டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) என்றால் என்ன

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி)டான்டலம் (டிஏ) மற்றும் கார்பன் (சி) ஆகியவற்றின் பைனரி கலவை ஆகும், வேதியியல் சூத்திரம் வழக்கமாக டாக் என வெளிப்படுத்தப்படுகிறது (அங்கு எக்ஸ் 0.4 முதல் 1 வரை இருக்கும்). இது சிறந்த கடினத்தன்மை, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் உலோக கடத்துத்திறன் கொண்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாக வகைப்படுத்தப்பட்டுள்ளது.

1. டான்டலம் கார்பைட்டின் அமைப்பு

1.1 வேதியியல் கலவை மற்றும் படிக அமைப்பு

டான்டலம் கார்பைடு என்பது டான்டலம் (டிஏ) மற்றும் கார்பன் (சி) ஆகியவற்றைக் கொண்ட ஒரு பைனரி பீங்கான் கலவை ஆகும்.

அதன் படிக அமைப்பு முகத்தை மையமாகக் கொண்ட க்யூபிக் (எஃப்.சி.சி) ஆகும், இது சிறந்த கடினத்தன்மையையும் ஸ்திரத்தன்மையையும் தருகிறது.

1.2 பிணைப்பு பண்புகள்

வலுவான கோவலன்ட் பிணைப்பு டான்டலம் கார்பைடு மிகவும் கடினமாகவும் சிதைவுக்கு எதிர்ப்பாகவும் ஆக்குகிறது.

TAC மிகக் குறைந்த பரவல் குணகம் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் கூட நிலையானதாக உள்ளது.

ஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு

2. டான்டலம் கார்பைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள்

2.1 அல்ட்ரா-உயர் உருகும் புள்ளி

3,880 ° C உருகும் புள்ளியுடன், டான்டலம் கார்பைடு எந்தவொரு அறியப்பட்ட பொருளின் மிக உயர்ந்த உருகும் புள்ளிகளில் ஒன்றாகும், இதன் விளைவாக தீவிர வெப்பநிலையில் சிறந்த ஸ்திரத்தன்மை ஏற்படுகிறது.

2.2 சிறந்த கடினத்தன்மை

ஏறக்குறைய 9-10 இன் MOHS கடினத்தன்மையுடன், இது வைரத்திற்கு அருகில் உள்ளது, எனவே உடைகள் எதிர்ப்பு பூச்சுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

2.3 நல்ல மின் கடத்துத்திறன்

பெரும்பாலான பீங்கான் பொருட்களைப் போலல்லாமல், TAC ஒரு உயர் உலோக போன்ற மின் கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது சில மின்னணு சாதனங்களில் உள்ள பயன்பாடுகளுக்கு மதிப்புமிக்கதாக அமைகிறது.

2.4 அரிப்பு மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு

TAC அமில அரிப்புக்கு மிகவும் எதிர்க்கும் மற்றும் நீண்ட காலத்திற்கு கடுமையான சூழல்களில் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது. இருப்பினும், TAC 1,500. C க்கு மேல் காற்றில் டான்டலம் பென்டாக்சைடு (Ta₂o₅) க்கு ஆக்ஸிஜனேற்றலாம். 

3. பொதுவான முடிக்கப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு தயாரிப்புகள்

3.1 டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட பாகங்கள்

● சி.வி.டி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சசெப்டர்: Used in semiconductor epitaxy and high temperature processing.

● டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்கள்: அதிக வெப்பநிலை உலைகள் மற்றும் செதில் செயலாக்க அறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டுகளில் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட நுண்ணிய கிராஃபைட் அடங்கும், இது எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சியின் போது வாயு ஓட்டத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், வெப்ப மன அழுத்தத்தைக் குறைப்பதன் மூலமும், வெப்ப சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், தூய்மையற்ற பரவலைத் தடுப்பதன் மூலமும் செயல்முறை செயல்திறன் மற்றும் படிக தரத்தை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

● டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சுழற்சி தட்டு: வெட்கெமெமிகோனின் டிஏசி பூசப்பட்ட சுழற்சி தட்டு 5 பிபிஎம் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் மற்றும் அடர்த்தியான மற்றும் சீரான கட்டமைப்பைக் கொண்ட அதிக தூய்மை கலவையைக் கொண்டுள்ளது, இது எல்.பி.இ ஈபிஐ சிஸ்டம், ஐக்ஸ்ட்ரான் சிஸ்டம், நுஃப்லேர் சிஸ்டம், டெல் சி.வி.டி அமைப்பு, வெகோ சிஸ்டம், டிஎஸ்ஐ சிஸ்டம் ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அமைப்புகள், டிஎஸ்ஐ அமைப்புகள்.

● டாக் பூசப்பட்ட ஹீட்டர்: TAC பூச்சு மிக உயர்ந்த உருகும் புள்ளியின் கலவையானது (~ 3880 ° C) இது மிக அதிக வெப்பநிலையில் செயல்பட அனுமதிக்கிறது, குறிப்பாக உலோக ஆர்கானிக் வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்முறையில் காலியம் நைட்ரைடு (GAN) எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியில்.

● டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சிலுவை: சி.வி.டி டிஏசி பூசப்பட்ட சிலுவைகள் பெரும்பாலும் பி.வி.டி மூலம் எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகங்களின் வளர்ச்சியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.

3.2 வெட்டும் கருவிகள் மற்றும் உடைகள்-எதிர்ப்பு கூறுகள்

● டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கார்பைடு வெட்டும் கருவிகள்: கருவி வாழ்க்கை மற்றும் எந்திர துல்லியத்தை மேம்படுத்தவும்.

● விண்வெளி முனைகள் மற்றும் வெப்பக் கவசங்கள்: தீவிர வெப்பம் மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் பாதுகாப்பை வழங்குதல்.

3.3 டான்டலம் கார்பைடு உயர் செயல்திறன் பீங்கான் தயாரிப்புகள்

● விண்வெளி வெப்ப பாதுகாப்பு அமைப்புகள் (டி.பி.எஸ்): விண்கலம் மற்றும் ஹைப்பர்சோனிக் வாகனங்களுக்கு.

● அணு எரிபொருள் பூச்சுகள்: அணு எரிபொருள் துகள்களை அரிப்பிலிருந்து பாதுகாக்கவும்.

4. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் டான்டலம் கார்பைடு பயன்பாடுகள்

4.1 எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கு டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கேரியர்கள் (சசெப்டர்)

பங்கு: கிராஃபைட் கேரியர்களுக்கு பயன்படுத்தப்படும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகள் வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) மற்றும் உலோக-கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (எம்.ஓ.சி.வி.டி) செயல்முறைகளில் வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன.

நன்மை: குறைக்கப்பட்ட செயல்முறை மாசுபாடு மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட கேரியர் வாழ்க்கை.

4.2 எட்ச் மற்றும் படிவு கூறுகள்

செதில் பரிமாற்ற மோதிரங்கள் மற்றும் கேடயங்கள்: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பிளாஸ்மா எட்ச் அறைகளின் ஆயுள் மேம்படுத்துகிறது.

நன்மை: ஆக்கிரமிப்பு பொறித்தல் சூழல்களைத் தாங்கி, மாசுபடுத்தும் மழைப்பொழிவைக் குறைக்கிறது.

4.3 உயர் வெப்பநிலை வெப்பமூட்டும் கூறுகள்

எஸ்.ஐ.சி சி.வி.டி வளர்ச்சியில் பயன்பாடு: டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வெப்பக் கூறுகள் சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்ஐசி) வேஃபர் புனையல் செயல்முறையின் ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன.

4.4 குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களுக்கான பாதுகாப்பு பூச்சுகள்

உங்களுக்கு ஏன் டாக் பூச்சு தேவை?  குறைக்கடத்தி உற்பத்தி தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்களை உள்ளடக்கியது, மேலும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகள் உபகரணங்களின் ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் வாழ்நாளை மேம்படுத்துவதில் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

5. ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்செமிகான்?

வெட்கெமிகான் ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுசீனாவில் குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு பொருட்கள். எங்கள் முக்கிய தயாரிப்புகளில் சி.வி.டி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட பாகங்கள், எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சிக்கான சின்டர்டு டிஏசி பூசப்பட்ட பாகங்கள் அல்லது குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி செயல்முறைகள் அடங்கும். தொடர்ச்சியான ஆர் அன்ட் டி மற்றும் தொழில்நுட்ப மறு செய்கை மூலம் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழிலில் ஒரு கண்டுபிடிப்பாளராகவும் தலைவராகவும் வெட்கெமிகான் உறுதிபூண்டுள்ளார்.