தொழில் செய்திகள்

உலகின் மிக சக்திவாய்ந்த நான்கு கிராஃபைட் உற்பத்தியாளர்கள்: எஸ்.ஜி.எல், டோயோ டான்சோ, டோக்காய் கார்பன், மெர்சன் மற்றும் அவற்றுடன் தொடர்புடைய வழக்கமான கிராஃபைட் மற்றும் பயன்பாட்டு பகுதிகள்.

கட்டுரை கார்பனின் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகள், எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கான குறிப்பிட்ட காரணங்கள் மற்றும் கார்பன் மீது எஸ்.ஐ.சி பூச்சு முறை மற்றும் கொள்கை ஆகியவற்றை விவரிக்கிறது. எஸ்.ஐ.சி பூச்சு கார்பனின் கட்ட கலவையை பகுப்பாய்வு செய்ய டி 8 அட்வான்ஸ் எக்ஸ்-ரே டிஃப்ராக்ரோமீட்டர் (எக்ஸ்ஆர்டி) பயன்பாட்டை இது குறிப்பாக பகுப்பாய்வு செய்கிறது.

வளர்ந்து வரும் எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிகங்களுக்கான முக்கிய முறைகள்: உடல் நீராவி போக்குவரத்து (பி.வி.டி), உயர் வெப்பநிலை வேதியியல் நீராவி படிவு (எச்.டி.சி.வி.டி) மற்றும் உயர் வெப்பநிலை தீர்வு வளர்ச்சி (எச்.டி.எஸ்.ஜி).

சூரிய ஒளிமின்னழுத்த தொழில்துறையின் வளர்ச்சியுடன், சூரிய மின்கலங்களின் உற்பத்திக்கான பரவல் உலைகள் மற்றும் எல்பிசிவி உலைகள் ஆகியவை சூரிய மின்கலங்களின் திறமையான செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கின்றன. விரிவான தயாரிப்பு செயல்திறன் மற்றும் பயன்பாட்டு செலவின் அடிப்படையில், சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்கள் குவார்ட்ஸ் பொருட்களை விட சூரிய மின்கலங்களின் துறையில் அதிக நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன. ஒளிமின்னழுத்த துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்களின் பயன்பாடு ஒளிமின்னழுத்த நிறுவனங்களுக்கு துணை பொருள் முதலீட்டு செலவுகளை குறைக்கவும், தயாரிப்பு தரம் மற்றும் போட்டித்தன்மையை மேம்படுத்தவும் உதவும். ஒளிமின்னழுத்த புலத்தில் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்களின் எதிர்கால போக்கு முக்கியமாக அதிக தூய்மை, வலுவான சுமை தாங்கும் திறன், அதிக ஏற்றுதல் திறன் மற்றும் குறைந்த செலவு ஆகியவற்றை நோக்கி உள்ளது.

பொருள் ஆதாரம் மற்றும் தூய்மைக் கட்டுப்பாடு, செயல்முறை அளவுரு தேர்வுமுறை, பூச்சு ஒட்டுதல், உபகரணங்கள் பராமரிப்பு மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மை, சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு மற்றும் செலவுக் கட்டுப்பாடு போன்ற குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான CVD TaC பூச்சு செயல்முறை எதிர்கொள்ளும் குறிப்பிட்ட சவால்களை கட்டுரை பகுப்பாய்வு செய்கிறது. அத்துடன் தொடர்புடைய தொழில் தீர்வுகள்.

SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் பயன்பாட்டுக் கண்ணோட்டத்தில், இந்தக் கட்டுரை TaC பூச்சு மற்றும் SIC பூச்சு ஆகியவற்றின் அடிப்படை இயற்பியல் அளவுருக்களை ஒப்பிடுகிறது, மேலும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, வலுவான இரசாயன நிலைத்தன்மை, குறைக்கப்பட்ட அசுத்தங்கள் மற்றும் SiC பூச்சுக்கு மேல் TaC பூச்சுகளின் அடிப்படை நன்மைகளை விளக்குகிறது. குறைந்த செலவுகள்.

ஃபேப் தொழிற்சாலையில் பல வகையான அளவீட்டு உபகரணங்கள் உள்ளன. பொதுவான உபகரணங்களில் லித்தோகிராஃபி செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், பொறித்தல் செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், மெல்லிய திரைப்பட படிவு செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், ஊக்கமருந்து செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், சி.எம்.பி செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், செதில் துகள் கண்டறிதல் உபகரணங்கள் மற்றும் பிற அளவீட்டு உபகரணங்கள் அடங்கும்.

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, இயந்திர பண்புகள் மற்றும் வெப்ப மேலாண்மை திறன்களை மேம்படுத்துவதன் மூலம் கிராஃபைட் பகுதிகளின் ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்க முடியும். அதன் உயர் தூய்மை பண்புகள் தூய்மையற்ற மாசுபாட்டைக் குறைக்கின்றன, படிக வளர்ச்சி தரத்தை மேம்படுத்துகின்றன, மேலும் ஆற்றல் செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன. அதிக வெப்பநிலை, அதிக அரிக்கும் சூழல்களில் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கு இது ஏற்றது.

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சுகள் குறைக்கடத்தி துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, முக்கியமாக எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை கூறுகள், ஒற்றை படிக வளர்ச்சி முக்கிய கூறுகள், உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை கூறுகள், எம்ஓசிவிடி சிஸ்டம் ஹீட்டர்கள் மற்றும் செதில் கேரியர்கள்.

SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது, ​​SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் இடைநீக்க தோல்வி ஏற்படலாம். இந்த கட்டுரை SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் இடைநீக்கத்தின் தோல்வி நிகழ்வின் கடுமையான பகுப்பாய்வை நடத்துகிறது, இதில் முக்கியமாக இரண்டு காரணிகள் அடங்கும்: SiC எபிடாக்சியல் வாயு தோல்வி மற்றும் SiC பூச்சு தோல்வி.

இந்தக் கட்டுரை முக்கியமாக மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி செயல்முறை மற்றும் உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு தொழில்நுட்பங்களின் தொடர்புடைய செயல்முறை நன்மைகள் மற்றும் வேறுபாடுகளைப் பற்றி விவாதிக்கிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைடு, ஒரு புதிய தலைமுறை எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சிப் பொருளாக, பல சிறந்த தயாரிப்பு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயலாக்க தொழில்நுட்பங்களில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

எபிடாக்சியல் உலையின் செயல்பாட்டுக் கொள்கையானது, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் ஒரு அடி மூலக்கூறு மீது குறைக்கடத்தி பொருட்களை வைப்பதாகும். சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி என்பது, ஒரு குறிப்பிட்ட படிக நோக்குநிலையுடன் சிலிக்கான் ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறில் அடி மூலக்கூறு மற்றும் வெவ்வேறு தடிமன் போன்ற அதே படிக நோக்குநிலையுடன் படிகத்தின் ஒரு அடுக்கை வளர்ப்பதாகும். இந்தக் கட்டுரை முக்கியமாக சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி முறைகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது: நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி மற்றும் திரவ நிலை எபிடாக்ஸி.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மெல்லிய படப் பொருட்களை அறையில் வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் SiO2, SiN போன்றவை அடங்கும், மேலும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வகைகளில் PECVD மற்றும் LPCVD ஆகியவை அடங்கும். வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் எதிர்வினை வாயு வகையைச் சரிசெய்வதன் மூலம், வெவ்வேறு செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய CVD உயர் தூய்மை, சீரான தன்மை மற்றும் நல்ல படக் கவரேஜ் ஆகியவற்றை அடைகிறது.

இந்த கட்டுரை முக்கியமாக சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளை விவரிக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களில் சின்தேரிங் விரிசல்களின் காரணங்கள் மற்றும் அதனுடன் தொடர்புடைய தீர்வுகள் பற்றிய பகுப்பாய்வு குறித்தும் இது கவனம் செலுத்துகிறது.