SIC பூச்சு ALD SUSSCECTOR

இது குறைக்கடத்திSIC பூச்சு ALD SUSSCECTORஅணு அடுக்கு படிவுகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது (ஆல்ட்) செயல்முறை. அதன் துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு, சீரான வாயு விநியோகம், உயர் வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவை திரைப்பட படிவு செயல்முறையின் சீரான தன்மையையும் உயர் தரத்தையும் உறுதி செய்கின்றன. நீங்கள் மேலும் தெரிந்து கொள்ள விரும்பினால், நீங்கள் உடனடியாக எங்களை அணுகலாம், சரியான நேரத்தில் நாங்கள் உங்களுக்கு பதிலளிப்போம்!

துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு:

SIC பூச்சு ALD SUSSCECTOR பொதுவாக அதிக துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. இது படிவு செயல்முறை முழுவதும் ஒரு சீரான வெப்பநிலை சூழலை பராமரிக்க முடியும், இது படத்தின் சீரான தன்மையையும் தரத்தையும் உறுதிப்படுத்த முக்கியமானது.

சீரான எரிவாயு விநியோகம்:

SIC பூச்சு ALD SUSSCECTOR இன் உகந்த வடிவமைப்பு ALD படிவு செயல்பாட்டின் போது வாயுவின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. அதன் கட்டமைப்பில் பொதுவாக முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் எதிர்வினை வாயுக்களின் சீரான கவரேஜை ஊக்குவிக்க பல சுழலும் அல்லது நகரும் பகுதிகள் அடங்கும்.

உயர் வேதியியல் எதிர்ப்பு:

ஆல்ட் செயல்முறையில் பலவிதமான வேதியியல் வாயுக்கள் இருப்பதால், வேதியியல் வாயுக்களின் அரிப்பு மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களின் செல்வாக்கை எதிர்த்து SIC பூச்சு ALD SUSCECECTOR பொதுவாக அரிப்பு-எதிர்ப்பு பொருட்களால் (பிளாட்டினம், மட்பாண்டங்கள் அல்லது உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் போன்றவை) செய்யப்படுகிறது.

சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்:

வெப்பத்தை திறம்பட நடத்துவதற்கும், நிலையான படிவு வெப்பநிலையை பராமரிப்பதற்கும், SIC பூச்சு ALD SUSSCECTORS பொதுவாக அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் பொருட்களைப் பயன்படுத்துகின்றன. இது உள்ளூர் அதிக வெப்பம் மற்றும் சீரற்ற படிவுகளைத் தவிர்க்க உதவுகிறது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

உற்பத்தி கடைகள்:

குறைக்கடத்தி சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்：