உயர்-தூய்மை CVD SiC பூசப்பட்ட செதில் படகு

1. முக்கிய செயல்திறன் காரணிகள்?

• 7N மட்டத்தில் தூய்மை:நாங்கள் 99.99999% (7N) தூய்மைத் தரத்தை பராமரிக்கிறோம். லாங் டிரைவ்-இன் அல்லது ஆக்சிடேஷன் படிகளின் போது உலோக அசுத்தங்கள் செதில்களுக்குள் இடம்பெயர்வதைத் தடுப்பதற்கு இது பேச்சுவார்த்தைக்கு உட்பட்டது அல்ல.
• CVD சீல் (50-300μm):நாங்கள் மேற்பரப்பை "பெயிண்ட்" செய்வதில்லை. எங்கள் 50-300μm CVD SiC அடுக்கு அடி மூலக்கூறு மீது மொத்த முத்திரையை உருவாக்குகிறது. இது போரோசிட்டியை நீக்குகிறது, அதாவது வினைத்திறன் வாயுக்கள் அல்லது ஆக்ரோஷமான SPM/DHF சுத்தம் செய்த பிறகும் படகு இரசாயனங்கள் அல்லது துகள்களை வெளியேற்றாது.
• வெப்ப விறைப்பு:சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இயற்கையான குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் இந்தப் படகுகளை நேராக வைத்திருக்கிறது. ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (ஆர்டிஏ) போது அவை தொய்வடையாது அல்லது முறுக்கப்படாது, ரோபோ கை எப்போதும் நெரிசல் இல்லாமல் சரியான ஸ்லாட்டைத் தாக்கும்.
• நீடித்த மகசூல்:மேற்பரப்பு குறைந்த துணை தயாரிப்பு ஒட்டுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. குறைவான பில்டப் என்பது உங்கள் செதில்களைத் தாக்கும் குறைவான துகள்கள் மற்றும் ஈரமான-பெஞ்ச் துப்புரவு சுழற்சிகளுக்கு இடையில் அதிக ஓட்டங்கள்.
• தனிப்பயன் வடிவியல்:ஒவ்வொரு ஃபேபிலும் அதன் சொந்த அமைப்பு உள்ளது. நீங்கள் கிடைமட்ட உலை அல்லது செங்குத்து 300 மிமீ தானியங்கு வரியை இயக்கினாலும், உங்கள் குறிப்பிட்ட பிட்ச் மற்றும் ஸ்லாட் வரைபடங்களுக்கு இவற்றை நாங்கள் இயந்திரமாக்குகிறோம்.

2. செயல்முறை இணக்கம்

• வளிமண்டலம்:TMGa, AsH₃ மற்றும் அதிக செறிவு O₂ சூழல்களுக்கு எதிர்ப்பு.
• வெப்ப வீச்சு:1400°C வரை நிலையான நீண்ட கால செயல்பாடு.
• பொருட்கள்:லாஜிக், பவர் மற்றும் அனலாக் செதில்களின் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் செயல்முறைகளுக்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.