PZT பைசோ எலக்ட்ரிக் வேஃபர்ஸ்: அடுத்த ஜென் MEMSக்கான உயர் செயல்திறன் தீர்வுகள்

விரைவான MEMS (மைக்ரோ-எலக்ட்ரோமெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ்) பரிணாம வளர்ச்சியின் சகாப்தத்தில், சரியான பைசோ எலக்ட்ரிக் பொருளைத் தேர்ந்தெடுப்பது சாதனத்தின் செயல்திறனுக்கான ஒரு தயாரிப்பாக அல்லது உடைக்க முடிவாகும். PZT (Lead Zirconate Titanate) மெல்லிய-படச் செதில்கள் AlN (அலுமினியம் நைட்ரைடு) போன்ற மாற்றுகளை விட முதன்மையான தேர்வாக வெளிவந்துள்ளன, இது அதிநவீன சென்சார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்களுக்கு சிறந்த எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் இணைப்பை வழங்குகிறது.

Vetek செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையில் முன்னணி PZT-on-Si/SOI செதில்களை வழங்குகிறது. மேம்பட்ட மெல்லிய-பட படிவுகளை மேம்படுத்துவதன் மூலம், நாங்கள் விதிவிலக்கான திரைப்பட சீருடை மற்றும் படிக தரத்தை வழங்குகிறோம், குறிப்பாக திரைப்பட சோர்வு மற்றும் செயல்திறன் சிதைவு போன்ற பொதுவான தொழில் தடைகளை சமாளிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

முக்கிய கட்டிடக்கலை: Pt மற்றும் PZT ஆகியவற்றின் சினெர்ஜி

பல அடுக்கு அடுக்கின் ஒருமைப்பாடு ஃபெரோஎலக்ட்ரிக் செயல்திறனுக்கு அடிப்படையாகும். எங்கள் செதில்கள் உலோக மின்முனைகள் மற்றும் பீங்கான் மெல்லிய படங்களின் துல்லியமான-பொறிக்கப்பட்ட அடுக்கைப் பயன்படுத்துகின்றன:

• PZT பைசோ எலக்ட்ரிக் கோர்:எங்கள் செயல்முறை கடுமையான படிக நோக்குநிலை கட்டுப்பாட்டில் கவனம் செலுத்துகிறது. முரால்ட் (2000) படி, (100) அல்லது (001) விருப்பமான நோக்குநிலையுடன் கூடிய PZT குறிப்பிடத்தக்க அளவு அதிக நீளமான பைசோ எலக்ட்ரிக் மாறிலியை அளிக்கிறது. Vetek இன் உகந்த படிவு ஒரு வலுவான (100) நோக்குநிலையை உறுதி செய்கிறது, மைக்ரான்-நிலை தடிமன்களில் கூட பாரிய ஆற்றல் வெளியீட்டை செயல்படுத்துகிறது.
• முக்கியமான Pt மின்முனை அடுக்கு:பிளாட்டினம் (Pt) ஆனது PZTக்கான மின் வழித்தடமாகவும் வளர்ச்சி வார்ப்புருவாகவும் செயல்படுகிறது. ஆக்ஸிஜன் நிறைந்த சூழலில் அதிக கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மைக்கு பெயர் பெற்ற Pt என்பது கீழ் மின்முனைகளுக்கான தொழில்துறை தங்கத் தரமாகும் (தகாஹாஷி மற்றும் பலர்., 1994). PZT அணுக்கருவுக்கு சிறந்த இடைமுகத்தை வழங்க, மிகக் குறைந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை (Ra <= 1.0 nm) பராமரிக்கிறோம்.
• ஒருங்கிணைந்த தாங்கல் அடுக்குகள்:PZT மற்றும் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையே உள்ள அடிப்படை பரவலை அடக்க, நாங்கள் ஒரு துல்லியமான தாங்கல் அடுக்கு அமைப்பை இணைக்கிறோம். இந்த அடுக்குகள் இயற்பியல் தடையாகவும் அழுத்த-தடுப்பாகவும் செயல்படுகின்றன, ஃபிலிம் டிலாமினேஷனைத் தடுக்கின்றன மற்றும் சிக்கலான MEMS பொறிப்பின் போது முழு செதில்களின் இயந்திர நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.

இலக்கு பயன்பாடுகள்: PZT எங்கே பயன்படுத்தப்படுகிறது?

துல்லியமான மெக்கானிக்கல்-டு-எலக்ட்ரிகல் சென்சிங் அல்லது எலக்ட்ரிக்கல்-டு-மெக்கானிக்கல் ஆக்சுவேஷன் தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு உயர் செயல்திறன் கொண்ட PZT செதில்கள் அவசியம்:

• நுகர்வோர் மின்னணுவியல் (PMUT):இலக்கு வாடிக்கையாளர்களில் ஸ்மார்ட்போன் தொகுதி உற்பத்தியாளர்கள் மற்றும் பயோமெட்ரிக் பாதுகாப்பு நிறுவனங்கள் அடங்கும். பயன்படுத்து பாரம்பரிய தீர்வுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​PZT-அடிப்படையிலான PMUTகள் ஆழமான ஊடுருவல் மற்றும் உயர் தெளிவுத்திறனை வழங்குகின்றன (அக்பரி மற்றும் பலர், 2016), பாதுகாப்பான 3D பயோமெட்ரிக் அங்கீகாரத்தை செயல்படுத்துகிறது.
• தொலைத்தொடர்புகள் (RF MEMS):இலக்கு வாடிக்கையாளர்களில் RF முன்-இறுதி சிப் வடிவமைப்பாளர்கள் மற்றும் 5G/6G உள்கட்டமைப்பு வழங்குநர்கள் உள்ளனர். வழக்கைப் பயன்படுத்தவும்: ட்யூன் செய்யக்கூடிய வடிப்பான்களை உருவாக்க PZT இன் உயர் எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் இணைப்பு குணகத்தைப் பயன்படுத்துதல். இது சிக்னல் இழப்பைக் குறைக்கிறது மற்றும் அலைவரிசையை விரிவுபடுத்துகிறது, 5G நெட்வொர்க்குகளில் ஸ்பெக்ட்ரம் நெரிசலை நிர்வகிப்பதற்கு முக்கியமானது.
• தொழில்துறை அச்சிடுதல்:இலக்கு வாடிக்கையாளர்களில் தொழில்துறை இன்க்ஜெட் பிரிண்டர் உற்பத்தியாளர்கள் மற்றும் நெகிழ்வான காட்சி (OLED) தயாரிப்பாளர்கள் உள்ளனர். வழக்கைப் பயன்படுத்தவும்: PZT செதில்கள் அதி-வேக ஆக்சுவேட்டர்களில் மைக்ரோ-மெஷின் செய்யப்படுகின்றன. மை அறையை உடனடியாக சிதைப்பதன் மூலம், அவை பைக்கோ-லிட்டர் துல்லியமான திரவ விநியோகத்தை அடைகின்றன, இது OLED உற்பத்தி மற்றும் உயர்-ரெஸ் 3D அச்சிடுதலுக்கான மூலக்கல்லாகும்.
• சுகாதாரம்:இலக்கு வாடிக்கையாளர்களில் மருத்துவ சாதனம் R&D மற்றும் கையடக்க அல்ட்ராசவுண்ட் ஸ்டார்ட்அப்கள் அடங்கும். வழக்கைப் பயன்படுத்தவும்: உள் இமேஜிங்கிற்கான இன்ட்ராவாஸ்குலர் அல்ட்ராசவுண்ட் (IVUS) ஆய்வுகளை ஓட்டுதல். இலக்கு மருந்து விநியோகத்திற்கான உயர் செயல்திறன், அமைதியான மருத்துவ நெபுலைசர்களின் இதயமாகவும் இது செயல்படுகிறது.
• வாகனம்:இலக்கு வாடிக்கையாளர்களில் தன்னாட்சி ஓட்டுநர் தீர்வு வழங்குநர்கள் மற்றும் ஸ்மார்ட் காக்பிட் HMI டெவலப்பர்கள் உள்ளனர். வழக்கைப் பயன்படுத்தவும்: ஆட்டோமோட்டிவ் அல்ட்ராசோனிக் சென்சார்களின் கண்டறிதல் வரம்பை நீட்டித்தல். கூடுதலாக, இது தொடுதிரைகளில் ஹாப்டிக் கருத்துக்களை வழங்குகிறது, உடல் பொத்தான்களின் தொட்டுணரக்கூடிய உணர்வை உருவகப்படுத்துகிறது.

Vetek செமிகண்டக்டரை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

• உயர்ந்த அளவுருக்கள்:பைசோ எலக்ட்ரிக் மாறிலி d31 பொதுவாக 200 pC/N ஐ அடைகிறது, e31 குணகம் -15 C/m2 இல் நிலையானது.
• பல்துறை அடி மூலக்கூறுகள்:6-அங்குல மற்றும் 8-அங்குல வடிவங்களில் கிடைக்கிறது, இதில் உயர்-எதிர்ப்பு SOI அடி மூலக்கூறுகள் (> 5000 ohm/cm) அடங்கும்.
• பெஸ்போக் தனிப்பயனாக்கம்:வாடிக்கையாளருக்கு வழங்கப்படும் வேஃபர்களை (ஃபவுண்டரி சேவை) நாங்கள் ஆதரிக்கிறோம், மேலும் உங்கள் குறிப்பிட்ட அதிர்வு அதிர்வெண் தேவைகளைப் பொருத்த PZT மற்றும் Pt அடுக்குகளின் தடிமன் விகிதத்தைத் தனிப்பயனாக்கலாம்.

ஆசிரியர்:செரா லீ

கல்வி குறிப்புகள்:

[1] முரால்ட், பி. (2000). "மைக்ரோசென்சர்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்களுக்கான PZT மெல்லிய படங்கள்: சிக்கல்கள் மற்றும் முன்னேற்றம்."மைக்ரோமெக்கானிக்ஸ் மற்றும் மைக்ரோ இன்ஜினியரிங் ஜர்னல்.

[2] ட்ரோலியர்-மெக்கின்ஸ்ட்ரி, எஸ்., மற்றும் பலர். (2018) "MEMSக்கான பைசோ எலக்ட்ரிக் தின் பிலிம்ஸ்."பொருட்கள் ஆராய்ச்சியின் வருடாந்திர ஆய்வு.

[3] அக்பரி, எம்., மற்றும் பலர். (2016) "மருத்துவ இமேஜிங்கிற்கான பைசோ எலக்ட்ரிக் மைக்ரோமச்சினட் அல்ட்ராசோனிக் டிரான்ஸ்யூசர்கள் (pMUTs)."பைசோ எலக்ட்ரிக் MEMS ரெசனேட்டர்களில்.