EPI எபிடாக்சியல் உலை என்றால் என்ன? - VeTek செமிகண்டக்டர்

ஒரு எபிடாக்சியல் உலை என்பது குறைக்கடத்தி பொருட்களை உற்பத்தி செய்ய பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சாதனமாகும். அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் ஒரு அடி மூலக்கூறில் குறைக்கடத்தி பொருட்களை டெபாசிட் செய்வதே இதன் செயல்பாட்டு கொள்கை.

சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி என்பது ஒரு குறிப்பிட்ட படிக நோக்குநிலை மற்றும் அடி மூலக்கூறு மற்றும் வெவ்வேறு தடிமன் போன்ற அதே படிக நோக்குநிலையின் எதிர்ப்பைக் கொண்ட சிலிக்கான் ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறில் நல்ல லட்டு கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைக் கொண்ட படிகத்தின் ஒரு அடுக்கை வளர்ப்பது.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் சிறப்பியல்புகள்:

●  குறைந்த (உயர்) எதிர்ப்பு அடி மூலக்கூறில் உயர் (குறைந்த) எதிர்ப்பு எபிடாக்சியல் அடுக்கின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி

●  P (N) வகை அடி மூலக்கூறில் N (P) வகை எபிடாக்சியல் லேயரின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி

Mas மாஸ்க் தொழில்நுட்பத்துடன் இணைந்து, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஒரு குறிப்பிட்ட பகுதியில் செய்யப்படுகிறது

●  எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது தேவைக்கேற்ப ஊக்கமருந்துகளின் வகை மற்றும் செறிவு மாற்றப்படலாம்

Company மாறி கூறுகள் மற்றும் அல்ட்ரா-மெல்லிய அடுக்குகளுடன் பன்முகத்தன்மை, மல்டி-லேயர், பல-கூறு கலவைகளின் வளர்ச்சி

At அணு-நிலை அளவு தடிமன் கட்டுப்பாட்டை அடையலாம்

●  ஒற்றை படிகங்களாக இழுக்க முடியாத பொருட்களை வளர்க்கவும்

குறைக்கடத்தி தனித்துவமான கூறுகள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம் தேவைப்படுகிறது. குறைக்கடத்திகள் என்-வகை மற்றும் பி-வகை அசுத்தங்களைக் கொண்டிருப்பதால், பல்வேறு வகையான சேர்க்கைகள் மூலம், குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் பல்வேறு செயல்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் எளிதாக அடைய முடியும்.

சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி முறைகளை நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி, திரவ கட்ட எபிடாக்ஸி மற்றும் திட கட்ட எபிடாக்ஸி என பிரிக்கலாம். தற்போது, ​​படிக ஒருமைப்பாடு, சாதன அமைப்பு பல்வகைப்படுத்தல், எளிய மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய சாதனம், தொகுதி உற்பத்தி, தூய்மை உத்தரவாதம் மற்றும் சீரான தன்மை ஆகியவற்றின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேதியியல் நீராவி படிவு வளர்ச்சி முறை சர்வதேச அளவில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி

நீராவி கட்ட எபிடாக்சி ஒற்றை படிக சிலிக்கான் செதில் மீது ஒற்றை படிக அடுக்கை மீண்டும் வளர்த்து, அசல் லட்டு மரபுரிமையை பராமரிக்கிறது. நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி வெப்பநிலை குறைவாக உள்ளது, முக்கியமாக இடைமுகத்தின் தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக. நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸிக்கு ஊக்கமருந்து தேவையில்லை. தரத்தைப் பொறுத்தவரை, நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி நல்லது, ஆனால் மெதுவாக உள்ளது.

வேதியியல் நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸிக்கு பயன்படுத்தப்படும் உபகரணங்கள் பொதுவாக எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை என்று அழைக்கப்படுகின்றன. இது பொதுவாக நான்கு பகுதிகளால் ஆனது: ஒரு நீராவி கட்ட கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, மின்னணு கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, உலை உடல் மற்றும் வெளியேற்ற அமைப்பு.

எதிர்வினை அறையின் கட்டமைப்பின் படி, இரண்டு வகையான சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அமைப்புகள் உள்ளன: கிடைமட்ட மற்றும் செங்குத்து. கிடைமட்ட வகை அரிதாகவே பயன்படுத்தப்படுகிறது, மற்றும் செங்குத்து வகை பிளாட் தட்டு மற்றும் பீப்பாய் வகைகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது. செங்குத்து எபிடாக்சியல் உலையில், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது அடித்தளம் தொடர்ந்து சுழல்கிறது, எனவே சீரான தன்மை நன்றாக இருக்கும் மற்றும் உற்பத்தி அளவு பெரியதாக இருக்கும்.

உலை உடல் ஒரு உயர் தூய்மை கிராஃபைட் தளமாகும், இது பலகோண கூம்பு பீப்பாய் வகை கொண்டது, இது உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் மணியில் இடைநீக்கம் செய்யப்பட்டதாக சிறப்பாக சிகிச்சையளிக்கப்பட்டுள்ளது. சிலிக்கான் செதில்கள் அடிவாரத்தில் வைக்கப்பட்டு விரைவாகவும் சமமாகவும் அகச்சிவப்பு விளக்குகளைப் பயன்படுத்துகின்றன. மத்திய அச்சு சுழற்றி கண்டிப்பாக இரட்டை சீல் செய்யப்பட்ட வெப்ப-எதிர்ப்பு மற்றும் வெடிப்பு-ஆதாரம் கட்டமைப்பை உருவாக்குகிறது.

உபகரணங்களின் செயல்பாட்டு கொள்கை பின்வருமாறு:

●  மணி ஜாடியின் மேற்புறத்தில் உள்ள வாயு நுழைவாயிலில் இருந்து எதிர்வினை வாயு வினை அறைக்குள் நுழைந்து, ஒரு வட்டத்தில் அமைக்கப்பட்ட ஆறு குவார்ட்ஸ் முனைகளிலிருந்து ஸ்ப்ரே, குவார்ட்ஸ் பேஃபிளால் தடுக்கப்பட்டு, அடிப்பகுதிக்கும் மணி ஜாடிக்கும் இடையே கீழ்நோக்கி நகர்ந்து, எதிர்வினையாற்றுகிறது. அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வைப்புகளில் மற்றும் சிலிக்கான் செதில் மேற்பரப்பில் வளரும், மற்றும் எதிர்வினை வால் வாயு கீழே வெளியேற்றப்படுகிறது.

●  வெப்பநிலை விநியோகம் 2061 வெப்பமாக்கல் கொள்கை: சுழல் காந்தப்புலத்தை உருவாக்க தூண்டல் சுருள் வழியாக அதிக அதிர்வெண் மற்றும் உயர் மின்னோட்டம் செல்கிறது. அடித்தளம் ஒரு கடத்தி, இது ஒரு சுழல் காந்தப்புலத்தில் உள்ளது, இது ஒரு தூண்டப்பட்ட மின்னோட்டத்தை உருவாக்குகிறது, மேலும் மின்னோட்டம் அடித்தளத்தை வெப்பப்படுத்துகிறது.

நீராவி கட்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஒரு படிக கட்டத்துடன் தொடர்புடைய படிகங்களின் மெல்லிய அடுக்கின் வளர்ச்சியை அடைய ஒரு குறிப்பிட்ட செயல்முறை சூழலை வழங்குகிறது, இது ஒற்றை படிக மூழ்கின் செயல்பாட்டிற்கான அடிப்படை தயாரிப்புகளை உருவாக்குகிறது. ஒரு சிறப்பு செயல்முறையாக, வளர்ந்த மெல்லிய அடுக்கின் படிக அமைப்பு ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறின் தொடர்ச்சியாகும், மேலும் அடி மூலக்கூறின் படிக நோக்குநிலையுடன் தொடர்புடைய உறவைப் பராமரிக்கிறது.

குறைக்கடத்தி அறிவியல் மற்றும் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியில், நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி ஒரு முக்கிய பங்கைக் கொண்டுள்ளது. இந்த தொழில்நுட்பம் Si குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் தொழில்துறை உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

வாயு கட்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி முறை

எபிடாக்சியல் கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள்:

●  பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் மூலங்கள் SiH4, SiH2Cl2, SiHCl3 மற்றும் SiCL4 ஆகும். அவற்றில், SiH2Cl2 என்பது அறை வெப்பநிலையில் உள்ள வாயு, பயன்படுத்த எளிதானது மற்றும் குறைந்த எதிர்வினை வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளது. இது ஒரு சிலிக்கான் மூலமாகும், இது சமீபத்திய ஆண்டுகளில் படிப்படியாக விரிவாக்கப்பட்டது. SiH4 ஒரு வாயுவும் கூட. சிலேன் எபிடாக்ஸியின் பண்புகள் குறைந்த எதிர்வினை வெப்பநிலை, அரிக்கும் வாயு இல்லாதது மற்றும் செங்குத்தான தூய்மையற்ற விநியோகத்துடன் ஒரு எபிடாக்சியல் அடுக்கைப் பெறலாம்.

● SIHCL3 மற்றும் SICL4 அறை வெப்பநிலையில் திரவங்கள். எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி வெப்பநிலை அதிகமாக உள்ளது, ஆனால் வளர்ச்சி விகிதம் வேகமானது, சுத்திகரிக்க எளிதானது மற்றும் பயன்படுத்த பாதுகாப்பானது, எனவே அவை மிகவும் பொதுவான சிலிக்கான் மூலங்கள். SICL4 பெரும்பாலும் ஆரம்ப நாட்களில் பயன்படுத்தப்பட்டது, மேலும் SIHCL3 மற்றும் SIH2Cl2 ஆகியவற்றின் பயன்பாடு சமீபத்தில் அதிகரித்துள்ளது.

●  SiCl4 போன்ற சிலிக்கான் மூலங்களின் ஹைட்ரஜன் குறைப்பு வினையின் △H மற்றும் SiH4 இன் வெப்பச் சிதைவு எதிர்வினை நேர்மறையாக இருப்பதால், வெப்பநிலையை அதிகரிப்பது சிலிக்கான் படிவதற்கு உகந்ததாக இருப்பதால், அணு உலை சூடாக்கப்பட வேண்டும். வெப்பமூட்டும் முறைகளில் முக்கியமாக உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பம் மற்றும் அகச்சிவப்பு கதிர்வீச்சு வெப்பமாக்கல் ஆகியவை அடங்கும். வழக்கமாக, சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறை வைப்பதற்கு உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டால் செய்யப்பட்ட ஒரு பீடம் குவார்ட்ஸ் அல்லது துருப்பிடிக்காத எஃகு எதிர்வினை அறையில் வைக்கப்படுகிறது. சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் லேயரின் தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக, கிராஃபைட் பீடத்தின் மேற்பரப்பு SiC உடன் பூசப்படுகிறது அல்லது பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் படத்துடன் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது.

தொடர்புடைய உற்பத்தியாளர்கள்:

●  சர்வதேசம்: அமெரிக்காவின் CVD உபகரண நிறுவனம், அமெரிக்காவின் GT நிறுவனம், பிரான்சின் Soitec நிறுவனம், பிரான்சின் AS நிறுவனம், அமெரிக்காவின் Proto Flex நிறுவனம், அமெரிக்காவின் Kurt J. Lesker நிறுவனம், அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ் நிறுவனம் அமெரிக்கா.

● சீனா: 48 வது இன்ஸ்டிடியூட் ஆப் சீனா எலெக்ட்ரானிக்ஸ் டெக்னாலஜி குழுமம், கிங்டாவோ சைருயிடா, ஹெஃபீ கெஜிங் மெட்டீரியல் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட்,VeTek செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட், பெய்ஜிங் ஜின்ஷெங் மைக்ரோனானோ, ஜினான் லிகுவான் எலக்ட்ரானிக் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட்.

திரவ நிலை எபிடாக்ஸி

முக்கிய பயன்பாடு:

திரவ நிலை எபிடாக்ஸி அமைப்பு முக்கியமாக கலவை குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் எபிடாக்சியல் படங்களின் திரவ கட்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் இது ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களின் வளர்ச்சி மற்றும் உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய செயல்முறை கருவியாகும்.

தொழில்நுட்ப அம்சங்கள்:

ஆட்டோமேஷன் அதிக அளவு. ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் தவிர, முழு செயல்முறையும் தானாகவே தொழில்துறை கணினி கட்டுப்பாட்டால் முடிக்கப்படும்.

●  செயல்முறை செயல்பாடுகளை கையாளுபவர்களால் முடிக்க முடியும்.

The கையாளுபவர் இயக்கத்தின் பொருத்துதல் துல்லியம் 0.1 மிமீ க்கும் குறைவாக உள்ளது.

●  உலை வெப்பநிலை நிலையானது மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் வரக்கூடியது. நிலையான வெப்பநிலை மண்டலத்தின் துல்லியம் ±0.5℃ ஐ விட சிறந்தது. குளிரூட்டும் வீதத்தை 0.1～6℃/நிமிடத்திற்குள் சரிசெய்யலாம். குளிரூட்டும் செயல்பாட்டின் போது நிலையான வெப்பநிலை மண்டலம் நல்ல தட்டையான மற்றும் நல்ல சாய்வு நேர்கோட்டுத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.

● சரியான குளிரூட்டும் செயல்பாடு.

● விரிவான மற்றும் நம்பகமான பாதுகாப்பு செயல்பாடு.

உபகரணங்கள் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நல்ல செயல்முறை மீண்டும் நிகழ்தகவு.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை எபிடாக்சியல் கருவி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் சப்ளையர் ஆவார். எங்கள் முக்கிய எபிடாக்சியல் தயாரிப்புகளில் அடங்கும்CVD SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சஸ்செப்டர், SiC பூசப்பட்ட பேரல் சஸ்செப்டர், EPI க்கான SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் SUSSCECTOR, சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு வேஃபர் எபி சுசெப்டர், கிராஃபைட் சுழலும் ரிசீவர், முதலியன வெடெக் குறைக்கடத்தி நீண்டகாலமாக குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் செயலாக்கத்திற்கான மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குவதில் உறுதியாக உள்ளது, மேலும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை ஆதரிக்கிறது. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவதற்கு நாங்கள் மனதார எதிர்பார்க்கிறோம்.

உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், எங்களைத் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

கும்பல்/வாட்ஸ்அப்: +86-180 6922 0752

மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com