தொழில் செய்திகள்

8 அங்குல எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் உலை மற்றும் ஹோமோபிடாக்சியல் செயல்முறை ஆராய்ச்சி

கட்டுரை சிலிக்கான், GaAs, SiC மற்றும் GaN போன்ற குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு செதில்களின் பொருள் பண்புகளை பகுப்பாய்வு செய்கிறது.

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக GAN- அடிப்படையிலான குறைந்த வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பத்தை விவரிக்கிறது, இதில் GAN- அடிப்படையிலான பொருட்களின் படிக அமைப்பு, 3.

இந்த கட்டுரை முதலில் TAC இன் மூலக்கூறு கட்டமைப்பு மற்றும் இயற்பியல் பண்புகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் சின்டர் செய்யப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு மற்றும் சி.வி.டி டான்டலம் கார்பைடு ஆகியவற்றின் வேறுபாடுகள் மற்றும் பயன்பாடுகள் மற்றும் வெக் செமிகண்டக்டரின் பிரபலமான டிஏசி பூச்சு தயாரிப்புகள் ஆகியவற்றில் கவனம் செலுத்துகிறது.

இந்த கட்டுரை சி.வி.டி டிஏசி பூச்சுகளின் தயாரிப்பு பண்புகள், சி.வி.டி முறையைப் பயன்படுத்தி சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு தயாரிக்கும் செயல்முறை மற்றும் தயாரிக்கப்பட்ட சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு மேற்பரப்பு உருவவியல் கண்டறிதலுக்கான அடிப்படை முறை ஆகியவற்றை அறிமுகப்படுத்துகிறது.

இந்த கட்டுரை TaC பூச்சுகளின் தயாரிப்பு பண்புகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, CVD தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி TaC பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதற்கான குறிப்பிட்ட செயல்முறை, Veteksemicon இன் மிகவும் பிரபலமான TaC பூச்சுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது மற்றும் Veteksemicon ஐ தேர்வு செய்வதற்கான காரணங்களை சுருக்கமாக பகுப்பாய்வு செய்கிறது.

இந்த கட்டுரை எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான ஒரு முக்கிய முக்கிய பொருளை எஸ்.ஐ.சி பூசுவதற்கான காரணங்களை பகுப்பாய்வு செய்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி துறையில் எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் குறிப்பிட்ட நன்மைகளில் கவனம் செலுத்துகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு நானோ பொருட்களின் (sic) நானோமீட்டர் அளவில் (1-100nm) குறைந்தது ஒரு பரிமாணத்தைக் கொண்ட பொருட்கள். இந்த பொருட்கள் பூஜ்ஜியமாக இருக்கலாம், ஒன்று, இரண்டு-, அல்லது முப்பரிமாணமாக இருக்கலாம் மற்றும் மாறுபட்ட பயன்பாடுகளைக் கொண்டிருக்கலாம்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி என்பது வேதியியல் நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படும் உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள். இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளில் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் பூச்சுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. பின்வரும் உள்ளடக்கம் CVD SIC இன் தயாரிப்பு வகைப்பாடு மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகளின் அறிமுகமாகும்

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக தயாரிப்பு வகைகள், தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் TAC பூச்சின் முக்கிய செயல்பாடுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் TAC பூச்சு தயாரிப்புகளின் ஒட்டுமொத்தமாக ஒரு விரிவான பகுப்பாய்வு மற்றும் விளக்கத்தை உருவாக்குகிறது.

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் MOCVD SUSSCECTOR இன் தயாரிப்பு வகைகள், தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் MOCVD SUSCECEPTOR தயாரிப்புகளின் விரிவான பகுப்பாய்வு மற்றும் விளக்கத்தை உருவாக்குகிறது.

SiC படிக வளர்ச்சி உலைக்குள் PVT எவ்வாறு செயல்படுகிறது என்பதைக் கண்டறியவும். WuYi TianYao நியூ மெட்டீரியல் Tech.Co.,Ltd இலிருந்து பதங்கமாதல், வெகுஜன போக்குவரத்து மற்றும் படிக வளர்ச்சியின் தொழில்நுட்ப பகுப்பாய்வு.

போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ரிங் என்பது இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) SiC ஒற்றை-படிக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு வெப்ப-புல கூறு ஆகும். அடர்த்தியான CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் உயர்-தூய்மை நுண்துளை கிராஃபைட்டை இணைப்பதன் மூலம், இது உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, அரிப்பு பாதுகாப்பு, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்ப விநியோகம் மற்றும் குறைந்த மாசுபாட்டை வழங்குகிறது. இந்தக் கட்டுரை அதன் கட்டமைப்பு, தொழில்நுட்ப நன்மைகள், பயன்பாடுகள், விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி மற்றும் SiC படிக-வளர்ச்சி உபகரணங்களுக்கான தேர்வு பரிசீலனைகளை விளக்குகிறது.

GTMS/CTMS ஹெர்மீடிக் சீல் செயல்முறைகளை இலக்காகக் கொண்டு, VeTek தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சிறப்பு கிராஃபைட் பொருத்துதல் தீர்வுகளை 0.01 ㎡க்கு 1,500 அடர்த்தியாக வரிசைப்படுத்தப்பட்ட மைக்ரோ-ஹோல்களுடன் வழங்குகிறது. கோவார் அலாய் CTEஐத் துல்லியமாகப் பொருத்துதல், 10 மாதங்களில் மல்டி-ஹோல் மைக்ரோமச்சினிங் சவாலை முறியடித்து, மைக்ரான்-நிலை பூஜ்ஜிய-குறைபாடு கட்டுப்பாடு மற்றும் ஒரு நிறுத்தப் பொறியியல் விநியோகத்தை அடைதல்.

வேகமாக வளரும் குறைக்கடத்தி துறையில், துல்லியமான பொருட்கள் நேரடியாக செதில் செயலாக்க தரம் மற்றும் உற்பத்தி திறன் தீர்மானிக்கிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட TEL தீர்வுகளுக்காக VETEK உயர் செயல்திறன் கொண்ட உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகை வழங்குகிறது, சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் மாசுக்கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றைக் கோருகிறது.

ஒரு கிளாஸி கார்பன் கோடட் கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி, படிக வளர்ச்சி, வெற்றிட வெப்ப சிகிச்சை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை பொருள் ஆராய்ச்சி போன்ற தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மேம்பட்ட வெப்ப செயலாக்க கூறு ஆகும். இந்த கட்டுரை அதன் கட்டமைப்பு, நன்மைகள், பயன்பாடுகள் மற்றும் தேர்வு பரிசீலனைகளை விளக்குகிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் உயர் செயல்திறன் க்ரூசிபிள் தீர்வுகளை வழங்குகிறது, இது கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை துல்லியமான கிராஃபைட் உற்பத்தியுடன் நவீன தொழில்களின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.