இது மீண்டும் மீண்டும் HF/HCl இரசாயன சுத்தம் செய்வதில் உயிர்வாழ்கிறது. இது மாற்று அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது. இது ஃபேபிற்கான மொத்த உரிமைச் செலவையும் குறைக்கிறது.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

தொகுதிகளுக்கு இடையே பூச்சு தடிமனின் சீரான தன்மை 10um இல் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது

விண்ணப்பங்கள்

CVD SiC எபி மேல் வளையம் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

● சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி (Si Epi) உலைகள்

● சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி (SiC Epi)

● MOCVD அமைப்புகள்

● CVD படிவு கருவி

பொதுவாக இணைக்கப்பட்டவை:

● சஸ்செப்டர்கள்

● வேஃபர் கேரியர்கள்

● மோதிரங்களை முன்கூட்டியே சூடாக்கவும்

● எபிடாக்ஸி உலைகள்

ஏன் ஹூஸ் VETEK SiC எபி டாப் ரிங்?

● முழு உற்பத்தி திறன்: 

மூலப்பொருள் சுத்திகரிப்பு முதல் துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் CVD பூச்சு வரை, சீரான குறைக்கடத்தி-தர தரத்தை உறுதிப்படுத்த முழு உற்பத்தி செயல்முறையையும் VETEK கட்டுப்படுத்துகிறது.

● உயர் துல்லியம்: 

மைக்ரான் அளவிலான எந்திரத்தைப் பயன்படுத்துகிறோம். CVD தடிமன் மிகவும் சீரானது. இது ஒவ்வொரு வளையத்தையும் ஒரே மாதிரியாகச் செயல்பட வைக்கிறது.

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

(1) SiC எபி டாப் ரிங் என்ன செய்கிறது?

வளையம் வெப்பம் மற்றும் வாயு ஓட்டத்தை நிர்வகிக்கிறது. மெல்லிய படலம் செதில் முழுவதும் சமமாக வளர்வதை இது உறுதி செய்கிறது.

(2) கிராஃபைட்டை விட CVD SiC ஏன் சிறந்தது?

கிராஃபைட் நுண்துளை கொண்டது. கிராஃபைட் துளைகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் வாயுவை வெளியிடுகிறது. திடமான CVD SiC அடர்த்தியானது மற்றும் சுத்தமானது. அரிக்கும் கருவிகளில் இது நீண்ட காலம் நீடிக்கும்.

(3).8 அங்குல SiC மேல் வளையத்தை தனிப்பயனாக்க முடியுமா?

ஆம். உங்கள் குறிப்பிட்ட கருவி வரைபடங்களை நாங்கள் உருவாக்குகிறோம். உங்கள் செயல்முறையின் அடிப்படையில் வடிவவியலை நாங்கள் சரிசெய்யலாம்.

(4) என்ன தொழில்கள் SiC எபிடாக்ஸி வளையங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன?

அவை முக்கியமாக மின் சாதனங்கள், RF சாதனங்கள் மற்றும் SiC வேஃபர் உற்பத்தி உட்பட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.