எல்பிஇ ஹாஃப்மூன் எஸ்.ஐ.சி எபி உலை

எல்பிஇ ஹாஃப்மூன் எஸ்.ஐ.சி எபி உலைஉயர்தர உற்பத்தி செய்வதற்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட சாதனம்சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) எபிடாக்சியல்அடுக்குகள், எபிடாக்சியல் செயல்முறை எல்பிஇ அரை நிலவு எதிர்வினை அறையில் நிகழ்கிறது, அங்கு அடி மூலக்கூறு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் போன்ற தீவிர நிலைமைகளுக்கு வெளிப்படும். எதிர்வினை அறை கூறுகளின் சேவை வாழ்க்கை மற்றும் செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த, வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி)Sic பூச்சுபொதுவாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. 

எல்பிஇ ஹாஃப்மூன் எஸ்.ஐ.சி எபி உலைகூறுகள்:

முதன்மை எதிர்வினை அறை: முக்கிய எதிர்வினை அறை சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) மற்றும் போன்ற உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு பொருட்களால் ஆனதுகிராஃபைட், அவை மிக அதிக வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. இயக்க வெப்பநிலை பொதுவாக 1,400 ° C முதல் 1,600 ° C வரை இருக்கும், இது அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் வளர்ச்சியை ஆதரிக்க முடியும். பிரதான எதிர்வினை அறையின் இயக்க அழுத்தம் 10 க்கு இடையில் உள்ளது^-3மற்றும் 10^-1MBAR, மற்றும் அழுத்தத்தை சரிசெய்வதன் மூலம் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் சீரான தன்மையைக் கட்டுப்படுத்தலாம்.

வெப்ப கூறுகள்: கிராஃபைட் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) ஹீட்டர்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் நிலையான வெப்ப மூலத்தை வழங்க முடியும்.

எல்.பி. குறிப்பாக,இது பின்வரும் அம்சங்களில் வெளிப்படுகிறது:

எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சி. அதே நேரத்தில், பிரதான எதிர்வினை அறையில் உள்ள வாயு ஓட்ட விகிதம் வழக்கமாக 10–100 எஸ்.சி.சி.எம் (நிமிடத்திற்கு நிலையான கன சென்டிமீட்டர்) இல் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: SIC எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம் மற்றும் அதிக அதிர்வெண் சூழல்களின் கீழ் சிறந்த செயல்திறனை பராமரிக்க முடியும்.

குறைபாடு அடர்த்தியைக் குறைக்கவும்: எல்.பி.

வெடெக் குறைக்கடத்தி குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. அதே நேரத்தில், தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை நாங்கள் ஆதரிக்கிறோம்.சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி திரைப்பட படிக அமைப்பின் SEM தரவு:

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்：

வெடெக் செமிகண்டக்டர் எல்பிஇ ஹாஃப்மூன் எஸ்.ஐ.சி எபி உலை உற்பத்தி கடைகள்: