ஏன் முன்னணி ESC உற்பத்தியாளர்கள் அலுமினியம் நைட்ரைடு மட்பாண்டங்களுக்கு மாறுகிறார்கள்

நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், மின்னியல் சக் (ESC) உள்ளே இருக்கும் பீங்கான் தட்டு ஒரு எளிய ஆதரவை விட அதிகமாக உள்ளது. இது செதில் வெப்பநிலை சீரான தன்மை, கிளாம்பிங் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்முறை மீண்டும் நிகழ்தல் ஆகியவற்றின் நடைமுறை வரம்புகளை அமைக்கிறது. சாதன முனைகள் சுருங்கி, வெப்ப வரவு செலவுகள் இறுக்கமடைவதால், வழக்கமான அலுமினா (Al₂O₃) அடி மூலக்கூறுகள் பிளாஸ்மா எட்ச், சிவிடி மற்றும் மேம்பட்ட லித்தோகிராஃபி கருவிகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியாமல் போகிறது. இந்த உண்மை ESC உற்பத்தியாளர்களை அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) மட்பாண்டங்களை நோக்கித் தள்ளுகிறது.

1.அடி மூலக்கூறு சக் செயல்திறனை தீர்மானிக்கிறது

எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸை வடிவமைத்து உருவாக்கும் நிறுவனங்களுக்கு, செராமிக் அடுக்கு என்பது செதில் கொண்ட முதன்மை வெப்ப மற்றும் மின் இடைமுகமாகும். நம்பகமான மின்னியல் க்ளாம்பிங்கிற்குத் தேவையான மின்கடத்தா பண்புகளை பராமரிக்கும் போது இது விரைவான, சீரான வெப்ப பரிமாற்றத்தை வழங்க வேண்டும். மேம்பட்ட செயல்முறை முனைகளில், சிறிய வெப்பநிலை சாய்வு அல்லது வேஃபர் போர்பேஜ் கூட மகசூல் இழப்பாக மொழிபெயர்க்கலாம். எனவே பொருள் தேர்வு இனி விருப்பமானது அல்ல - இது அலுமினாவின் இயற்பியல் வரம்புகள் மற்றும் AlN இன் தெளிவான நன்மைகளால் இயக்கப்படும் ஒரு முக்கிய பொறியியல் முடிவாகும்.

2.அலுமினா எதிராக அலுமினியம் நைட்ரைடு: ஒரு தெளிவான தொழில்நுட்ப வேறுபாடு

ESC பொறியாளர்கள் AlN ஐத் தேர்ந்தெடுக்கிறார்கள், ஏனெனில் இது உயர் செயல்திறன் பயன்பாடுகளில் அலுமினாவின் குறைபாடுகளை நேரடியாக நிவர்த்தி செய்கிறது. கீழே உள்ள ஒப்பீடு மிகவும் பொருத்தமான வேறுபாடுகளை எடுத்துக்காட்டுகிறது:

வெப்ப கடத்துத்திறன் இடைவெளி தீர்க்கமானது. அதிக கடத்துத்திறன் இறுக்கமான வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாடு, வேகமான வெப்பப் பதில் மற்றும் பெரிய செதில்களில் சிறந்த செயல்முறை சீரானதாக மொழிபெயர்க்கிறது - முனைகள் 5 nm மற்றும் 3 nm க்குக் கீழே நகரும்போது பேச்சுவார்த்தைக்குட்படாத நன்மைகள்.

3.ESC உற்பத்தியாளர்களுக்கு வெற்று அடி மூலக்கூறுக்கு அப்பால் என்ன தேவை

உயர்-தூய்மை AlN தட்டு என்பது தொடக்கப் புள்ளி மட்டுமே. உற்பத்திக்கு தயாராக இருக்கும் ESC இல் வெற்றிகரமாக ஒருங்கிணைக்க, பீங்கான் சப்ளையரிடமிருந்து கூடுதல் திறன்கள் தேவை:

1. ஹீட்டர்கள் மற்றும் மின்முனைகளுக்கான துல்லிய உலோகமயமாக்கல்.சிக்கலான டங்ஸ்டன் அல்லது மாலிப்டினம் சுற்று வடிவங்கள் அச்சிடப்பட்ட, பூசப்பட்ட அல்லது வலுவான ஒட்டுதல் மற்றும் நிலையான கடத்துத்திறனுடன் இணைக்கப்பட வேண்டும். சக்கின் வாழ்நாள் முழுவதும் சீரான மின் செயல்பாட்டிற்கு, சின்டரிங்கில் இருந்து தப்பிக்கும் தடிமனான-திரைப்படம் மற்றும் HTCC செயல்முறைகள் அவசியம்.

2. நானோ அளவிலான மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் தட்டையானது.செதில்-தொடர்பு முகத்திற்கு ஆப்டிகல் பிளாட்னெஸ் (டிடிவி பொதுவாக 1 µm க்கும் குறைவானது) மற்றும் இறுக்கமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மைக்ரோ-கடினத்தன்மை தேவை. 10 nm கீழ் தொடர்ந்து Ra உடன் மேற்பரப்பை முடிப்பது வெப்ப தொடர்பை மேம்படுத்தி செதில் ஒட்டும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

3. உலோக அடித்தளங்களுக்கு நம்பகமான பிணைப்பு.சப்ளையர் முன்-பிரேஸ் செய்யப்பட்ட AlN-துருப்பிடிக்காத-எஃகு அசெம்பிளிகளை வழங்கினாலும் அல்லது வாடிக்கையாளர் பிணைப்புக்கான மேற்பரப்புகளைத் தயார் செய்தாலும், நீண்ட கால இயந்திர ஒருமைப்பாட்டை உறுதிசெய்ய நிரூபிக்கப்பட்ட வெட்டு வலிமை மற்றும் வெப்ப-சுழற்சி தரவு தேவை.

4. உங்கள் AlN அடி மூலக்கூறு சப்ளையரைக் கேட்பதற்கான முக்கிய கேள்விகள்

தரவுத்தாள்கள் மட்டும் போதாது. ESC பில்டர்கள் பின்வரும் புள்ளிகளில் சாத்தியமான கூட்டாளர்களை அழுத்த வேண்டும்:

1. வெப்ப கடத்துத்திறன் லாட்டிலிருந்து லாட்டிற்கு எவ்வளவு சீரானது, எந்த அளவீட்டு முறைகள் அதை உறுதிப்படுத்துகின்றன?

2. தொடர்புடைய அதிர்வெண்கள் மற்றும் வெப்பநிலையில் மின்கடத்தா மாறிலி மற்றும் இழப்பு டேன்ஜென்ட் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய ஒரு முழுமையான பொருள் குணாதிசய தொகுப்பை வழங்க முடியுமா?

3. என்ன தட்டையான தன்மை (TTV, வில்) மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை (Ra) மதிப்புகள் நிலையானதாக உத்தரவாதம் அளிக்கிறீர்கள்?

4. எந்த உலோகமயமாக்கல் அமைப்புகள் உள்ளன, மற்றும் என்ன ஒட்டுதல் வலிமைகளை (உதாரணமாக, தோல்-சோதனை முடிவுகள்) நீங்கள் நிரூபிக்க முடியும்?

5. ப்ரீ-மெட்டலைசேஷன் அல்லது குறிப்பிட்ட பேஸ்ப்ளேட்டுகளுக்கு பிரேசிங் செய்வது போன்ற துணை-அசெம்பிளி விருப்பங்களை வழங்குகிறீர்களா? இந்த சேவைகள் ஒருங்கிணைப்பு நேரத்தையும் குறைக்கும் அபாயத்தையும் குறைக்கலாம்.

5.முடிவு: அடுத்த தலைமுறை ESC களுக்கான ஒரு மூலோபாய தேர்வாக AlN

அலுமினாவில் இருந்து அலுமினியம் நைட்ரைடுக்கு நகர்வது என்பது மேம்பட்ட முனைகளின் வெப்ப-கட்டுப்பாட்டுத் தேவைகளை இலக்காகக் கொள்ளும்போது ESC உற்பத்தியாளர் எடுக்கக்கூடிய உயர்-செயல்திறன் முடிவுகளில் ஒன்றாகும். எவ்வாறாயினும், மாற்றம் என்பது வெறுமனே பொருள் இடமாற்றம் அல்ல. பீங்கான் செயலாக்கம், துல்லியமான எந்திரம், உலோகமயமாக்கல் மற்றும் செயல்பாட்டு ஒருங்கிணைப்பு ஆகியவற்றைப் புரிந்துகொள்ளும் ஒரு சப்ளையரை இது கோருகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டரில், செமிகண்டக்டர் உபகரண சுற்றுச்சூழல் அமைப்பை உயர் தூய்மை மேம்பட்ட பீங்கான் தீர்வுகள் மற்றும் தேவைப்படும் செயல்முறை சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட தொடர்புடைய பொருட்களுடன் நாங்கள் ஆதரிக்கிறோம். பொருளின் தரம், செயல்முறை இணக்கத்தன்மை மற்றும் நம்பகமான வழங்கல் ஆகியவற்றில் எங்களின் கவனம் ESC மற்றும் உபகரண கூட்டாளர்களுக்கு AlN இன் உள்ளார்ந்த நன்மைகளை நிலையான, அதிக செயல்திறன் கொண்ட சக் வடிவமைப்புகளாக மாற்ற உதவுகிறது.

உங்கள் அடுத்த தலைமுறை மின்னியல் சக் இயங்குதளத்திற்கான AlN அடி மூலக்கூறுகள் அல்லது தொடர்புடைய பீங்கான் கூறுகளை நீங்கள் மதிப்பிடுகிறீர்கள் என்றால், உங்கள் தொழில்நுட்பத் தேவைகள் குறித்து எங்கள் குழுவுடன் விவாதிக்க உங்களை அழைக்கிறோம். உங்கள் வடிவமைப்பு இலக்குகளுக்கு ஏற்ப பொருள் தரவு, திறன் தகவல் மற்றும் பயன்பாட்டு ஆதரவைப் பெற VeTek செமிகண்டக்டரைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.